专利名称：基片载置部件的分解方法以及再利用方法
技术领域：
本发明涉及基片载置部件的分解方法以及再利用方法。更详细地说，涉及使构成基片载置部件的静电吸盘和基座部件分离的方法。另外，涉及将该分离的静电吸盘和基座部件的至少一个进行再利用的方法。上述基片载置部件是对晶片等基片进行干蚀刻或成膜等处理的部件。
背景技术：
在半导体器件等的制造工序中，由于进行等离子蚀刻等在高真空下的处理，所以应用了使用构成基片载置部件的静电吸盘来保持半导体晶片的技术。
该基片载置部件通过有机粘接剂接合基座部件和静电吸盘。并且，基片载置部件如长期使用的话，其有机粘接剂层劣化，基座部件和静电吸盘的导热性降低。因此，原来是在基片载置部件使用到超过规定时间时进行废弃处理。
但是，由于基片载置部件价格高昂，近年来开发了使基座部件和静电吸盘分离并再利用的技术。这就是通过用有机溶剂溶解因长时间使用而劣化的有机粘接剂层并将其除去，而使基座部件和静电吸盘分离的方法(例如，参照日本特开-2004-55815号公报)。
然而，在上述现有技术中的使用有机溶剂的分解方法中，由于有机溶剂不易浸透到有机粘接剂层，所以存在使有机粘接剂层溶解而花费很长时间的问题。
另外，还考虑了使用有机溶剂使有机粘接剂层的一部分溶解后，使用钢丝锯等将有机粘接剂层的剩余部分物理地去除的方法。但是，在该方法中，由于有可能损伤由铝合金等构成的基座部件，所以并不理想。
发明内容
对此，本发明的目的在于提供一种时间短且不损伤基座部件等，使基座部件和静电吸盘分离的基片载置部件的分解方法以及再次接合该分离的基座部件和静电吸盘的再利用方法。
为了实现上述目的，本发明的基片载置部件的分解方法，具有如下步骤将通过有机粘接层接合静电吸盘和基座部件的基片载置部件，在从上述有机粘接剂层的热分解开始温度至热分解结束温度的范围的热分解温度内加热，并使上述有机粘接剂层软化以及分解的步骤；通过对上述静电吸盘和基座部件施加相互离开方向的分离负荷，使静电吸盘和基座部件分离的步骤。
另外，本发明的基片载置部件的再利用方法，是使用上述分解方法使静电吸盘和基座部件分离后，对该分离的静电吸盘和基座部件的至少一个进行再利用的方法。
根据本发明的基片载置部件的分解方法，能够以极短时间且不损伤基座部件等而使静电吸盘和基座部件分离。
也就是说，在如现有技术那样将基片载置部件浸渍在有机溶剂中的方法中，即使浸渍一昼夜使其分离也是非常困难的。但是根据本发明，能够以极短的时间剥离有机粘接剂层。还有，根据本发明，由于静电吸盘和基座部件的特性和尺寸没有变差，所以能够以原状态再利用分离的静电吸盘和基座部件。
还有，根据本发明的基片载置部件的再利用方法，由于不废弃高价格的基片载置部件，所以降低成本的同时还可减少废弃物的数量。
图1是表示本发明的实施方式的基片载置部件的剖视图。
图2是表示在加热部件内进行基座部件的分离的状态的剖视图。
图3是表示在热板上载置基片载置部件并进行基座部件的分离的状态的剖视图。
图4是表示在热板上的传热部件上载置基片载置部件并进行基座部件的分离的状态的剖视图。
图5是表示在基片载置部件上安装砝码的状态的立体图。
图6是表示在加热装置内配置安装了砝码的基片载置部件并进行基座部件的分离的状态的剖视图。
具体实施例方式
以下对本发明的实施方式进行说明。
第1实施方式首先，对本发明的第1实施方式进行说明。
如图1所示，本实施方式的基片载置部件1具备由铝或铝合金等构成的基座部件3；保持半导体晶片的静电吸盘5；以及接合这些基座部件3和静电吸盘5的有机粘接剂层7。即，基片载置部件1是通过有机粘接剂层7接合基座部件3和静电吸盘5的。
上述基座部件3成圆盘状的外形，在外周面61的上端部形成阶梯部9。另外，容纳未图示的提升栓用支撑板的容纳孔11沿基座部件3的板厚方向贯通，并沿圆周方向以等间隔形成多个。再有，在径向中心穿通设有施加电压用端子13的安装孔15。在该安装孔15的内周侧，填充具有绝缘性的环氧树脂17并保持施加电压用端子13和基座部件3之间的绝缘。
另外，上述静电吸盘5也成圆盘状的外形，由氮化铝或氧化铝形成。在对应上述基座部件3的容纳孔11的位置穿通设有提升栓孔19。在该提升栓孔19的下部形成锪孔部21，未图示出的提升栓与基座部件3的容纳孔11连通而设。与图外的提升栓用支撑板结合的提升栓前端出没于该提升栓孔19而构成。并且，在静电吸盘5的内部埋设有圆板状电极23，该圆板状电极23与上述施加电压用端子13接合。
另外，接合基座部件3和静电吸盘5的有机粘接剂层7优选使用热硬化性丙烯酸树脂、热硬化性硅酮树脂、热硬化性聚酰亚胺树脂、热硬化性环氧树脂、热硬化性丙烯酸树脂、热可塑性丙烯酸树脂等。通过将有粘性的粘接剂涂敷在基座部件3或静电吸盘5上能够形成该有机粘接剂层7。另外，预先将上述有机粘接剂形成为薄片状，通过夹入基座部件3和静电吸盘5中进行粘接，从而能够形成有机粘接剂层7。
下面对加热基片载置部件1的加热装置进行说明。
如图2所示，加热装置25具备隔断外部空气的箱形加热炉27，和配置在该加热炉27内的底面29上并向上方延伸的支撑体31。该支撑体31由以下各部构成凸缘状的底部33；从该底部33向上方延伸的圆柱状的主体部35；以及形成于该主体部35的上端的凸部37。上述底部33形成防止倒掉的大面积的凸缘状并固定在加热炉27的底面29上。还有，主体部35的直径设定成比基座部件3的容纳孔11的直径小。从底部33的上面至主体部35的上面的高度H做成，比基座部件3的厚度和静电吸盘5的锪孔部21的深度的合计尺寸S还长。该高度H和合计尺寸S的差最好在5mm以下。另外，在加热炉27内填充氮气等惰性气体，加热炉27内的内部温度保持在有机粘接剂7的热分解温度(例如300℃)。
另外，如图3所示，作为加热装置可使用热板39。使用该热板39的情况下，将基片载置部件1暴露于外部空气的状态下进行加热。
热板39与图外的电源连接，通过将基片载置部件1直接载置于加热的热板39的上面便可加热基片载置部件1。
还有，如图4所示，将传热部件41载置于热板39的上面的装置作为加热装置来使用也可以。该传热部件41最好由例如氮化铝构成的陶瓷材料形成。以下说明基片载置部件的分解方法的各个工序。
(1)有机粘接剂层的热分解温度的测定工序首先，对形成有机粘接层7的树脂系的接合薄片等结合材料，测定引起接合材料热分解的热分解温度。具体地说，加热上述接合材料使接合材料的温度上升的情况下，测定接合材料整体的重量和通过热分解放出气体而损失的接合材料的重量的比率。例如，加热前的接合材料整体的重量为500mg，在以5℃/分的加热温度进行加热的场合，将热分解的部分的重量10％(50mg)的温度设定为热分解开始温度。另外，将热分解后的重量相对加热前的重量的50％(250mg)的温度设定为热分解结束温度。并且，使这些热分解开始温度和热分解结束温度之间的温度为热分解温度。另外，这些已热分解的重量的比率可根据有机粘接剂层7的种类而适当设定。还有，也可以不实际测定热分解重量，而是从接合材料的产品目录中所记载的数据推断并求出热分解开始温度和热分解结束温度。
(2)静电吸盘和基座部件的分离工序其次，加热静电吸盘5和基座部件3使之分离。作为该分离方法，使用基座部件3的自重的场合，在基座部件3上安装砝码，使用这些基座部件3和砝码的合计重量的场合，可采用使用一字槽螺钉旋具等工具的情况等。
首先，对基片载置部件1的加热方法进行说明。该加热方法有在加热炉27内配置基片载置部件1进行加热的方法；在热板39的上面载置基片载置部件1进行加热的方法；以及，在热板39的上面设置传热部件41，并在该传热部件41的上面载置基片载置部件1进行加热的方法。
对利用基座部件3的自重的情况进行说明。如图2所示，使用由箱形的加热炉27和配置在该加热炉27内的支撑体31构成的加热装置25。
在该加热炉27内填充作为惰性气体的氮气，并使炉内温度上升到上述加热温度。在该状态下，将基片载置部件1容纳在加热炉27内进行加热。具体地说，使基片载置部件1的基座部件3为下侧，使静电吸盘5的提升栓孔19与上述支撑体31的凸部37嵌合，从而将静电吸盘5悬架在支撑体31上。
通过上述加热，由于有机粘接剂层7开始热分解并软化，所以有机粘接剂层7的接合强度逐渐下降。另外，在静电吸盘5和基座部件3的边界部分59，由于基座部件3的自重朝向下方施加，所以基座部件3从静电吸盘5分离并落下。
还有，密闭的加热炉27内暂时减压后可以导入惰性气体，但不密闭加热炉27而将惰性气体流入加热炉27内也可以。加热时加热炉27内的氧浓度在100ppm以下更好。通过使氧浓度在100ppm以下，基座部件3和静电吸盘5的表面不被氧化，而且使之分离时这些基座部件3和静电吸盘5不会劣化。
其次，对在基座部件3上安装砝码而使用基座部件3和砝码的合计重量的情况进行说明。
如图5所示，在基座部件3的下面形成螺栓孔，在砝码43上形成穿过螺栓47的插通孔45。如图6所示那样使用螺栓47将砝码43安装在基座部件3的下面。
因此，在加热炉27内直到使温度上升到上述接合材料的热分解温度的状态下，静电吸盘5的提升栓孔19与支撑体31的凸部37嵌合而悬架静电吸盘5。于是，在静电吸盘5和基座部件3的边界部分59，基座部件3和砝码43的合计重量朝向下方施加。这样，可使基座部件3比利用基座部件3的自重的场合更加有效地从静电吸盘5分离。
另外，上述砝码43只要不是加热会变形或放出气体的物质即可，最好是不锈钢或铜等。并且，安装砝码43的位置，最好是安装在沿圆板状基片载置部件1的圆周方向等间隔的均等的位置上。并且，安装砝码43的基片载置部件1的重心的位置，若距离基片载置部件1的中心相当于基片载置部件1的半径的1/2-2/3的距离的话，更容易剥离，所以较理想。
有机粘接剂层7不管是热可塑性树脂还是热硬化性树脂，最好是以基座部件3不变形的温度(例如基座部件3的材质为铝的场合在350℃)以下而且以热分解开始温度以上进行加热。这是由于有机粘接剂层7没有牢固地粘在基座部件3或静电吸盘5上。
还有，在惰性气体中加热的话，由于有机粘接剂层7的树脂不产生氧化等，所以能够以高于空气中的温度进行加热。但是，加热温度设定在上述热分解结束温度以下。若超过热分解结束温度的话，因树脂的种类，促进碳化，残留在基座部件3以及静电吸盘5中的有机粘接剂层7在基座部件3的表面变硬而牢固地粘在其上面，除去有机粘接剂层7很费时间。
利用该方法的话，有机粘接剂层7不能保持座部件3及砝码43时便产生自动剥离。因此，不必对基座部件3或静电吸盘5施加过渡负荷，不引起基座部件3的变形或损伤，所以更好。再有，利用检测剥离发生的方法，若在产生剥离时停止向加热炉27供给电力的话，可防止有机粘接剂层7的热分解导致的碳化等，所以较好。
作为剥离的检测方法，优先通过设在加热炉27上的窗以目视进行确认。还有，在基座部件3上连接导线，在基座部件3落下的位置上配置不锈钢制的板状部件，并在该板状部件上连接导线，检测这些基座部件3和板状部件之间产生导通时的方法也可以采用。该导通的检测方法，易于对加热炉27的控制系统施加反馈，所以更好。
以使加热炉27内的压力为一个大气压的状态开始加热，在达到接合材料的热分解开始温度时，通过用真空泵吸引加热炉27内的惰性气体，能够更加有效地使基座部件3和静电吸盘5分离。
其次，在热板39的上面载置基片载置部件1进行加热所使用工具的情况进行说明。
图3是表示该分解方法所使用的分离装置的概念截面图。在底面上配置用电进行加热的热板39。若在该热板39上载置上下颠倒而配置的基片载置部件1的话，则静电吸盘5的上面(图3中的下面)与热板39的上面接触。还有，使侧视为T字状的拉伸工具49的前端与形成于基座部件3的下面(图3中的上面)的螺栓孔螺纹结合。
然后，对热板39进行加热使温度上升到上述加热温度，通过静电吸盘5对有机粘接剂层7加热，则该有机粘接剂层7引起热分解，粘接力下降。在该状态下，将上述拉伸工具49的把持部51向上方抬起。同时，在上述静电吸盘5和基座部件3的边界部分59插入一字槽螺钉旋具53，一边插入一边撬开，利用该原理分离静电吸盘5和基座部件3。这样，能够有效地将基座部件3从静电吸盘5可靠且有效地分离。
这里，将热电偶55在基座部件3的气孔57中插入到有机粘接剂层7附近，测定加热温度。加热时间最好是20-30分钟。
另外，加热温度设定为从热分解开始温度至热分解结束温度的范围的热分解温度。保持在比热分解开始温度略高的温度更好。若在热分解结束温度以上进行加热的话，有机粘接基层7有急剧分解的危险。并且，有机粘接剂层7的温度因氧化而急剧上升的话，有机粘接剂层7的分解进一步加速。其结果，有机粘接基层7碳化，分离后在静电吸盘5和基座部件3的表面变硬牢固地粘在其上，有机粘接基层7的去除很花费时间。
再有，使基座部件3从静电吸盘5分离后，除去一部分附着在静电吸盘5或基座部件3上的有机粘接基层7。作为该除去方法，可以使用有机溶剂使其溶解除去，或用刮刀等刮落，但两者兼用更加有效。
另外，如图1所示，在静电吸盘5上，供给电压的电压施加用端子13通过绝缘性环氧树脂17与基座部件3接合。因此，不加热基片载置部件1，在有机粘接层7一部分残留的状态下将静电吸盘5剥离的话，由于电压施加用端子13对静电吸盘5的接合强度降低，所以电压施加用端子13脱离静电吸盘5，但采用本发明不会发生此类问题。即电压施加用端子13相对于静电吸盘5可以再利用。
其次，如图4所示，对在热板39的上面设置传热部件41，由该加热部件41加热基片载置部件1，同时使用工具的场合进行说明。但是，对于与在上述的热板39上直接载置基片载置部件1加热、同时使用工具进行分离的场合相同的部分省略其说明。
如图4所示，在热板39的上面设置传热部件41。传热部件41由氮化铝构成，上面平滑地形成。
对热板39进行加热，传热部件41的温度到达300-350℃后，将基片载置部件1上下反转载置于传热部件41上。将热电偶55插入到基座板的气孔57的有机粘接基层7附近，测定静电吸盘5的温度。在静电吸盘5的温度达到热分解开始温度以上时，在基座部件3和静电吸盘5的边界部分59插入一字槽螺钉旋具53等工具。然后，利用该原理，用工具撬开，使静电吸盘5和基座部件3分离。此时，在对传热部件41以及静电吸盘5进行加热时，以覆盖整个热板39的方式盖上盖的话，能够缩短加热时间。
这里，若热板39的加热温度为有机粘接基层7的热分解结束温度以下的话，能够避免有机粘接剂层7的碳化导致的粘接剂变硬粘牢。另外，使静电吸盘5从基座部件3分离的加热温度，虽然比热分解开始温度还高50-70℃，但能够缩短作业时间，所以更好。采用该方法，由于不需要以一定温度保持基片载置部件，所以与加热炉相比，能够大幅度降低设备费用。
另外，如果是将有机粘接剂层7加热到热分解开始温度以上且热分解结束温度以下的热分解温度，在有机粘接基层7热分解的时刻施加分离负荷的方法的话，在本实施方式以外还可采用种种方法。
第2实施方式在上述第1实施方式中，对使基座部件3从基片载置部件1分离的分解方法进行了说明，在第2实施方式中，对再利用该分离的静电吸盘5和基座部件3的方法进行说明。
在第1实施方式中分离的静电吸盘5和基座部件3的至少一个的接合面上，存在有机粘接基层7的残余部分有一部分附着的情况。该情况下，最好将残余部分浸渍于有机溶剂中使之分解，或使用刮刀等将其刮落。
接着，通过使用粘接材料或接合薄片接合分离的基座部件3和静电吸盘5，可做成新的基片载置部件1再利用。
以下，通过实施例更加具体地说明本发明。
实施例1如图1所示，实施例1中所使用的基片载置部件1为通过有机粘接基层7接合氧化铝制的基座部件3和氮化铝制的静电吸盘5的部件。在静电吸盘5上，沿圆周方向穿通设有3个提升栓孔19，在该提升栓孔19的下部形成锪孔部21，基座部件3的重量为3400g。另外，有机粘接基层7的种类，如表1所示那样，使用热硬化性丙烯酸树脂、热硬化性硅酮树脂、热硬化性聚酰亚胺树脂、热硬化性环氧树脂、热硬化性丙烯酸树脂、热可塑性丙烯酸树脂。测定这些有机粘接基层7的热分解开始温度和热分解结束温度的结果表示为表1。
表1
其次，如图2所示，将基片载置部件1放入加热炉27内，通过使静电吸盘5的提升栓孔19与支撑体31的上端凸部37嵌合，悬架基片载置部件1。这样，在静电吸盘5和基座部件3的边界部分59上，基座部件3的自重朝向下方施加。另外，加热炉27的内容积为20升。还有，支撑体31的高度H做成比基座部件3的厚度和静电吸盘5的锪孔部21的深度的合计尺寸S还长3mm。
然后，通过使氮气以1000SCCM的流量流入加热炉27内，将加热炉27内的空气换成氮气。这样，氮气与加热炉27内的空气混合，在加热炉27的内部，氧浓度逐渐下降，空气被排出到炉外。炉内的氧浓度在大约30分钟后低于100ppm，使氮气的流量下降到100SCCM。
接着，对加热炉27的加热器(未图示出)通电，以10℃/分钟的升温速度使炉内温度上升到表1所示的加热温度。将该设定的加热温度保持规定时间后，停止对加热器的通电，使加热炉27自然冷却。
另外，进行加热以及自然冷却期间，以100SCCM的流量持续流入氮气，用养浓度计确认氧浓度在100ppm以下。
使加热炉27自然冷却，炉内温度在未到60℃时，打开加热炉27的门，观察静电吸盘5和基座部件3是否分离。但是，残存有机粘接剂层7的一部分，该残存的部分会逐渐变色。
将分离的静电吸盘5和基座部件3在丙酮中浸渍30分钟后，将这些静电吸盘5和基座部件3的接合面用尼龙刷子刮擦，除去残存的有机粘接剂层7。
然后，使用三维测定器测定静电吸盘5及基座部件3的接合面的平面度的结果，成为表1所示的结果。另外，新品状态下的基座部件3的平面度都不到50μm，可知静电吸盘5及基座部件3的平面度没有因加热分解而劣化。
然后，测定静电吸盘5的吸附力。对静电吸盘5的电极部施加350V的直流电压，用φ1英寸的硅探针在5个地方测量此时产生的吸附力，算出其平均值。将该吸附力与加热分离前的吸附力(20-30Torr)相比较，确认了表1所示那样的差异。若处理前后的差在±1Torr以下，则判断为静电吸盘的吸附力在加热前后没有变化。
再有，在本实施例中，基座部件3的电压施加用端子13的安装孔15和电压施加用端子13的间隙填充有绝缘用环氧树脂17。该环氧树脂17也在加热处理工序的后半过程中被热分解而有一半消失，对电压施加用端子13没有损伤地分离。因此，即使对电压施加用端子13在该状态下施加直流电压，也正常地对静电吸盘5产生了静电力。
其次，用热硬化性丙烯酸树脂接合已分离的静电吸盘5和基座部件3并制成基片载置部件1。在该基片载置部件1上吸附晶片，用1500W的灯加热，测定了晶片的温度分布。其结果表示了与新品同样的温度分布。
这样，即使基片载置部件1因长期使用而导致有机粘接剂层7劣化，通过使静电吸盘5和基座部件3分离，去除有机粘接剂层7后进行新的接合，确认了静电吸盘5的温度分布复原。这样，根据本发明的方法，表示使基座部件3和静电吸盘5不产生任何劣化性，从而能够在利用。
实施例2其次，说明使用砝码43将基座部件3从基片载置部件1分离的实施例2。
基片载置部件1使用与上述实施例1相同的部件，在基座部件3的螺钉孔内安装图5、图6所示那样的平板铁制砝码43(重量合计3300g)进行与实施例1同样的分离。其结果表示为表2。
表2
采用本实施例，能够以比实施例1还短的时间分离基座部件3。这里，如本发明例7所示，使三个砝码43的重量分配为10∶10∶13，若使砝码43在基片载置部件1的重心偏离基片载置部件1的径向中心的话，能够以比实施例1还短的时间使其分离。
另外，将分离的静电吸盘5和基座部件3用热硬化性丙烯酸树脂再次接合，在与实施例1同样的条件下测定温度分布的地方，表示了与新品同样的温度分布。
实施例3其次，在实施例3中一边排出加热炉27内的氛围气体一边进行基座部件3的分离。
首先，排出加热炉27内的空气后，导入氮气作为一个大气压。之后，将加热炉27内的环境温度加热到加热温度，10分钟后，从一个大气压开始排气。用旋转泵进行排气，排气中的炉内压力约为4Torr。其结果，如表3所示，排气开始后3分钟分离，与不排气时相比，能够以更短时间分离。
表3
同样，用热硬化性丙烯酸树脂接合已分离的静电吸盘5和基座部件3，在与实施例1、2相同的条件下测定温度分布的地方，表示了与新品是同样的温度分布。
实施例4其次，说明使用工具使静电吸盘5和基座部件3分离的实施例。这里，粘接剂层7为热硬化性丙烯酸树脂，热分解开始温度为190℃，热分解结束温度为320℃。
如图4所示，在热板39上设置氮化铝构成的传热部件41，通过对热板39进行加热而使传热部件41的温度上升到300-350℃。然后，将基片载置部件1上下反转而将静电吸盘5配置在下侧，并使该静电吸盘5接触传热部件41进行了10分钟的加热。这里，基片载置部件1的温度测定是通过将热电偶55插入基座部件3的气孔57中测定了温度。用该热电偶55测定的温度达到热分解开始温度以上的250℃时，从静电吸盘5和基座部件3的接合面的侧端部沿着有机粘接剂层7将刀具插入静电吸盘5和基座部件3之间，切入有机粘接剂层7。
接着，如图4所示，将安装在基座部件3上的拉伸工具51向上抬起，同时，将细的一字槽螺钉旋具53插入基座部件3和静电吸盘5的边界部分59并轻轻撬开的话，基座部件3便分离。
然后，使用不绣钢刮刀刮落附着在基座部件3和静电吸盘5上的还处于热状态的有机粘接剂层7的残余。最后，使用丙酮溶解有机粘接剂层7，用离子交换水清洗并除去残渣。所得到的静电吸盘5测定平面度的结果可知与新品时没有变化。
在利用上述分离得到的静电吸盘5的电极部上施加350V的直流电压，用φ1英寸的硅探针测定了此时发生的吸附力。在5处测定其吸附力，取其平均值，与加热分离前的吸附力(20-30Torr)相比较，确认了差异。若处理前后不到2Torr的话，则可判断为测定精度上没有变化。该场合，吸附力的差在±1Torr以下，可知维持着与新品同样的吸附力。
权利要求
1.一种基片载置部件的分解方法，其特征在于具有如下步骤将通过有机粘接剂层(7)接合静电吸盘(5)和基座部件(3)的基片载置部件(1)，加热到有机粘接剂层(7)的热分解温度，使上述有机粘接剂层(7)软化以及分解的步骤；通过对上述静电吸盘(5)和基座部件(3)施加相互离开方向的分离负荷，使静电吸盘(5)和基座部件(3)分离的步骤，上述热分解温度是从上述有机粘接剂层(7)的热分解开始温度至热分解结束温度的范围的温度。
2.根据权利要求1所述的基片载置部件的分解方法，其特征在于测定上述有机粘接剂层(7)的热分解开始温度及热分解结束温度，基于该测定值设定上述热分解温度。
3.根据权利要求1所述的基片载置部件的分解方法，其特征在于上述分离负荷是在悬架上述静电吸盘(5)时产生的基座部件(3)的自重。
4.根据权利要求1所述的基片载置部件的分解方法，其特征在于上述分离负荷是在上述静电吸盘(5)上安装砝码(43)并悬架上述静电吸盘(5)时产生的、基座部件(3)及砝码(43)的合计负荷。
5.根据权利要求1所述的基片载置部件的分解方法，其特征在于上述分离负荷是在一边切入静电吸盘(5)和基座部件(3)的边界部分(59)，一边分离静电吸盘(5)和基座部件(3)的负荷。
6.根据权利要求1所述的基片载置部件的分解方法，其特征在于在惰性气体环境中进行上述静电吸盘(5)和基座部件(3)的分离。
7.一种基片载置部件的再利用方法，其特征在于使用上述权利要求1记载的分解方法，使静电吸盘(5)和基座部件(3)分离后，将该分离的静电吸盘(5)和基座部件(3)的至少一方进行再利用。
全文摘要
本发明的基片载置部件的分解方法，是在热分解开始温度至热分解结束温度的范围的热分解温度中对基片载置部件进行加热，使有机粘接剂层软化以及分解的同时，使静电吸盘和基座部件分离。
文档编号H01L21/68GK1964013SQ200610143800
公开日2007年5月16日 申请日期2006年11月6日 优先权日2005年11月7日
发明者江口正人 申请人:日本碍子株式会社