用于大面积基板处理系统的装载锁定室的制作方法

专利名称：用于大面积基板处理系统的装载锁定室的制作方法
技术领域：
本发明的实施方案通常是涉及用于将大面积基板转移到真空处理系统 中的装载锁定室及其操作方法。
背景技术：
薄膜晶体管(TFT)通常被用于有源阵列显示器，例如，计算机和电 视监视器，移动电话显示器，个人数字助理(PDAs)和与日倶增的其它设 备。通常，平板屏面包括两个中间夹有一层液晶材料的玻璃板。至少其中 一个玻璃板上包括一层置于其上的导电薄膜，该导电薄膜与电源连接。电 源提供给导电薄膜的电会改变晶体材料的定向，以产生图案显示。随着市场对平板屏面技术的认同，对于大显示器、增加产量以及降低 生产成本的需求已经驱使设备制造商开发新的系统，以适应平板屏面显示 器制造的大尺寸玻璃基板。现行的玻璃加工设备通常能适应高达约1平方 米的基板，在不久的将来，可以设想玻璃加工设备能适应高达并超过1-1/2 平方米的基板。装备制造如此大基板的设备对平板显示器制造商来说是相当大的投 资。常规的系统要求大而且昂贵的硬件。为了抵消这部分投资，高的基板产量是非常期望的。图9是从AKT(位于Santa Clara, California的Applied Materials lnc独立的全支公司)得到的一对双通道装载锁定室900的简化示意图，通常 的转移1500x1800mm基板的能力是每小时转移约60个，装载锁定室900 包括两个形成于室体906中的基板转移室902、904。每个基板转移室902、 904都有大约800升的内部体积，两个基板910置于升降机912上，该升 降机在室902、 904内垂直移动以便于机器人(没显示)交换基板。为了获得高的基板产量，装载锁定室，例如上述的一种，要求高性能 的真空泵和排气系统。但是，增加如此大体积装载锁定室的产量是很困难 的。简单增加抽吸和排气速度并不能提供合适的方案，因为高抽吸速度会 在装载锁定室内导致基板的粒子污染。而且，由于清洁室通常在湿度大于 50%时操作以使静电最小化，装载锁定室的迅速排气可能导致在装载锁定 室内产生不希望的水蒸气凝结。由于设想未来的系统能处理更大尺寸的基 板，日益关心改进快速转移大面积基板的装载锁定室能力的需求。因而，需要一种用于大面积基板的改进的装载锁定室。发明内容本文提供了一种用于转移大面积基板的装载锁定室及方法。在一个实 施方案中， 一个适用于转移大面积基板的装载锁定室包括多个垂直层叠的 单个基板转移室。在另一个实施方案中， 一个适用于转移大面积基板的装 载锁定室包括一个室体，室体有一个适用于连接到真空室的第一侧和适用 于连接到工厂界面的第二側。室体中包括N个垂直层叠的基板转移室，其 中N是大于2的整数。邻近的基板转移室通过一个基本水平的内壁分离并 与周围环境隔离。


上面提到的这种模式中叙述的发明的特征是能够获得并能被具体理解 的。对本发明更多的详细描述和上文的简述，也在附图所示的实施方案中 涉及。但值得注意的是，附图所示的只是本发明典型的实施方案，因此并
不能认为是对发明范围的限制，其它包括同等效果的实施方案也被认为是 本发明。图1是用于处理大面积基板的处理系统的一个实施方案的顶部平面图；图2是包括多个室的装载锁定室的一个实施方案的侧视图；图3是装载锁定室沿图2的截面线3-3的剖视图；图3A所示的是图2中的具有一个共享真空泵的装载锁定室图4A-B是图3中的装载锁定室的局部剖视图；图5是定位机构的一个实施方案；图6-7定位机构的另一个实施方案的剖视图；图8是装载锁定室的另一个实施方案；和，图9是现有技术中常规的双通道双基板装载锁定室的一个实施方案。 为了便于理解，在可能的情况下，使用相同的附图标记标注附图中公 共的相同组件。
具体实施方式
本发明通常提供一种大体积/高产量的具有多个垂直层叠基板转移室 的装载锁定室。下面详细描述了本发明在一个平板屏面处理系统中的利用， 例如，那些可以从AKI (位于Santa Clara,California的Applied Materials lnc独立的全支公司)得到的。但是，应该理解的是，发明可以应用于其它 的系统结构中，无论那里，通过大面积基板装载锁定室进行高产量基的基 板转移都是被期望的。图1是一个适用于处理大面积基板(例如，具有平面面积大于约2.7 平方米的基板)的处理系统150的顶部平面图。该处理系统150通常具有 通过装载锁定室100连接到工厂界面112的转移室108，装载锁定室具有 多个基板移室。转移室108具有一个双叶片的真空机器人134置于其中， 以适应于在多个外接处理室132和装载锁定室100之间转移基板。在一个 实施方案中，其中一个处理室132是预热室，预热室能在处理之前使基板 达到热状态以提高系统150的产量。通常，转移室108保持在真空条件下，
以排除在每一块基板转移后，调整转移室108和单独的处理室132之间压 力的必要性。工厂界面112通常包括多个基板储存盒138和一个双叶片的气动机器 人136，盒子138通常可在形成于工厂界面112—侧的多个台140之间移 动。气动机器人136适应于在盒子138和装载锁定室100之间转移基板 110。通常，工厂界面112保持在或略高于大气压。图2是图1中多室装载锁100—个实施方案的剖面图。装载锁定室100 有一个室体212，室体包括多个垂直层叠、与周围环境隔离的基板转移室， 转移室通过真空压紧的、水平内壁214分离。尽管图2的实施方案中显示 了三个单个基板转移室220、 222、 224，但可以预料的是，装载锁定室100 的室体212可以包括两个或多个垂直层叠的基板转移室。例如，装载锁定 室100可以包括N个被N-1个水平内壁分离的基板转移室，其中N是大 于1的整数。基板转移室220、 222、 224使其中每一个都容纳单个大面积基板110， 从而使每一个室体积最小化以提高快速抽吸和排气循环。在图2所示的实 施方案中，每一个基板转移室220、 222、 224都有一个等于或小于约1000 升的内部体积，以容纳应具有平面表面积2.7平方米的基板。相比较而言， 常规的设计的双通道双基板转移室900 (图9所示)有大约1600升的内 部体积。可以预料的是，可以设置本发明的具有更大宽度和/或长度以及同 等高度的基板转移室以容纳更大的基板。室体212包括第一个侧壁202，第二个侧壁204,第三个侧壁206， 底部208和顶210，第四个侧壁302显示在图3中第三个侧壁206的对面。 室体212是由一个适合在真空条件下使用的刚性材料制成。在一个实施方 案中，室体212是由一个单个铝块(例如一块)制成。或者，室体212可 以由模块部分制成，每一个模块部分通常包括基板转移室220、 222、 224 之一的一部分，并以一种适合保持完全真空的方式装配，例如，参见附图 标记218所示的连续焊接。在图2所示的实施方案中，内壁214和室体212中除第二侧壁206的 其余部分是由单个相近质量的材料制成。第二侧壁206密封连接室体212 的其它部分以便于基板转移室220、 222、 224的加工，并允许在制造和装 配期间进入室体212的内部。或者，室体212的水平壁214可真空密封到室体212的侧壁，借此使 基板转移室220、 222、 224分离。例如，在装载锁定室100的早期装配阶 段，水平壁214可以连续地焊接到室体212，以使室体212有更大的入口。在室体212中定义的每一个基板转移室220， 222， 224都包括两个基 板转移室进出口。设置该口以便于基板110从装载锁定室100进出，在图 2所示的实施方案中，置于室体212底部208的第一个基板转移室220包 括宽度大于2000mm的第一个基板进出口 230和第二个口基板进出口 232，通过室体212的第一个侧壁202形成第一个基板进出口 230，并将 第一个基板转移室220连接到处理系统150的中心转移室108。通过室体 212的第二个壁204形成第二个基板进出口 232，并将第一个基板转移室 220连接到工厂界面112。在图2所示的实施方案中，基板进出口 230、 232置于室体212的对立侧，但是，口 230、 232可以定位于室体212的 邻近壁。每一个基板进出口 230、 232都可以通过各自的槽阀226、 228选择性 地密封，槽阀适应于选择性地使第一基板转移室220与转移室108和工厂 界面112的周围相隔离。槽阀226、 228通过一个执行机构242 (在图2 的虚线中显示的一个执行机构242通常置于室体212的外部)在打开和关 闭的位置之间移动。在图2所示的实施方案中，每一个槽阀226、 228沿 着第一个边缘枢轴地连接到室体212,并能通过在执行机构242在打开和 关闭的位置之间旋转。第一槽阀226从第一个侧壁202的内侧密封第一基板进出口 230,并 借此定位在第一基板转移室220内，以使第一基板转移室220和中心基板 转移室108的真空环境之间的真空(例如，压力)差别帮助槽阀226逆着 第一侧壁202装载和密封，借此增强真空密封。相应地，第二槽阀228置 于第二侧壁204的外部并借此定位，以使工厂界面112的周围环境与第一 基板转移室220的真空环境之间的压差帮助密封第二基板的进出口 232。 所用的槽阀的例子获益于1996年12月3日公开的美国专利N0.5579718 美国专利NO.6045620,在本文中将二者全文 引用供参考。第二个基板转移室222具有类似的构造，带有进出口 234、 236和槽 阀226、 228。第三个基板转移室224具有类似的构造，带有进出口 238、 240和槽阀226、 228。基板110被支撑在第一个基板转移室220的底部208和内壁214的上 方，内壁214通过多个基板支撑体244固定第二个和第三个基板转移室 222、 224的底界。设置基板支撑体244并分开将基板110支撑在底部208 (或者壁214)上面一个高度，以免基板和室体212接触。设置基板支撑 体244以使刮擦和基板污染达到最小。在图2所示的实施方案中，基板支 撑体244是具有圓形的顶部246的不锈钉。在美国专利N0.6528767 (2003年5月4日申请)，美国专利NO.09/982,406 ( 2001年10月17 曰申请)和美国专利NO.10/376857 (2003年2月27日申请)中，描述 了其它适合的基板支撑体，所有这些在此全文引用供参考。图3是装载锁定室沿图2的截面线3-3的剖视图，每一个基板转移室 220、 222、 224的侧壁包括至少一个通过此处的口，设置口以便于控制每 一个室内腔的压力。在图3所示的实施方案中，室体212包括一个通过室 体212的第四侧壁302形成的排气口 306和一个通过室体212的第三侧壁 206形成的真空口 304，用于排气和抽吸第一基板转移室220的下部。阀 310、 312分别连接到排气口 304和真空口 306以选择性地阻止流体穿过 此处流动。真空口 306连接到真空泵308，通过泵来选择性地降低第一基 板转移室220的内腔压力，以达到与转移室108的压力基本上匹配的水平。再参考图2，当转移室108和装载锁定室100的第一基板转移室220 之间的压力基本上相等时，可以打开槽阀226以允许被处理的基板转移到 装载锁定室100中，真空机器人134通过第一个基板进出口 230将基板处 理转移到转移室108中，放置基板后，从装栽锁定室100的第一基板转移 室220的转移室108返回，槽阀226关闭并且阀310打开，并由此允许排 放气体，例如，N2和/或He，气体通过排气口进入到装载锁定室100的第 一基板转移室220内，并升高内腔110的压力。通常，过滤通过排气口 304
进入到内腔110的排放气体以使基板上的潜在粒子污染降到最低。 一旦第 一基板转移室220内的压力与工厂界面112的压力基本相等，槽阀224打 开，因而使气动机器人136在第一基板转移室220和基板储存盒138之间 转移基板，盒138通过第二基板进出口 232连接到工厂界面112。其它的基板转移室222、 224具有类似配置。尽管在图3中显示的每 一个基板转移室220、 222、 224都有单独的泵308, —个或更多的基板转 移室220、 222、 224可以共享一个单级真空泵，该泵具有合适的流量控制 以便于在图3A所示的室之间选择性地抽吸。当基板转移室220、 222、 224设置体积为小于或等于1000公升时， 正如上面图9所示，常规双基板双通道装载锁定室900具有每小时转移大 约60个基板的转移率，与之相比，装载锁定室100在降低的抽吸率下每 小时可以转移大约70个基板。增加装载锁定室900的抽吸速率以提高基 板的产量将导致室内冷凝。与装载锁定室900的每次循环为130秒相比较， 本发明降低的抽吸速率每次吸/排循环大约在160-180秒之间，基本上更长 的循环周期会降低室内的空气速度，因此降低基板上的粒子污染的概率， 同时消除了凝结。此外，使用低容积的泵308可以达到更大的基板产量， 并能降低系统成本。而且，由于基板转移室的层叠设置，可以实现更大的基板产量而不必 使装载锁定室增加到比转移单个基板所必需的占地面积更多。在降低FAB 整体成本过程中非常期望最小化的占地面积。因此，具有三个单个基板转 移室220、 222、 224的装载锁的整体高度低于双室系统700，进而在一个 更小、更低成本的部件中提供更大的产量。第 一基板转移室220的底部208和内壁214可能也包括一个或多个形 成于其中的凹槽316，内壁214形成第二和第三基板转移室222、 224的 底界。正如图4A-B中所示，在置于基板支撑体244上的基板110和机器 人叶片402之间，设置凹槽316以提供间隙。叶片402(显示在图4A-B中的一个指状物)被移入凹槽316。 一旦到 达第一基板转移室220的预定位置，叶片402将升高以从支撑体244上提 升基板110。然后，运送基板110的叶片402从第一基板转移室220中缩
回。基板100以反转的方式放在基板支撑体244上。图5是定位机构500的一个实施方案的室体212的局部剖视图，定位 机构500可以用来促使基板110进入到第一基板转移室220内的预定位 置。第二个定位机构(没显示)置于第一基板转移室220对面的角落，以 配合所示的机构500的操作。任选的，在第一基板转移室220内的每个角 落均可设置定位机构500。其它的基板转移室222、 226也类似配备以使 基板定位。例如，当通过气动机器人136把基板110放在基板支撑体244的位置 和基板110相对于基板支撑体244的预定位置(即设计位置)之间有误差 时，定位机构500可以校正这个定位误差。与利用气动机器人136调整基 板设置的常规校正方法不同，通过装载锁定室100内的定位机构500使基 板110定位的方法提供更大的机动性能和较低的系统成本。例如，由于装 载锁定室100给基板支撑体244上的基板提供更宽松的位置，因此，带有 定位机构500的基板转移室280在装载锁定室100和工厂界面112提供的 使用者之间提供更大的兼容性，借此降低高精确度的机器人和/或通过工厂 界面提供者产生校正的机器人动作的算法的需要。此外，当机器人定位精 度设计标准降低后，可利用低成本的机器人。在图5的实施方案中，定位机构包括两个滚筒502、 504连接到杆508 第一末端506。延伸通过槽518的杆508在钉510附近装轴转动，槽518 通过侧壁302形成。执行机构512连接杆508以逆着基板110的邻近边缘 的方向推动滚筒502、 504。执行机构512，例如一个充气的圓筒，通常定 位在室体212的外部。外壳520密封置于槽518之上，并包括波紋管或其 它适合的密封522以便于执行机构512连接到杆508而没有真空泄漏。定 位机构500和反向的定位机构(没有显示)配合操作以将基板定位在第一 基板转移室220内预定的位置。其它可以使用的基板定位机构在美国专利 申请NO.10/094，156 ( 2002年3月8日申请)和美国专利申请 NO,10/084,762 ( 2002年2月22日申请)中有公开，所有这些在此全文 引用供参考。图6-7是定位机构600的另 一个实施方案的剖视图。设置定位机构600
以进行与上述的定位机构500相似的操作。尽管图6中只显示了一个定位 机构600,但定位机构600与设置在室体212对角的另一个定位机构(没 有显示)配合操作，任选的，室体212的每一个角落都有一个定位机构。定位机构600通常包括一个通过轴604连接到执行机构608的内杆 602，轴604穿过室体212设置。在图6-7描述的实施方例中，执行机构 608通过外杆606连接到轴604，外杆606连接到轴604的柱720上，轴 604延伸穿过室体212外壁的凹进处702，执行机构608可以是一个电动 机，线性执行机构或适于使旋转运动传递到轴604的其它设备。带有轴604 的内杆602旋转，借此移动从杆602延伸的一对滚筒502， 504,以推动 基板110 (在剖视图中显示)进入一个预定的位置。轴604穿过一个限定在凹进处610底部的水平壁612。一个空外壳614 设置轴604,通过多个紧固零件616使空外壳固定在室体212上。 一对套 管706、 712设置在夕卜壳614的孑L 708上，以便于轴604在外壳614内旋 转。密封704设置于外壳614的法兰710之间，使室体212保持完全真空。在轴604和外壳614之间设置多个密封714以阻止真空损失。在图7 所示的实施方案中，密封714包括三个开口端朝外杆606的杯状密封。通 过垫片716和定位环718使密封714保持在孔708内。图8是装载锁定室800的另一个实施方案。装载锁定室800与上述的 装载锁定室100类似，并且在基板转移室向下抽吸和/或排气期间，装栽锁 定室额外配置以提供一个基板110的热处理系统。在图8所示的实施方案 中，所示的室体822的一部分有一个详细描述的基板转移室802，而上部 和下部的邻近基板转移室804、 806可具有相似的结构。在一个实施方案中，在基板转移室802上设置冷却板810。冷却板810 可许适应于冷却处理返回到装载锁定室800的基板，冷却板810可以是一 个完整的零件，或者是连接到内壁214。冷却板810包括多个连接到冷却 流体源814的个通道812,冷却流体源814适应于使热传递流体循环穿过 通道812以调节基板110的温度。在图8所示的实施方案中，冷却板810连接至少一个执行机构816, 其控制板810相对于基板支撑体244上的基板110的高度。通过冷却板
810形成间隙818，通过间隙818设置基板支撑体244以使冷却板810垂 直移进邻近基板时增强热交换，远离基板时为上述图4A-B中涉及的机器 人叶片提供进出口。执行机构810连接到室体822的外部，并通过连接杆820连接到冷却 板810。杆820穿过形成于室体822上的槽824。外壳826置于槽824的 上部并通过波紋管828或者类似物密封地连接到执行机构810和杆820， 以使执行机构810调整冷却板810的高度而基板转移室没有真空损失。基板转移室802也可以包括一个设置于顶部边界的(即室体的内壁或 顶部，依赖于装载锁定室内的基板转移室的位置)加热部件830。在图8 所示的实施方案中，加热部件830连接到电源832并适应预热未处理的基 板，在一个实施方案中，加热部件830是一个辐射加热器，例如石英红外 线卣素灯或其类似物。可以预料的是，也可以使用其它的加热部件。因而，本文提供了一种具有垂直层叠单一基板转移室的装载锁定室。 与现有常规技术中双通道双基板设计相比，垂直层叠单一基板转移室的结 构具有缩小的尺寸和更大的产量。此外，低抽吸和排气率也能增加产量，尽管前述内容涉及本发明的优选实施方案，但可以设计出其它的和进 一步的实施方案而不偏离本发明的基本范围。本发明的范围由以下的权利 要求书限定。
权利要求
1. 一种装载锁定室包括一个室体，其第一侧适用于连接真空室，第二侧适用于连接工厂界面； 在室体内形成的N个垂直层叠的14l转移室，其中N是大于2的整数；和 N-1个内壁，每一个内壁使邻近的^4反转移室分离并与周围环境隔离；
2. 权利要求1所述的装载锁定室，其中该室体是由一块材料制成。
3. 权利要求1所述的装载锁定室，其中至少第一和第二侧中的一侧是由一 块材冲牛制成的内壁制成以形成室部件，室部件的第一和第二侧部与其密封连接。
4. 权利要求1所述的装载锁定室，其中该室体进一步包括 多个模块部分，每一部分包括至少一个J^反转移室，其中模块部分是垂直层叠的。
5. 权利要求1所述的装载锁定室,其中_ 转移室具有小于或等于大约1000 立方升的内体积。
6. 权利要求1所述的装载锁定室，其中每一个14l转移室进一步包括多个 固定的J^反支撑体，这些支撑体适应于保持U^H^反转移室内相对于室体空间 分离的位置。
7. 权利要求1所述的装载锁定室，其中每一个1^反转移室适应于容纳一个 具有平面面积至少为2.7平方米的141。
8. 权利要求1所述的装载锁定室，其中每一个;&^转移室进一步包括 一个冷却板，设置于室体的至少一个内壁、顶部或底部之上或与之形成整体。
9. 权利要求8所述的装载锁定室，其中该冷却板进一步包括 适应于热传递流体由此流过的多个通道。
10. 权利要求8所述的装载锁定室，其中每一个基板转移室进一步包括多个固定的基板支撑体，适应于保持1^1^S^反转移室内相对室体空间分离 的位置，至少一个基纟反支撑体通过冷却纟反设置；及一个连接冷却板的执行才/U勾，适应于控制冷却板相对于基板支撑体的远端的 高度。
11. 权利要求10所述的装载锁定室，其中每一个1^反转移室进一步包括 设置于至少一个1^反转移室的顶部或底部的加热器。
12. 权利要求1所述的装载锁定室，其中每一个基板转移室进一步包括 设置于至少一个_|^反转移室的顶部或底部的加热器。
13. 权利要求1所述的装载锁定室，其中每一个J4反转移室进一步包括 一个定位才M勾，设置在至少基板转移室对角内并适应于在基板转移室中将基板水平地定位于预定的位置。
14. 权利要求1所述的装载锁定室，其中每一个^i4反转移室进一步包括 排气口和抽吸口。
15. 权利要求1所述的装载锁定室，其中每一个;I41转移室的抽吸口连接一 个单级泵。
16. 权利要求1所述的装载锁定室，其中每一个^转移室的抽吸口连接各 自的泵。
17. 权利要求1所述的装载锁定室，其中内壁进一步包括在第一和第二侧之间有多个转动的凹槽，这些凹槽适应于接受基板转移机器人的至少一部分末端 执行器。
18. 权利要求13所述的装载锁定室，其中该定位才;U勾进一步包括 一个延伸通过槽的杆，槽穿过室体形成； 连接到杆的第一末端的两个滚筒，及连接到杆的执行机构，适应于逆着室体内^^反的邻近边缘的方向推动滚筒。
19. 权利要求18所述的装载锁定室，其中该定位才M勾进一步包括 一个外壳，密封地设置于槽的上方；和密封，便于连4射丸行才/U勾和杆而室体不会产生真空泄漏。
20. 权利要求18所述的装载锁定室，其中该杆枢轴地连接到室体。
21. 权利要求1所述的装载锁定室，其中每一个141转移室进一步包括 两个宽度大于2000mm的差^反进出口 。
22. —种装载锁定室包括一个室体，其第一侧适用于连接真空室，另一个侧适用于连接工厂界面； 形成在室体内的第一室；连接室体的第一槽阀，将通过室体第一侧形成的第一个差4反进出口选择性地 密封并连接到第一室；连接室体的第二槽阀，将通过室体第二侧形成的第二个基板口选择性地密封 并连接到第一室；至少一个形成于室体内的第二个室，并通过一个水平的壁与第一室隔离； 连接室体的第三槽阀，将通过室体第一侧形成的第三个J^反进出口选择性地 密封并连接到第二室；连接室体的第四槽阀，将笫四个1^反进出口选择性地密封，并连接到第二室； 形成于室体内第一室和第二室上方的第三室，通过第二个水平的壁与第二室分离；连接室体的第五槽阀，将第五个^i^反进出口选择性地密封并连接到第三室； 及连接室体的第六槽阀，将第六个1^反进出口选择性地密封并连接到第三室；
23. 权利要求21所述的装载锁定室，进一步包括在室体内形成的用于接受单个基板的N个室，每一个室通过一个水平的壁与 邻近的室分开，其中N是大于3整数。
24. 权利要求21所述的装栽锁定室，进一步包括 可通流体地连接到第 一 室的第 一压力操作系统，可通流体地连接到第二室的第二压力操作系统，第一和第二压力操作系统可 独立控制。
25. 权利要求24所述的装载锁定室，其中第一压力系统进一步包括 一个通过排气口连接到第一室的排气阀；和一个通过抽吸口连接到第一室的泵。
26. 权利要求21所述的装载锁定室，进一步包括 设置在每一个基板转移室的辐射式加热器。
27. 权利要求21所述的装载锁定室，进一步包括 设置在每一个基板转移室的冷却板。
28. —种装载锁定室包括一个室体，其第一侧适用于连接真空室，另一个侧适用于连接工厂界面； 形成在室体内的第一室；连接室体的第一槽阀，将通过室体第一侧形成的第一个基板进出口选择性地 密封并连接到第一室；连接室体的第^r^曹阀，将通过室体第二侧形成的第二个J41进出口选择性地密封并连接到第一室；在室体内形成第二个室，并通过一个水平的壁与第一室环境隔离； 第三槽阀，将通过室体第一侧形成的第三个a进出口选择性地密封并连接到第二室；连接室体的第四槽阀，将第四个1^反口基板进出口选择性地密封并连接到第 二室；形成于室体内的第三室，通过水平的壁与第二室环境分离； 连接室体的第五槽阀，将通过实体第一側形成的第五个基板进出口选择性地密封并连接到第三室；及连接室体的第六槽阀，将第六个J^反进出口选择性地密封，并连接到第三室，其中每一个室都设置为能容纳具有表面积为2.7平方米的勤l，每一个室进一步包括一个设置在室底部的冷却设备；一个设置在室顶部的加热设备；多个延伸通过室底部的_|^反支撑体钉；一个适应于使室内的^4^"中的定位才A4勾；一个排气口；及一个抽吸口。
29. 权利要求28所述的装载锁定室，其中每一个室的抽吸口连接一个单级泵。
30. 权利要求28所述的装载锁定室，其中每一个室的抽吸口与各自的勤目连接。
31. 权利要求28所述的装载锁定室，其中每一个室进一步包括 一个连接冷却4反的才A^亍才;t4勾，适应于控制冷却板相对于J41支撑体远端的高度。
32. 权利要求28所述的装载锁定室，其中的定位4A4勾进一步包括 一个延伸通过槽的杆，槽穿过室体； 连接到杆的第一末端的两个滚筒，及连接到杆的执行机构，适应于逆着室体内的J^反邻近边缘的方向推动滚筒。
33. 权利要求28所述的装载锁定室，其中定位才;i4勾进一步包括 密封地i殳置于槽上方的外壳；和密封，便于连4^丸#^构和杆而室体不会产生真空泄漏。
34. 权利要求32所述的装载锁定室，其中杆枢轴地连接到室体。
35. 权利要求32所述的装载锁定室进一步包括 一个通过室体连接到杆的轴；和 设置于室体外的第二个杆，连接轴和执行一几构。
36. —种大面积的^^反处理系统包括 一个转移室；一个设置于转移室内的转移机器人；连接到转移室的多个处理室；和连接到转移室的多个垂直层叠的单个^S41装载锁定室。
37. —种用于在多个装载锁定室内控制压力的方法包括使第一个室排气并从那里转移第一块J^反，排气并转移定义为第一阶段； 在至少第一阶段的部分时间内，开动泵向下抽吸包含第二_|^反的第二装载锁 定室；将泵入口从第二锁定室转换到第三锁定室；当第二 ^反从第二装载锁定室转移到真空转移室时，开动泵向下抽吸包含 第三J^反的第三装栽锁定室。
全文摘要
一种装载锁定室和方法，用于传送大面积基板。在一种实施例中，合适用于传送大面积基板的装载锁定室包括多个垂直堆积起来的单基板传送室。这种垂直堆积的单基板传送室结构与现有技术-双槽、双基板设计-相比，尺寸减小、传送量加大。另外，加大的传送量是以减小泵浦量和排放率来实现的，由于颗粒和凝聚的缘故，使得基板遭受污染的可能性减小。
文档编号H01L21/68GK101145506SQ20071016690
公开日2008年3月19日 申请日期2004年10月20日 优先权日2003年10月20日
发明者S·库里塔, W·T·布罗尼根, Y·塔纳斯 申请人:应用材料股份有限公司