专利名称：盖体以及基板收纳容器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种收纳由半导体晶片等构成的基板的容器本体的盖体以瓦基板收纳容器。
背景技术：
以往的基板收纳容器未图示，构成为具备容器本体，整列收纳由半导体晶片构成的多张的基板；盖体，拆装自如地嵌入到该容器本体的开口正面部上。该基板收納容器在半导体部件的量产工序中被设置在半导体晶片的加工装置中，鉴于清洁化的要求，利用加工装置的盖体开闭装置自动地开闭盖体(参照专利文献l、 2)。
基板收纳容器基本上通过加工装置的盖体开闭装置来自动地开闭盖体，但是在故障产生时及试验时，通过作业者用手动来开闭盖体.在该情况下，作业者使用专用的小型夹具将盖体从容器本体卸下，或者摆动操作下。
专利文献l:特开平11-91864号公报专利文献2:特开2003-174081号公报
以往的基板收纳容器，如上所述地构成，使用专用的小型夹具或手动操作用的开闭手柄而通过手动从容器本体卸下盖体，但是在使用专用的家具的情况下，必须对各工序准备夹具，且由于小型所以存在丢失的危险。此外，在使用开闭手柄的情况下，必须使开闭手柄事先轴支在盖体的表面上，因此操作费工时，而且存在结构烦杂的问题，
此外，开闭手柄是可动的，因此存在由于搬送时的振动及冲击易于在滑动部易于产生颗粒的问题。进而，在盖体的清洗时清洗水易于残留在开闭手柄的轴支部及操作用的空隙部，因此清洗后的干燥作业需要长时间的危险可能大。
发明内容
本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供一种盖体以及J4SL收纳容器，即使在用手动开闭的情况下部件及附属品等的丢失的危险也较少，即便在搬动时的振动及沖击下也不易产生颗粒，而且，清洗后的干燥作业不需要长时间。
在本发明中为了解决上述问题，提供一种拆装自如地嵌入在收纳M的容器本体的开口部的盖体，其特征在于，
包含框体，嵌入在容器本体的开口部上；锁止机构，配设在该框体上，使能够基于旋转体的旋转从框体的周壁进出地突出的卡止体与容器本体的开口部内周干涉，从而将框体锁止；軍，覆盖该锁止机构；操作窗，形成在该革上而与旋转体对置。
另外，锁止机构可包含旋转体，能够旋转地支承在盖体的框体上而被从外部操作；多个的连结体，支承在框体上，随着旋转体的旋转而沿框体的内外方向往复运动；多个的卡止体，与各连结体连结，通过该连结体的往复运动而从框体的周壁的贯通口进出。
此外，优选在锁止机构的旋转体的与操作窗的对置部上具备手动操作机构。
此外，能够令手动操作机构为设置在锁止机构的旋转体上的手指插入孔。
此外，能够在旋转体的手指插入孔的周围形成手指卡合片。此外，能够令手动操作机构为设置在锁止机构的旋转体上而从操作窗露出的操作杆。
此外，能够令手动操作机构为形成在锁止机构的旋转体上的滚花。此外，在本发明中为了解决上述问题，其特征在于，在收纳基板的容
器本体的开口部上拆装自如地嵌入技术方案1至6的任意一项所述的盖
体，
另外，能够在容器本体的开口部的内周缘上形成与锁止机构的卡止体干涉的多个卡止孔。
在此，技术方案的基板至少包含口径200mm、 300咖、450,的半导体晶体、再生晶体、玻璃晶体等的单个或多个。不特别地考虑容器本体及基板收纳容器是透明、不透明、半透明的顶部开放盒型、前部开放盒型、底部开放盒型、工序内用、运输用等。
锁止机构不特别地考虑单个或多个及拆装。在该锁止机构的卡止体上
包含爪或辊等。操作窗不特别地考虑单个或多个及形状。例如，能够令操作窗为圓弧形、圓形、矩形、多边形、或者椭圃形等。进而，手动操作机构的手指插入孔(不考虑底的有无)、指卡合片、操作杆(包含手柄等)不考虑单个或多个及形状.
根据本发明，在通过手动开闭收纳基板的容器本体的盖体的情况下，将手指及杆等插入軍的操作窗，使锁止机构的旋转体转动，则锁止机构动作而能够通过手动开闭盖体。
根据本发明，具有下述效果即使在用手动开闭盖体的情况下，部件、附属品、专用品的丢失的危险较少，即便在搬送时的振动及冲击等下也能够抑制或者防止产生颗粒。此外，能够谋求清洗的盖体的干燥作业的迅速化。
此外，若作为手动操作机构而使用手指插入孔，则能够适当地将手指等钩挂在锁止机构的旋转体上，因此手动搮作容易。
此外，若在作为手动操作机构的手指插入孔上形成有指卡合片，则能够将手指等的操作力可靠地向锁止机构的旋转体传递。
进而，若令手动操作机构为形成在锁止机构的旋转体上的滚花，则在操作锁止机构的旋转体时，能够用简单的结构防止手指等的打滑.
图1是示意地表示本发明的盖体以瓦基板收纳容器的实施方式的整体立体说明图。
图2是示意地表示本发明的盖体以; L&板收纳容器的实施方式的主视说明图。
图3是示意地表示将軍从图2的盖体卸下的盖体的主视说明图，
图4是示意地表示图3的旋转板90。旋转的状态的主视说明图.
图5是示意地表示本发明的盖体以及基板收纳容器的实施方式的锁
止机构的旋转板的主视说明图。
图6是示意地表示图5的旋转板旋转的状态的主视说明图。图7是示意地表示图6的旋转板旋转的状态的主视说明图。图8是示意地表示本发明的盖体以瓦基板收納容器的实施方式的軍
的主视说明图。
图9是示意地表示本发明的盖体以瓦基板收纳容器的第二实施方式的锁止机构的旋转板的立体说明图。图10是示意地表示本发明的盖体以l基板收纳容器的第二实施方式
的锁止机构的立体i兌明图。
图ll是示意地表示本发明的盖体以瓦基板收纳容器的第三实施方式的锁止机构的旋转板的立体说明图。
图12是示意地表示本发明的盖体以瓦基板收纳容器的笫三实施方式的锁止机构的立体说明图。
图13是示意地表示本发明的盖体以及基板收纳容器的第四实施方式的锁止机构的立体说明图。
附图标记说明1…容器本体
2…开口正面部(开口部)
10…盖体
11…框体
14…锁止机构
15...旋转板(旋转体)
16…搮作孔
19...连结板
21…卡止爪(卡止体)
22…罩板(罩)
24…操作口
30..，操作窗
40…手动操作机构
41...手指插入孔
42…手指卡合肋
43…操作杆
43A…操作杆
44…滚花
具体实施例方式
以下，参照
本发明的优选的实施方式，本实施方式的基板收纳容器如图1至图8所示，具备容器本体l，收纳多张的基板；盖体IO，以密封状态拆装自如地嵌入在该容器本体1的开口正面部2上，该盖体 10包括框体ll，拆装自如地嵌入在容器本体1的开口正面部2上；多 个的锁止机构14，设置在该框体11的表面，使能够基于各旋转板15的 旋转而从框体ll的周壁进出地突出的多个的卡止爪21与容器本体1的开 口正面部2内周卡止，从而将框体ll锁止关闭；多个軍板22，安装在框 体11的表面上而覆盖各锁止机构14;多个的操作窗30，形成在各軍板 22上而与各旋转板15局部地对置，在各锁止机构14的旋转板15的与操 作窗30的对置部上具备手动操作机构40。
基板未图示，由例如口径300mm的薄圓形半导体晶片(硅晶片等)构
成，为了半导体晶片的结晶方位的判别及位置对合，选择地且直线地切去 周缘部的一部分而作为定向平面，或者大致细槽型地切去周缘部的一部分 而形成凹槽，在容器本体1内整列收纳1至25张，或者1至26张，
容器本体l如图1所示，使用既定的成形材料而注射模塑成形为正面 开口的前部开放盒型。作为该容器本体l的成形材料，列举了例如聚碳酸 酯、环烯聚合物、聚醚酰亚胺、聚醚磺、聚醚醚酮等的热塑性树脂，在该 热塑性树脂中可以适当添加有由导电性碳、导电纤维、金属纤维、导电性 高分子等构成的导电剂、各种的带电防止剂、紫外线吸收剂等。
容器本体1其内部背面上突出形成有水平地嵌合保持基板的后部周 缘的左右一对后部保持器，该一对后部保持器以既定的间隔沿上下方向并 设。此外，在容器本体l的内部两侧突出形成有水平地支承J4l的侧部周 缘的左右一对齿，该相对置的左右一对齿以既定的间隔沿上下方向并设。
在容器本体1的底面上拆装自如地安装有俯视大致Y字型、多边形、 或者三角形等的底板，在该底板上配列而安装有对于未图示的加工装置的 截面大致V字型的多个的定位件，在容器本体l的顶板中央部上拆装自如 地安装有被搬送机器人把持的俯视大致矩形的凸缘。此外，容器本体l的 开口正面部2如图l及图2所示，带有阶梯差而弯曲形成为向外方向伸出， 该阶梯差的平坦的阶梯差面作为盖体10用的密封形成面而起作用.
在容器本体1的开口正面部2的内周缘上下以既定的间隔凹陷形成有 与锁止机构14的卡止爪21嵌合的左右一对卡止孔，在容器本体1的左右柄。
使用与容器本体1相同的成形材料成形盖体10的框体11、多个锁止机构14、多个罩板24以及手动操作机构40。框体ll如图l至图4所示， 基本地形成为截面呈大致盘型的正面横长的长方形，中央部12向表面侧 (正面侧)隆起为大致矩形从而左右的两侧部相对地凹陷形成，并且在该 凹陷的左右两侧部内分别设置有锁止机构14，矩形的贯通口分别穿孔在 周壁的上下两侧，
框体ll的中夹部12如同图所示，在表面的上下两側并设有吸附在加 工装置的盖体开闭装置上的圆形的吸附区域13，在凹陷的内表面拆装自
在框体ii的内表面的周缘部上，截'面大f致u字型的嵌合保持槽形成为环
状的框架，在该嵌合保持槽上嵌入有与容器本体1的密封形成面压接的能 够弹性变形的密封垫片。该密封垫片例如使用硅橡胶及氟橡胶等成形为环 状。
各锁止机构14如图3至图7所示，能够旋转地轴支在框体11的表面， 具备旋转板15，从盖体10的外部被加工装置的盖体开闭装置旋转操作； 一对连结板19，经由多个引导销及导件而能够滑动地支承在框体ll的表 面上，随着旋转板15的旋转沿框体11的上下内外方向滑动； 一对卡止爪 21，轴支在框体ll的周壁的贯通口附近，并且与各连结板19的顶端部连 结轴支，通过连结板19的滑动而从框体11的周壁的贯通口进出。
各旋转板15形成为截面大致凸字型，向表面侧突出的圆形的中心部 上俯视矩形地凹陷形成有外部操作用的操作孔16。该旋转板15在其外周 部上以大致180。的间隔分别穿孔有一对圆弧槽，在周缘部上以大致180 °的间隔附设有具有挠性的一对弯曲片18。
各连结板19作为连结体形成为长方形的平板，其表面末端部的圆柱 形的连结销20嵌入而连结于旋转板15的圓弧槽17。若旋转板15向一个 方向旋转，则这样的连结板19向框体11的上下外方向滑动而从周壁的贯 通口使与容器本体1的卡止孔嵌合的卡止爪21突出，若旋转板15向另一 方向旋转，则连结板19向框体11的上下内方向滑动而使卡止爪21回到 原来的位置。
各革板22如图1、图2、图8所示，以与框体11的各侧部对应的方 式形成为纵长，在中央部上方及侧部处突出形成有多个与框体11及其中 央部侧面拆装自如地卡合的挠性的卡合片23。在该革板22上穿孔有与旋 转板15的操作孔16对置而连通的俯视矩形的操作口 24，贯通该操作口
824的盖体开闭装置的操作键插入到旋转板15的操作口 16中而旋转，从 而从外部操作各锁止机构。
多个的操作窗30如图1、图2、图8所示，形成在各軍板22的大致 中央部而在操作口 24的左右排列而配列为一对，各操作窗被穿孔为俯视 大致圆弧形，以与旋转板15的表面局部地对置而容许从外部的手动操作 的方式起作用。
手动操作机构40如图5至图7所示，形成为具备 一对手指插入孔 41，在与操作窗30对置的旋转板15的对置部上以180°的间隔穿孔为俯 视大致扇形；手指卡合肋42，突出形成在各手指插入孔41的周缘部的一 部分上。使用与容器本体l相同的成形材料成形该手动操作机构40。
另夕卜，优选操作窗30和手指插入孔41形成为例如依据SEMI规格S8 (半导体制造装置的人体工学工程)的尺寸。
在上述中，在通过手动从容器本体1卸下盖体10的情况下，将手指 插入各罩板22的操作窗30内，并且使手指插入手动操作机构40的手指 插入孔41内而与手指卡合肋42卡合，将旋转板15向任意的方向转动， 则锁止机构14动作而能够通过手动卸下与容器本体1的开口正面部2嵌 合的盖体10。
根据上述，即使不使用专用的小型的夹具，只要使用手动操作机构 40的手指插入孔41和手指卡合肋42，也能够更简单地通过手动从容器本 体1卸下盖体10，因此完全不需要对各工序事先准备夹具，并且，夹具 丢失的危险也不存在。此外，不需要在盖体10的表面事先轴支开闭手柄， 因此能够谋求盖体10的开闭作业的顺利化、简易化、迅速化、容易化， 另一方面能够使盖体10的结构变得简单。此外，能够省略开闭手柄，因 此不会由于搬送时的振动及冲击而在滑动部产生颗粒。
此外，随着开闭手柄的省略，不会在开闭手柄的轴支部及操作用的空 隙部残留清洗水，因此能够谋求清洗后的干燥作业的迅速化。此外，在与 操作窗30对置的旋转板15的对置部上配设有手指插入孔41和手指卡合 肋42，因此手指的插入变得容易，给手动操作带来障碍的情况较少。此 外，只要使用手动操作机构40的手指插入孔41，能够适当地卡止手指， 因此手动操作变得容易，进而，若使用手指卡合肋42，则能够可靠地向 旋转板15传递手指的操作力。
接着，图9、图10表示本发明的第二实施方式，在该情况下，令手动操作机构40为一对操作杆43，所述操作杆43向各旋转板15的表面突 出形成，从各軍板22的操作窗30露出。
各操作杆43形成为直线性的且较短的长方形片或者正方形片，^t接 近配置在各圆弧槽17的端部，通过作业者的手指的干涉使旋转板15旋转。 关于其他的部分与上述实施方式相同因此省略说明。
在本实施方式中也能够期待与上述实施方式相同的作用效果，而且， 操作杆43从軍板22的各操作窗30突出，因此显然能够在手动操作时使 手指的插入量减少。此外，能够谋求手动操作机构40的形状及构造的多 样化。
接着，图11、图12表示本发明的第三实施方式，在该情况下，令手 动操作机构40为一对操作杆43A，所述操作杆43A在各旋转板15的表面 中心部以180。的间隔而形成，从各罩板22的呈圆形的操作窗30露出。
各操作杆43A弯曲形成为比操作杆43大且长的大致〈字型，形成为 从各旋转板15的表面中心部向半径外方向伸长，通过作业者的手指的干 涉使旋转板15旋转。关于其他的部分与上述实施方式相同因此省略说明。
在本实施方式中也能够期待与上述实施方式相同的作用效果，而且， 各操作杆43A比操作杆43大且长，显然操作性进一步提高。
接着，图13表示本发明的第四实施方式，在该情况下，将手动操作 机构40为防滑用的滚花(knurling) 44，所述滚花44在各旋转板15的 周面上多个并列地刻设为横向或者斜向，分别从各革板22的呈矩形的多 个的操作窗30露出。关于其他的部分与上述实施方式相同因此省略说明。
在上述中，在通过手动从容器本体1卸下盖体10的情况下，将手指 插入各罩板22的操作窗30内，将手指与手动操作机构40的锯齿状的滚 花44紧贴，使旋转板15向任意的方向转动，则旋转板15不会滑动而顺 利地旋转。
在本实施方式中也能够期待与上述实施方式相同的作用效果，而且， 完全无需在旋转板15上新设置多个的操作杆43，因此能够谋求旋转板15 的结构的简单化。
权利要求
1. 一种盖体，拆装自如地嵌入在收纳基板的容器本体的开口部上，其特征在于，包含框体，嵌入在容器本体的开口部上；锁止机构，配设在该框体上，使能够基于旋转体的旋转而从框体的周壁进出地突出的卡止体与容器本体的开口部内周干涉，从而将框体锁止；罩，覆盖该锁止机构；操作窗，形成在该罩上而与旋转体对置。
2. 如权利要求1所述的盖体，其特征在于，在锁止机构的旋转体的与操作窗的对置部上具备手动操作机构。
3. 如权利要求2所述的盖体，其特征在于，令手动操作机构为设置在锁止机构的旋转体上的手指插入孔。
4. 如权利要求3所述的盖体，其特征在于，在旋转体的手指插入孔的周围形成手指卡合片。
5. 如权利要求2所述的盖体，其特征在于，令手动操作机构为设置在锁止机构的旋转体上而从操作窗露出的操作杆。
6. 如权利要求2所述的盖体，其特征在于，手动操作机构为形成在锁止机构的旋转体上的滚花。
7. —种基板收纳容器，其特征在于，在收纳基板的容器本体的开口部上拆装自如地嵌入权利要求1至6任意一项所述的盖体。
全文摘要
一种盖体及基板收纳容器，即使在用手动开闭的情况下部件及附属品等的丢失的危险也较少，搬动时的振动及冲击不易产生颗粒，而且，对清洗后的干燥作业不需要长时间。具备收纳基板的容器本体(1)、拆装自如地嵌入在容器本体(1)的开口正面部(2)上的盖体(10)。盖体(10)包括框体，拆装自如地嵌入在容器本体(1)的开口部正面部(2)上；锁止机构(14)，配设在框体的表面，使基于旋转板(15)的旋转能够从框体的周壁进出地突出的卡止爪与容器本体(1)的开口正面部(2)内周卡止从而将框体锁止；罩板(22)，覆盖安装在框体表面的锁止机构；操作窗，形成在罩板(22)上而与旋转板(15)部分地对置。在与锁止机构(14)的旋转板(15)的操作窗(30)的对置部上具备手动操作机构。
文档编号H01L21/673GK101523589SQ20078003752
公开日2009年9月2日 申请日期2007年9月28日 优先权日2006年10月6日
发明者户田顺也, 长谷川晃裕 申请人:信越聚合物株式会社