容置薄板的容器的制作方法

文档序号:6901970阅读:236来源:国知局
专利名称:容置薄板的容器的制作方法
技术领域
本发明是关于一种容置薄板的容器,特别是关于一种具有良好气密功能的容置薄
板的容器。
背景技术
目前在半导体厂中,关于晶片、光罩的储运装置大多采用由惠普公司所提出的标准式接口 (standardized mechanical interface, SMIF)系统,此SMIF系统已于美国专利第4532970号及第4534389号中公开。SMIF系统的目的是要确保晶片、光罩在输送和储藏过程中,晶片、光罩周围的气体基本上相对于晶片、光罩是静止的,且无尘室中的微粒亦不致于进入紧邻晶片、光罩的环境中。 因此,在SMIF系统中使用的输送容器,需具备良好的气密效果,以避免外在环境的气体或微粒进入输送容器。请参阅图1A及图1B所示,是公知技术的输送容器其盒体与盒门达成气密的示意图。此输送容器是包括一盒体10及一盒门20,盒门20具有一外表面21及一内表面22,盒门20的内表面22用以封闭盒体10的一开口 14。而在盒门20的内部(即外表面21与内表面22之间)设置有一门闩装置,此门闩装置包括一凸轮200及一对滑动装置300(图中仅显示一侧的滑动装置),滑动装置300其一端则设有一滑轮301可于凸轮200上方滑动;因此,当经由盒门20外表面21的一门闩开孔21H来转动凸轮200时,凸轮200会带动滑动装置300水平地伸出盒门20 (如图1A所示)。而随着凸轮200的继续转动,滑动装置300其滑轮301爬上凸轮200上的一平台201,造成滑动装置300往原本行进方向其垂直方向偏移,使滑动装置300进一步抵压盒体10上的凹洞其下缘10L ;最后,使整个盒门20往盒体10的内部抬举些许距离,造成盒门20上的一气密件26与盒体上的一凸体17接触,而达成气密(图1B)。 上述输送容器虽可达成气密的功能,然,盒门20往盒体10内部抬举的力量是不足的,容易造成凸体17与气密件26之间存有空隙;且,门闩装置其结构相对较复杂,使用滑轮301在凸轮200上滑动也容易有微粒粉尘产生,对于容器内部的对象是一明显的威胁。

发明内容
依据公知技术的输送容器其气密效果不佳或其使用滑轮容易产生微粒粉尘等问题,本发明的目的在于提供一种具有良好气密效果的容置薄板的容器 为实现上述目的,本发明提供的容置薄板的容器,包括一盒体,具有一顶面及四个与顶面相邻的侧表面,顶面与侧表面形成一内部区域及一开口,其中在内部区域中于四个侧表面的相对的二侧表面各枢接有一可动扣件;一盒门,具有一内表面,用以封闭盒体的开口 ;复数个支撑柱,配置于盒门的内表面上,用以支撑一薄板;一气密件,环设于盒门的内表面的四周边缘上;及一门闩装置,配置于盒门中,当盒门的内表面封闭盒体的开口时,其可经由一凸轮带动一对滑动装置依一往返方向移动于一第一位置与一第二位置之间,在第一位置中,滑动装置包容在盒门中,而在第二位置中,滑动装置则伸出盒门并接触盒体的可动扣件,且由可动扣件将盒门往一密封方向移动,以利用气密件使盒门与盒体形成密封。
本发明的容置薄板的容器,其盒门被往上抬举的力道及距离是足够的,可使盒体 与门体之间形成良好的气密效果。 本发明的容置薄板的容器,其门闩装置是不采用滑轮的设计,可避免每次开启或 关闭盒门时,滑轮在凸轮其平台上滑行,可减少微粒粉尘的产生。 本发明的容置薄板的容器,是使用一设计简单的门闩装置,仅会造成滑动装置水 平地往盒门外伸出,滑动装置并不需要在两个不同的方向上移动。


图1A及图IB是公知技术的输送容器其盒体与盒门达成气密的示意图; 图2是本发明的一种容置薄板的容器的示意图; 图3是本发明的容器其盒体内部区域的示意图; 图4是本发明的容器其可动扣件的示意图; 图5A是本发明的容器其盒门处于解除锁固时的示意图; 图5B是本发明的容器其盒门处于形成锁固时的示意图; 图6是本发明的容器其盒门的侧表面的示意图; 图7是本发明的容器其盒门经可动扣件往上抬举的示意图; 图8A及图8B是可动扣件其扣勾勾住并抬举盒门前后的示意图; 图9是本发明的容器其盒门置有薄板的示意图;及 图10是本发明的容器其盒门未置有薄板的示意图。 附图中主要组件符号说明 10盒体、11顶面、12侧表面、13内部区域、14开口 、 15枢杆、16可动扣件、161枢孔、 162顶体、163扣勾、S弹簧装置、17凸体、20盒门、21外表面、22内表面、23侧表面、24窗口 、 241小窗口 、242大窗口 、243重迭处、25凹槽、26气密件、30支撑柱、31基座、311顶部平面、 312凸点、313档块突起、40门闩装置、41凸轮、411突出部、42滑动装置、421弧形缺口、422 闩锁臂、423滚轮、100薄板
具体实施例方式
为使本发明所运用的技术内容、发明目的及其达成的功效有更完整且清楚的了 解,于下结合附图作详细说明。 首先,请参阅图2所示,为本发明的一种容置薄板的容器的示意图。此容器主要包 括一盒体10及一盒门20,盒体10具有一顶面ll及四个与顶面ll相邻的侧表面12,上述 顶面ll与四个侧表面12形成一内部区域(未显示于图中)及一开口 14;而盒门20则具 有一外表面21及一内表面22,其中,内表面22是用以封闭盒体10的开口 14,且在内表面 22的四个角落处各设有一支撑柱30,以支撑一薄板100,此薄板100可以是光罩或半导体基 材,而盒门20的外表面21则设有一门闩开孔(未显示于图中),以此由转动此门闩开孔将 盒体10与盒门20形成锁固或解除锁固。 接着,请参阅图3所示,是上述容器其盒体10内部区域13的示意图。由图可知, 在盒体10的内部区域13且接近开口 14的位置设有四个枢杆15(图中仅显示二个枢杆),其中二个枢杆15设置于四个侧表面12的一侧表面12上,而其余二个枢杆15设置于上述 侧表面12其相对的侧表面12上。上述每一个枢杆15各枢接有一可动扣件16,如图4所 示,可动扣件16具有一枢孔161,且在枢孔161的上方延伸有一顶体162,而在枢孔161的 下方外侧则延伸有至少一个扣勾163 ;可动扣件16是以其枢孔161枢设于盒体10的枢杆 15中,并由一弹簧装置S使可动扣件16与侧表面12保持平行。 而如图5A及图5B所示,是上述容器其盒门20处于解除锁固及形成锁固时的示意 图;图5A及图5B是已将盒门20的内表面22移除。如前文所述,本发明的容器其盒门20 具有外表面21及内表面22,其中,在盒门20中(亦就是在盒门20的外表面21与内表面 22之间)设有一门闩装置40,门闩装置40包括一凸轮41及一对滑动装置42,凸轮41具有 一开孔(未显示于图中)可与外表面21上的门闩开孔相通。此外,凸轮41设有一对第一 导引构造,第一导引构造是由凸轮41的中心点向外延伸的突出部411或突出结构;而每一 滑动装置42靠近凸轮41的一端设有第二导引构造,此第二导引构造跟第一导引构造其形 状相吻合,例如将第二导引构造设置成可吻合突出部411的弧形缺口 421,而每一滑动装 置42远离凸轮41的另一端形成二个闩锁臂422,上述闩锁臂422其位置相对于盒体10内 部区域13中的可动扣件16。由于第一导引构造和第二导引构造形状互相吻合,故可由转动 凸轮41使上述第一导引构造及第二导引构造呈一啮合状态或解脱状态。当处在啮合状态 时,凸轮41上的第一导引构造吻合于滑动装置42上的第二导引构造中,此时,滑动装置42 其闩锁臂422包容在盒门20中;而当处在解脱状态时,凸轮41的第一导引构造脱离出滑动 装置42上的第二导引构造,并将滑动装置42其闩锁臂422往外推出,使滑动装置42其闩 锁臂422伸出盒门20并接触可动扣件16。很明显的,门闩装置40的主要功能是将滑动装 置42及其闩锁臂422依一往返方向移动于上述两个位置之间,使滑动装置42伸出盒门20 以便与盒体10形成锁固或将滑动装置42縮回盒门20以便与盒体10解除锁固。而上述门 闩装置40的凸轮41或滑动装置42其材质可以是金属或高分子塑料或其它材质,在此并不 加以限定。且,门闩装置40的构造亦并不限定上述的形式。 其次,如图6所示,在盒门20的内表面22相邻有四个侧表面23,在这四个侧表面 23的中的二个相对的侧表面23各具有二个窗口 24,其中,每一个窗口 24包括上半部的小 窗口 241及下半部的大窗口 242,上半部的小窗口 241容许盒门20内部的滑动装置42其闩 锁臂422伸出,并接触可动扣件16的顶体162,而下半部的大窗口 242则容许可动扣件16 其扣勾163通过,以便于可动扣件16其扣勾163勾住小窗口 241与大窗口 242之间的重迭 处243。如图7所示(此图仅留下盒体10中的枢杆15与可动扣件16及门体20等结构), 滑动装置42其闩锁臂422伸出盒门20之后,先接触或抵压可动扣件16其顶体162,使可动 扣件16以轴孔161为中心旋转,由原本平行于侧表面12变成垂直于侧表面12,而在此同 时,可动扣件16其扣勾163勾住上述小窗口 241与大窗242 口之间的重迭处243,使盒门 20往上抬举一距离。 接着,请参阅图8A及图8B,是可动扣件16其扣勾163勾住并抬举盒门20前后的 示意图。由图可知,盒门20内表面22的四周边缘上具有一凹槽25,凹槽25内具有一气密 件26,而在盒体10其相对于气密件26的位置具有一凸体17 ;因此,当盒门20内部的滑动 装置42其闩锁臂422伸出盒门20并接触顶体162时,可动扣件16其扣勾163将盒门20 往上抬举,造成凸体17与气密件26紧密接触,使盒体10与盒门20形成气密或密封。而上述往上抬举的方向或称密封方向,是与滑动装置42其闩锁臂422的往返方向约呈一垂直角 度。而上述使用的气密件26可以是一种橡胶条或气密圈,其材质可以是橡胶或高分子塑料 或其它材质。又,为了降低闩锁臂422与顶体162之间的接触面积,且避免微粒粉尘的产生, 闩锁臂422其自由端可以包含有一滚轮423且滚轮423表面包覆一种耐磨耗材,例如聚醚 醚酮(polyetheretherketone, PEEK)。 其次,请参阅图9,是本发明的容器其盒门置有薄板的示意图。而图IO是上述盒门 移除薄板而保留复数个支撑柱的示意图。如图所示,四个支撑柱30位于盒门20内表面22 的四个角落处,其中,每一支撑柱30包括一基座31,基座31的底端固定于盒门20的内表面 22上,而其另一端形成一顶部平面311,顶部平面311上设有一凸点312,以利用此凸点312 支撑薄板100 ;而在顶部平面311的边缘处设有至少一个往上延伸的档块突起313,以防止 薄板100滑落出支撑柱30。而在容器容置有薄板100的正常情况下,上述薄板100仅支撑 于凸点312上方,并没有与档块突起313互相接触;此支撑柱30可以跟固定于盒体10内部 区域13的定位件(未显示于图中) 一起使用,使薄板100固定于定位件及支撑柱30之间。 而当本发明的容器承受一冲击时,例如容器从工作平台掉落时,此时档块突起313便可发 挥功用,以抵挡或避免薄板100滑出支撑柱30。 虽然本发明以前述的较佳实施例描述如上,然其并非用以限定本发明,本领域技 术人员在不脱离本发明的精神和范围内,当可作些许的更动与润饰,因此本发明的专利保 护范围须视本发明申请的权利要求范围所界定的内容为准。
权利要求
一种容置薄板的容器,包括一盒体,具有一开口及一内部区域,且于接近该开口处枢接至少一对可动扣件;一盒门,具有一内表面,用以封闭该盒体的该开口;复数个支撑柱,配置于该盒门的该内表面上的四个角落处,用以支撑一薄板;及一门闩装置,配置于该盒门中,当该盒门的该内表面封闭该盒体的该开口时,其可依一往返方向移动于一第一位置与一第二位置之间,在该第一位置中,该门闩装置包容在该盒门中,而在该第二位置中,该门闩装置则伸出该盒门并接触该盒体的该些可动扣件,且由该些可动扣件将该盒门往一密封方向移动,使该盒门与该盒体形成密封。
2. 如权利要求1所述的容器,其中,该盒门的该内表面其四周的边缘设有一气密件,而 该盒体相对于该气密件处设有一凸体,当该些可动扣件将该盒门往该密封方向移动时,该 凸体压縮该气密件,使该盒门与该盒体形成密封。
3. 如权利要求1所述的容器,其中,该可动扣件具有一枢孔,该枢孔设置于该盒体其接 近该开口处的一枢杆中。
4. 如权利要求3所述的容器,其中,该可动扣件的该枢孔往上延伸有一顶体且该枢孔 往下方外侧延伸有至少一个扣勾,该顶体供该门闩装置接触并以该枢孔为轴心旋转带动该 扣勾勾起该盒门,使该盒门往该密封方向移动。
5. —种容置薄板的密封容器,包括一盒体,具有一顶面及四个与该顶面相邻的侧表面,该顶面与该侧表面形成一内部区 域及一开口,其中在该内部区域中于该四个侧表面的相对的二侧表面各枢接有一可动扣 件;一盒门,具有一内表面,用以封闭该盒体的该开口 ;复数个支撑柱,配置于该盒门的该内表面上的四个角落处,用以支撑一薄板; 一气密件,环设于该盒门的该内表面的四周边缘上;及一门闩装置,配置于该盒门中,当该盒门的该内表面封闭该盒体的该开口时,其经由一 凸轮带动一对滑动装置依一往返方向移动于一第一位置与一第二位置之间,在该第一位置 中,该对滑动装置包容在该盒门中,而在该第二位置中,该对滑动装置则伸出该盒门并接触 该盒体的该些可动扣件,且由该些可动扣件将该盒门往一密封方向移动,以利用该气密件 使该盒门与该盒体形成密封。
6. 如权利要求5所述的容器,其中,该往返方向与该密封方向垂直。
7. 如权利要求5所述的容器,其中,该盒体相对于该气密件处设有一凸体,当该些可动 扣件将该盒门往该密封方向移动时,该凸体压縮该气密件,使该盒门与该盒体形成密封。
8. 如权利要求5所述的容器,其中,该盒门的该内表面相邻有四个侧表面,该四个侧表 面的中的二相对侧表面各具有一窗口,以供该对滑动装置伸出该盒门。
9. 如权利要求5所述的容器,其中,在该盒体的该内部区域中该相对的二侧表面各具 有一枢杆,以枢设具有一枢孔的该可动扣件。
10. 如权利要求9所述的容器,其中,该可动扣件的该枢孔往上延伸有一顶体且该枢孔 往下方外侧延伸有至少一个扣勾,该顶体供该滑动装置接触并以该枢孔为轴心旋转带动该 扣勾勾起该盒门,使该盒门往该密封方向移动。
11. 如权利要求5所述的容器,其中,该凸轮设有一对第一导引构造,而该对滑动装置其一端设有一第二导引构造,使得该第一导引构造及该第二导引构造随着该凸轮的转动而 互相啮合或解脱。
12. 如权利要求ll所述的容器,其中,当该第一导引构造及该第二导引构造互相啮合 时,该对滑动装置包容在该盒门中。
13. 如权利要求ll所述的容器,其中,当该第一导引构造及该第二导引构造互相解脱 时,该对滑动装置则伸出该盒门并接触该盒体的该些可动扣件。
14. 如权利要求5所述的容器,其中,该复数个支撑柱的每一支撑柱包括一基座,固定于该盒门的该内表面上,且该基座具有一顶部平面,该顶部平面设有一凸 点,以利用该凸点支撑该薄板;及一档块突起,位于该基座的该顶部平面的边缘,该档块突起可防止该薄板滑落出该支 撑柱。
全文摘要
一种容置薄板的容器,主要包括一盒体,具有一开口及一内部区域,且于接近开口处枢接至少一对可动扣件;一盒门,具有一内表面,用以封闭盒体的开口;复数个支撑柱,配置于盒门的内表面上,用以支撑一薄板;及一门闩装置,配置于盒门中,当盒门的内表面封闭盒体的开口时,其可依一往返方向移动于一第一位置与一第二位置之间,在第一位置中,门闩装置包容在盒门中,而在第二位置中,门闩装置则伸出盒门并接触盒体的可动扣件,且由可动扣件将盒门往一密封方向移动,使盒门与盒体形成密封。
文档编号H01L21/677GK101740436SQ20081017637
公开日2010年6月16日 申请日期2008年11月25日 优先权日2008年11月25日
发明者郑琨壕 申请人:家登精密工业股份有限公司
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1