液状体的排出方法、滤色器的制造方法及有机电致发光装置的制造方法

专利名称：液状体的排出方法、滤色器的制造方法及有机电致发光装置的制造方法
技术领域：
本发明涉及将液状体从喷嘴排出的液状体的排出方法、滤色器的制造方法及有机 EL(电致发光)装置的制造方法。
背景技术：
例如，在液晶显示装置等的滤色器、有机EL装置的成膜等领域，应用排出包含功 能性材料的液状体的液状体排出方法。在该液状体的排出方法中采用液状体排出装置。液 状体排出装置具有被称为液滴排出喷头的液滴排出机构。在该液滴排出喷头中有规则地形 成有多个喷嘴。在滤色器、有机EL装置的制造中，从这些喷嘴向基板等作为液滴而排出包 含功能性材料的液状体，形成包含功能性材料的薄膜。 近年来，显示装置所应用的领域正在扩大，可提供各种尺寸的面板。并且，对显示 装置的高像质化也有要求，为了响应该要求而必须实现高精细、高密度的滤色器、有机EL 装置的成膜。为此，对于各种尺寸的基板，使液状体高精细、高密度地排出变得重要。并且， 由于显示装置的面板的需要在增多、并为了使得面板的生产性提高，也要求从1块大型基 板制造出多块面板。该情况下，为了提高所获得块数的效率、或为了从1块基板生产出不同 尺寸的面板，研究了各种布局设计。根据布局设计的不同而存在如下情况在1块大型基板 上混合存在有具有尺寸不同的像素区域(为排出液状体的最小单位的区域)的面板。
作为从液滴排出喷头向工件(基板)作为液滴排出液状体而进行图形的描绘的液 滴排出装置及液滴排出方法，已知如下液滴排出装置及液滴排出方法使工件在第1方向 及与第1方向基本正交的第2方向上移动，从沿第2方向预先被定位的多个配设于托架的 液滴排出喷头的喷嘴排出液状体而进行图形的描绘(例如，参照专利文献1)。
专利文献1特开2006-187758号公报 前述的液滴排出装置从预先定位的喷嘴将液状体排出于基板的预定的区域。还 有，喷嘴以一定的间距构成为列状，作为被排出液状体的最小单位的区域的像素区域形成 为基本矩形形状。因此，即使为了防止向区域内的产生偏差的位置排出液状体、使喷嘴的排 出不匀分散，也优选从尽量多的喷嘴向像素区域供给液状体。 可是，若在1块基板混合存在尺寸不同的像素区域而构成时，则能够向区域内排出 液状体的喷嘴因像素区域而受限制，有可能向区域内的产生偏差的位置排出液状体而在区域 内产生液状体的排出量的偏差。若产生液状体的排出量的偏差，则有可能使得形成于区域的 薄膜的厚度产生不均匀。在液晶显示装置等的滤色器、有机EL装置的功能膜等的薄膜中，若 产生膜厚的不均匀，则所制造的显示装置的图像质量下降。即，若在1块大型基板上混合存在 具有尺寸不同的像素区领域的面板，则存在难以高效生产质量稳定的面板的问题。

发明内容
本发明用于解决上述的问题的至少一部分所作出，可以作为以下的方式或应用例而实现。(应用例1)液状体的排出方法的特征为包括排出工序，该工序中一边使将作为 液滴而排出液状体的多个喷嘴配设为列状的喷嘴列与具备多个被排出区域的基板在与前 述喷嘴列的配置方向基本正交的主扫描方向相对移动，一边从前述喷嘴向前述被排出区域 排出前述液状体；前述被排出区域包括第1被排出区域及第2被排出区域；前述第1被排 出区域的面积与前述第2被排出区域的面积不同；在前述排出工序中设定为，前述液状体 对于前述第1被排出区域的排出条件与前述液状体对于前述第2被排出区域的排出条件不 同。 如果依照于该方法，则能够使从喷嘴向第1被排出区域供给液状体的排出条件与 向第2被排出区域供给液状体的排出条件分别不同进行设定。因此，能够对于第1被排出 区域及第2被排出区域，选择符合各自的要求规格或特征的最佳的排出条件。其结果，即使 在1块基板混合存在不同的规格或条件的被排出区域，也能够向每个被排出区域以适当的 排出条件供给液状体，能够减少液状体的排出量的偏差等的不良状况。从而，能够制造质量 稳定的至少2种类型的薄膜而利于生产性的提高。 并且，面积小的被排出区域限制能够向区域内排出液状体的喷嘴个数。如果依照 于该方法，则能够使向第1被排出区域供给液状体的排出条件与向第2被排出区域供给液 状体的排出条件分别不同进行设定。因此，即使对于面积小的被排出区域也能够通过使排 出条件不同而稳定地供给预定的液状体。其结果，能够减少液状体的排出量的偏差等的不 良状况，能够制造质量稳定的至少2种类型的薄膜。从而，有利于生产性的提高。
(应用例2)上述液状体的排出方法的特征为设定为，前述液滴从前述喷嘴排出 到前述第1被排出区域内的滴入密度与前述液滴从前述喷嘴排出到前述第2被排出区域内 的滴入密度不同。 如果依照于该方法，则能够按第1或第2被排出区域的每个调整作为排出条件之 一的液滴的滴入密度。因此，即使对于能够向区域内排出液状体的喷嘴数少的被排出区域， 通过增加滴入密度，也能够稳定地供给预定的液状体。其结果，能够减少液状体的排出的偏 差等的不良状况，能够制造质量稳定的至少2种类型的薄膜。从而，有利于生产性的提高。
(应用例3)上述液状体的排出方法的特征为在前述排出工序中设定为，对前述 第1被排出区域排出前述液状体时的前述基板与前述喷嘴列的向前述主扫描方向的相对 移动速度，与对前述第2被排出区域排出前述液状体时的前述基板与前述喷嘴列的向前述 主扫描方向的相对移动速度不同。 如果依照于该方法，则能够按第1或第2被排出区域的每个调整基板与喷嘴列的 向主扫描方向的相对移动速度。因此，能够改变对于被排出区域的主扫描方向的液滴的喷 中间隔。即，能够按第l或第2被排出区域的每个改变作为排出条件之一的液滴在主扫描 方向的滴入密度。(应用例4)上述的液状体的排出方法的特征为在前述排出工序中设定为，从前 述喷嘴向前述第1被排出区域排出前述液状体时的排出周期与从前述喷嘴向前述第2被排 出区域排出前述液状体时的排出周期不同。 如果依照于该方法，则能够按第1或第2被排出区域的每个调整从喷嘴排出液状 体的周期。因此，能够改变主扫描方向的液滴对于被排出区域的喷中间隔。即，能够按第l或第2被排出区域的每个改变作为排出条件之一的液滴在主扫描方向的滴入密度。
(应用例5)上述的液状体的排出方法的特征为在前述排出工序中设定为，从前 述喷嘴向前述第1被排出区域排出前述液状体时的排出量与从前述喷嘴向前述第2被排出 区域排出前述液状体时的排出量不同。 如果依照于该方法，则能够按第1或第2被排出区域每个调整作为排出条件之一 的来自喷嘴的液状体的排出量。因此，即使对于能够向区域内排出液状体的喷嘴数少的被 排出区域，通过增加来自喷嘴的排出量，也能够稳定地供给预定的液状体。其结果，能够减 少液状体的排出的不均匀等的不良状况，能够制造质量稳定的至少2种类型的薄膜。从而， 有利于生产性的提高。(应用例6)上述的液状体的排出方法的特征为前述排出工序包括喷嘴列移动工 序，所述喷嘴列移动工序中，在前述喷嘴列与前述基板在前述主扫描方向的多次相对移动 之间，使前述喷嘴列与前述基板在与前述主扫描方向基本正交的副扫描方向相对移动；设 定为，对前述第1被排出区域排出前述液状体时的向前述主扫描方向的相对移动次数及前 述副扫描方向的移动量之中的至少一方，与对前述第2被排出区域排出前述液状体时的向 前述主扫描方向的相对移动次数及前述副扫描方向的移动量之中的至少一方不同。
如果依照于该方法，则在向主扫描方向的排出工作之间，能够按第1或第2被排出 区域的每个调整使喷嘴列与基板向副扫描方向相对移动的量(距离)。而且，能够按第l或 第2被排出区域的每个使向主扫描方向的排出工作仅执行预定的次数。即，能够对副扫描 方向的液滴的喷中间隔按被排出区域的每个进行调整。因此，能够按第l或第2被排出区 域的每个改变作为排出条件之一的液滴的副扫描方向的滴入密度。(应用例7)上述的液状体的排出方法的特征为前述第1被排出区域与前述第2 被排出区域形成为基本矩形形状；前述基板上的前述第1被排出区域的长边方向配置为， 与前述第2被排出区域的长边方向基本平行。(应用例8)上述的液状体的排出方法的特征为前述第1被排出区域与前述第2 被排出区域形成为基本矩形形状；前述基板上的前述第1被排出区域的长边方向配置为， 与前述第2被排出区域的长边方向基本正交。 在由1块基板生产不同的尺寸的面板的情况下，根据布局设计存在以下情况在1 块大型基板中混合存在尺寸及配置不同的被排出区域。在基板上配置于互相基本正交的方 向的第1被排出区域及第2被排出区域的某一方的被排出区域，其长边方向沿喷嘴列的方 向，另一方的被排出区域其短边方向沿喷嘴列的方向。因此，配置为短边方向沿喷嘴列的方 向的被排出区域限制了能够向区域内排出液状体的喷嘴个数。 如果依照于该方法，则能够使向第1被排出区域供给液状体的排出条件与向第2 被排出区域供给液状体的排出条件分别不同进行设定。因此，即使对于配置为短边方向沿 喷嘴列的方向的被排出区域也能够通过使排出条件不同而稳定地供给预定的液状体。其结 果，能够减少液状体的排出量的偏差等的不良状况，能够制造质量稳定的至少2种类型的 薄膜。从而，有利于生产性的提高。(应用例9)作为在基板上的多个被排出区域形成多色的着色层的滤色器的制造 方法，特征为前述多个被排出区域包括第1被排出区域与第2被排出区域；包括排出工序 和成膜工序，其中排出工序采用上述液状体的排出方法，将包含着色层形成材料的多色液状体排出到前述多个被排出区域；成膜工序中使所排出的前述液状体固化而形成前述多色 的着色层。 如果依照于该方法，则能够使排出到规格或条件不同的第1被排出区域及第2被 排出区域的液状体的偏差等的不良状况减少，能够以高质量且高的生产性制造着色层的排 列方向不同的至少2种类型的滤色器。(应用例10)作为具备多个有机EL元件的有机EL装置的制造方法，所述有机EL 元件在基板上的多个被排出区域具有包括发光层的功能层；该方法的特征为前述多个被 排出区域包括第1被排出区域与第2被排出区域；包括排出工序和成膜工序，其中排出工 序采用上述液状体的排出方法，将包含发光层形成材料的液状体排出到前述多个被排出区 域；成膜工序中使所排出的前述液状体固化而形成前述发光层。 如果依照于该方法，则能够使形成于规格或条件不同的第1被排出区域及第2被 排出区域的发光层的厚度的不均匀得到抑制，能够以高质量且高的生产性制造有机EL元 件的排列方向不同的至少2种类型的有机EL装置。


图1是表示液状体排出装置的构成的概要立体图。 图2是表示液滴排出喷头的结构的概要图。 图3是表示喷头单元中的液滴排出喷头的配置的概要俯视图。 图4是表示液状体排出装置的控制系统的框图。 图5是对液滴排出喷头的控制进行说明的图。 图6是表示滤色器的概要图。 图7是表示滤色器的制造方法的流程图。 图8是表示滤色器的制造方法的概要剖面图。 图9是表示第1实施例中的喷头单元与母基板的相对配置的概要俯视图。 图10是表示第1实施例中的液滴的配置的概要俯视图。 图11是表示第3实施例中的液滴的配置的概要俯视图。 图12是表示第4实施例中的喷头单元与母基板的相对配置的概要俯视图。 图13是表示第4实施例中的液滴的配置的概要俯视图。 图14是表示第5实施例中的喷头单元与母基板的相对配置的概要俯视图。 图15是表示有机EL装置的要部结构的概要剖面图。 图16是表示有机EL装置的制造方法的流程图。 图17是表示有机EL装置的制造方法的概要剖面图。 符号的说明 4...控制部，9...喷头单元，9a...喷头板(head plate) ， 10...液状体排出装置， 20...基板移动机构，30...喷头移动机构，50...液滴排出喷头，52、52i...喷嘴，52a...喷 嘴列，70...排出检查机构，IOO...滤色器，103...着色层，103r、103g、103b...作为第1 被排出区域的膜形成区域，103r'、103g'、103b'...作为第2被排出区域的膜形成区域， 600...有机EL装置，603...作为有机EL元件的发光元件部，617R、617G、617B...发光层， 617a...空穴注入/输送层，B...母基板(基板 D、 Dl、 D2...液滴，El...第1面板，E2...第2面板，P...喷嘴间距。
具体实施例方式
以在基板上被划分的多个像素区域具有多色的着色层的滤色器的制造为例对本 发明进行说明。着色层为像素构成要件，从多个喷嘴朝向像素区域作为液滴而排出包含着 色层形成材料的液状体所形成。作为液滴排出该液状体时，采用以下进行说明的液状体排
出装置。(关于液状体排出装置的构成) 首先，关于具备排出液状体的液滴排出喷头的液状体排出装置参照图l进行说 明。图l是表示液状体排出装置的构成的概要立体图。 如示于图1地，液状体排出装置10具备使具有被排出区域(膜形成区域)的基板 B沿主扫描方向移动的基板移动机构20、和使具有多个液滴排出喷头的喷头单元9沿副扫 描方向移动的喷头移动机构30。该液状体排出装置10 —面使基板B与喷头单元9的相对 位置变化， 一面从装载于喷头单元9的多个液滴排出喷头作为液滴而排出液状体，在基板B 以液状体形成预定的功能膜。还有，附图的X方向表示基板B的移动方向即主扫描方向，Y 方向表示喷头单元9的移动方向即副扫描方向，Z方向表示正交于X方向与Y方向的方向。
在采用如此的液状体排出装置10而制造例如具有红、绿及蓝3色的滤色元件的滤 色器的情况下，从液状体排出装置10的各自的液滴排出喷头，将红、绿及蓝3色的液状体的 某一种作为液滴排出到基板B的膜形成区域，形成红、绿及蓝3色的滤色元件。
在此，关于液状体排出装置10的各构成进行说明。 基板移动机构20具备一对导轨21、沿一对导轨21进行移动的移动台22、能吸附 固定基板B地将其载置于移动台22上的载置台5。移动台22通过设置于导轨21的内部的 未图示的空气滑动器与线性电动机而沿X方向(主扫描方向)移动。 喷头移动机构30具备一对导轨31、和沿一对导轨31进行移动的第1移动台32。 在第1移动台32设置滑架8，在滑架8安装有装载有多个液滴排出喷头50 (参照图2)的喷 头单元9。而且，第1移动台32能够使滑架8沿Y方向(副扫描方向)移动。滑架8能够 使喷头单元9相对于基板B在Z方向隔开预定的间隔而对向配置。 液状体排出装置10除了上述构成之外，还具备排出检查机构70，排出检查机构70 具备接收按液滴排出喷头50或喷嘴的每个所排出的液状体、对该排出重量进行计测的电 子天平等的计测器。并且，液状体排出装置10设置有进行装载于喷头单元9的多个液滴 排出喷头50的喷嘴的堵塞的消除等的维护的维护机构60(参照图4)、用于向液滴排出喷 头50供给液状体的液状体供给机构。这些各机构通过控制部4(参照图4)所控制。在图 1中，控制部4、液状体供给机构及维护机构60省略了图示。
(关于液滴排出喷头) 在此关于具有多个喷嘴的液滴排出喷头参照图2及图3进行说明。图2是表示液 滴排出喷头的结构的概要图。(a)为概要分解立体图，(b)为表示喷嘴部的结构的剖面图。 图3是表示喷头单元中的液滴排出喷头的配置的概更俯视图。详情为从对向于基板B侧看 到的图。还有，示于图3的X方向、Y方向表示与示于图1的X方向、Y方向相同的方向。
如示于图2(a)及(b)地，液滴排出喷头50为按顺序叠层接合有具有排出液滴D的多个喷嘴52的喷嘴板51、具有对多个喷嘴52分别连通的空腔55进行划分的分隔壁54 的空腔板53、和具有作为对应于各空腔55的驱动元件的振子59的振动板58的结构。
空腔板53具有对连通于喷嘴52的空腔55进行划分的分隔壁54、和用于使液状体 填充于空腔55的流路56、57。流路57通过喷嘴板51与振动板58所夹着，形成的空间起贮 留液状体的贮存器的作用。液状体从液状体供给机构通过管道供给，在通过设置于振动板 58的供给孔58a而贮留于贮存器之后，通过流路56填充于各空腔55。
如示于图2(b)地，振子59为由压电元件59c和夹着压电元件59c的一对电极59a、 59b构成的压电元件。通过从外部向一对电极59a、59b施加作为驱动信号的驱动波形而使 所接合的振动板58发生变形。由此以分隔壁54所划分的空腔55的体积增加，液状体从贮 存器被吸引到空腔55。然后，若驱动波形的施加结束，则振动板58复原而对所填充的液状 体进行加压。由此，成为能够从喷嘴52作为液滴D而排出液状体的结构。通过控制向压电 元件59c所施加的驱动波形，能够对于各喷嘴52进行液状体的排出控制。
如示于图3地，上述的液滴排出喷头50配置于喷头单元9的喷头板9a。在喷头板 9a装载有由3个液滴排出喷头50构成的喷头组50A、和同样由3个液滴排出喷头50构成 的喷头组50B的共计6个液滴排出喷头50。该情况下，喷头组50A的液滴排出喷头50 (喷 头R1)与喷头组50B的液滴排出喷头50(喷头R2)排出同种的液状体。在其他的喷头Gl 与喷头G2、喷头B1与喷头B2中也相同。即，成为可以排出3种不同的液状体的构成。
各液滴排出喷头50具有由以一定的喷嘴间距P所配设的多个(180个)喷嘴52 构成的喷嘴列52a。因此，各个液滴排出喷头50中的每个具有长度L的排出宽度。喷头Rl 与喷头R2并排于主扫描方向配设为，从主扫描方向(X方向)看相邻的喷嘴列52a在与主 扫描方向正交的副扫描方向(Y方向)隔开1个喷嘴间距P而连续。因此，喷头R1与喷头 R2具有长度2L的排出宽度。 在本实施例中，虽然关于喷嘴列52a为1列的情况进行说明，但是并不限定于此。 液滴排出喷头50也可以在附图中X方向隔开一定的间隔、在Y方向偏离1/2间距(P/2)而 排列多个喷嘴列52a。由此，使得实质性的喷嘴间距P变窄，能够高精细地排出液滴D。
(关于液状体排出装置的控制系统) 接下来关于液状体排出装置10的控制系统参照图4进行说明。图4是表示液状 体排出装置的控制系统的框图。 如示于图4地，液状体排出装置10的控制系统具备驱动部46、和控制部4，其中驱
动部46具有对液滴排出喷头50、基板移动机构20、喷头移动机构30等进行驱动的各种驱
动器，控制部4对驱动部46和液状体排出装置10进行控制。驱动部46具备对基板移动机
构20及喷头移动机构30的各线性电动机分别进行驱动控制的移动用驱动器47、对液滴排
出喷头50进行排出控制的喷头驱动器48、对维护机构60的各维护用单元进行驱动控制的
维护用驱动器49，和对排出检查机构70进行控制的排出量计测用驱动器68。控制部4具备CPU41、 R0M42、 RAM43、和P-C0N44，它们互相通过总线45连接。在
P-C0N44连接上一级计算机11。 R0M42具有存储以CPU41进行处理的控制程序等的控制程
序区、和存储用于进行描绘工作、功能恢复处理等的控制数据等的控制数据区。 RAM43具有存储在基板B描绘图形的图形数据的图形数据存储部等的各种存储
部，并用作用于控制处理的各种工作区。在P-C0N44连接驱动部46的各种驱动器等，补充CPU41的功能，并构成用于处理与周边电路的接口信号的逻辑电路而组装。因此，P-C0N44 将来自上一级计算机11的各种指令等原封不动或者进行加工而取入到总线45，并与CPU41 联动，将从CPU41等输出于总线45的数据、控制信号原封不动或者进行加工而输出于驱动 部46。 而且，CPU41按照R0M42内的控制程序通过P-C0N44而输入各种检测信号、各种指 令、各种数据等，并在对RAM43内的各种数据等进行了处理之后，通过P-C0N44而向驱动部 46等输出各种控制信号，由此对液状体排出装置10整体进行控制。例如，CPU41对液滴排 出喷头50、基板移动机构20及喷头移动机构30进行控制，使喷头单元9与基板B对向配 置。而且，使喷头单元9与基板B相对移动，同步于该相对移动，从装载于喷头单元9的各 液滴排出喷头50的预定个数的喷嘴52向基板B作为液滴D排出液状体而形成图形。
该情况下，将同步于基板B向X方向的移动而排出液状体这种方式称为主扫描，将 在Y方向上使喷头单元9移动这种方式称为副扫描。本实施例的液状体排出装置10通过 使主扫描与副扫描组合而多次重复能够排出液状体。此时，通过对基板移动机构20进行控 制，能够对基板B对于液滴排出喷头50的向主扫描方向的移动速度及基板B的往返次数等 进行设定。并且，通过对喷头移动机构30进行控制，能够对液滴排出喷头50对于基板B的 向副扫描方向的移动量(距离)进行控制。 上一级计算机11不仅将控制程序、控制数据等的控制信息发送给液状体排出装 置IO，而且还能够对这些控制信息进行修正。并且，具有作为配置信息生成部的如下功能 基于喷嘴52的位置信息等，按基板B上的排出区域生成作为液滴D而配置需要量的液状体 的配置信息。配置信息将使之排出的喷嘴52与使之待机的喷嘴52的分类及排出区域中的 液滴D的排出位置(如果换言之，则为基板B与喷嘴52的相对位置)、液滴D的配置数目 (如果换言之，则为每个喷嘴的排出数目、排出比例)、主扫描中的多个喷嘴52的开/闭、排 出定时等的信息例如表现为位图。
(关于液滴排出喷头的驱动控制) 接下来，关于液滴排出喷头的驱动控制参照图5进行说明。图5是对液滴排出喷 头的控制进行说明的图，同图(a)是表示液滴排出喷头的电控制的框图，同图(b)为驱动信 号及控制信号的定时图。 如示于图5(a)地，喷头驱动器48具备生成对液滴排出喷头50进行控制的驱动 信号COM的D/A变换器(以下，称为DAC)71，在内部具有DAC71所生成的驱动信号C0M(C0M 线)的通过速率数据(以下，称为波形数据WD)的存放存储器的波形数据选择电路72、和用 于存储通过P-C0N44从上一级计算机11所发送的排出控制数据的数据存储器73。在COM 线分别输出以DAC71所生成的驱动信号C0M。 在各液滴排出喷头50具备使驱动信号COM向设置于每个喷嘴52的振子59的施 加变得导通/截止的开关电路74。在喷嘴52中，振子59的一方电极59b连接于DAC71的 接地线(GND)。并且，振子59的另一方电极59a(以下，称为分段电极59a)通过开关电路 74电连接于C0M线。并且，在开关电路74、波形数据选择电路72输入时钟信号(CLK)、对应 于各排出定时的锁存信号(LAT)。 在数据存储器73存储按液滴排出喷头50的驱动定时对驱动信号COM向各振子 59的施加(导通/截止)进行规定的排出数据DA、和对输入于DAC71的波形数据WD的种类进行规定的波形编号数据WN。 在上述的构成中，如下地进行各排出定时中的驱动控制。如示于图5(b)地，在定 时tl t2的期间中，排出数据DA、波形编号数据WN分别被串行信号化而发送给开关电路 74、波形数据选择电路72。然后，通过在定时t2中锁存各数据，与排出(导通)相关的各振 子59的分段电极59a变成连接于COM线的状态。与DAC71的生成相关的驱动信号的波形 数据WD被设定。 在定时t3 t4的期间中，按照以定时t2所设定的波形数据WD，以电位上升、电 位保持、电位下降的一系列步骤分别生成驱动信号C0M。然后，向处于与COM线连接的状态 下的振子59供给所生成的驱动信号COM，进行连通于喷嘴52的空腔55的容积(压力)控 制。在此，定时t3的作为上升分量的电位Vh使空腔55膨胀，起到将液状体引到空腔55内 的作用。并且，定时t5的作为下降分量的电位Vh使空腔55收縮，起到将液状体挤出喷嘴 52外而排出的作用。 此时，通过使所生成的驱动信号COM发生变化，能够对液状体的排出量及排出速 度等的排出条件进行控制。即，能够通过增减电位Vh而使来自喷嘴52的所排出的液状体 的排出量增减；通过使定时t5的作为下降分量的电位Vh的斜率发生变化，能够使液状体的 排出速度变化。并且，通过使从定时tl到下一定时tl'的周期T的时间发生变化，能够使 从喷嘴52排出液状体的间隔(周期T)变化。
(液状体的排出方法及滤色器的制造方法) 接下来，关于应用了本实施方式的液状体的排出方法的滤色器的制造方法，参照 图6 图8进行说明。图6是表示滤色器的概要图，同图(a)是表示滤色器的概要俯视图， 同图(b)是同图(a)的C-C'剖面图。图7是表示滤色器的制造方法的流程图，图8(a) (d)是表示滤色器的制造方法的概要剖面图。 如示于图6(a)及(b)地，滤色器100在透明的玻璃等的基板101上具有红(R)、 绿(G)、蓝(B)3色的作为滤色元件的着色层103。要形成着色层103的矩形形状的作为被 排出区域的膜形成区域103r、103g、103b通过分隔壁部104划分为矩阵状。本实施方式的 滤色器100是同色的着色层103线性地进行排列的所谓条带方式的滤色器。
如示于图6(b)地，分隔壁部104成为由第1分隔壁部104a与第2分隔壁部104b 构成的2层结构。第l分隔壁部104a例如包括Cr、Al等的金属薄膜而具有遮光性。第2 分隔壁部104b例如由树脂材料形成。还有，并不限定于二层结构，也可以为通过包含具有 遮光性的构件的树脂材料而形成分隔壁部104的一层结构。 着色层103由包含着色材料的透光性树脂材料形成。在本实施方式中，利用上述 的液状体排出装置10制造如此的滤色器100。 如示于图7地，本实施方式的滤色器100的制造方法基本上包括形成分隔壁部 104的分隔壁部形成工序(步骤Sl)、对形成有分隔壁部104的基板101的表面进行表面处 理的表面处理工序(步骤S2)、排出包含着色层形成材料的液状体的液状体排出工序(步骤 S3)、和使所排出的液状体干燥而形成着色层103的干燥工序(步骤S4)。
在图7的步骤S1中，首先，使Cr、 Al等的金属薄膜成膜于基板101的表面。作为 成膜方法可举出真空蒸镀法、溅射法等。膜厚例如为O. liim程度以可得到遮光性。通过光 刻法使其图形化而形成开口了的示于图8(a)的第l分隔壁部104a。接下来，覆盖第l分隔壁部104a而将感光性树脂涂敷为厚度2 m程度，同样通过光刻法图形化，在第1分隔壁部 104a上形成第2分隔壁部104b。由此形成如示于图8(a)地开口于基板101上的矩形形状 的膜形成区域103r、103g、103b。然后，进入步骤S2。 在图7的步骤S2中，在之后的液状体的排出工序中，为了使得所排出的液状体喷 中膜形成区域103r、103g、103b而浸洇，对基板101的表面进行亲液处理。并且，为了所排 出的液状体的一部分即使喷中第2分隔壁部104b也处在膜形成区域103r、103g、103b内， 对第2分隔壁部104b的至少上表面部进行防液处理。 作为表面处理方法，对于形成有分隔壁部104的基板IOI，进行以02为处理气体的 等离子处理与以氟类气体为处理气体的等离子处理。即，对膜形成区域103r、 103g、 103b进 行亲液处理之后，对包含感光性树脂的第2分隔壁部104b的上表面进行防液处理。还有， 如果形成第2分隔壁部104b的材料本身具有防液性则也能够省去后者的处理。然后，进入 步骤S3。 在图7的步骤S3中，在示于图1的液状体排出装置10的载置台5载置表面处理 过的基板101。然后，从示于图3的喷头单元9的液滴排出喷头50分别排出包含不同的着 色层形成材料的3色的液状体。详情如示于图8(b)及(c)地，同步于基板101与液滴排出 喷头50的向主扫描方向的相对移动，从液滴排出喷头50的喷嘴52将3色的液状体的各自 作为液滴D而排出到预期的膜形成区域103r、103g、103b。排出到膜形成区域103r、103g、 103b的液状体的排出量，基于喷嘴52的按膜形成区域103r、103g、103b预先选择的选择图 形与按主扫描设定液滴D的排出数目等的排出数据，从控制部4的CPU41向喷头驱动器48 发送适当的控制信号所控制。由此，按膜形成区域103r、103g、103b每个排出预定量的液状 体。还有，关于液状体的排出方法的详情后述。然后，进入步骤S4。 在图7的步骤S4中，如示于图8 (d)地，使溶剂成分从排出到基板101的液状体蒸 发，形成由着色层形成材料形成的着色层103。在本实施方式中，将基板101置于可以使溶 剂的蒸汽压为一定进行干燥的减压干燥装置而进行减压干燥，形成R、 G、 B的3色的着色层 103。还有，也可以使排出l色的液状体而进行干燥的工序重复3次。在步骤S3的液状体 的排出工序中，着色层103的膜厚按每色进行设定即可，不必3色相同。基于所需要的膜厚 的设定，将需要量的液状体排出于相对应的膜形成区域103r、103g、103b即可。
形成滤色器100的基板101的大小与采用其的显示装置的大小相关。并且，在虽为 相同的大小的显示装置但高密度地配置像素的情况下，相对应的滤色器100的着色层103 的配置也要求高密度的配置。作为更有效地生产滤色器100的生产方法，一般采用在面积 比基板101大的母基板B进行分割成多个的方法。但是，由母基板B的大小决定面积上有 效率的滤色器100的尺寸。若对面积上并非有效率的尺寸的滤色器100将其分割为多个， 则产生空余空间。因而，可以考虑在该空余空间拼版形成不同尺寸的滤色器IOO而不浪费 地利用母基板B。 在将不同尺寸的滤色器100拼版形成于母基板B上的情况下，有时不同尺寸的膜 形成区域103r、 103g、 103b混合存在于1块母基板B。如前述地膜形成区域103r、 103g、 103b 中的液滴的配置通过副扫描方向的喷嘴52的配置间隔(喷嘴间距P)与主扫描中的排出定 时所确定。从而，当矩形形状的膜形成区域103r、103g、103b的尺寸在母基板B上不相同时， 尤其是小尺寸的膜形成区域103r、103g、103b限制相对向的喷嘴52的个数。
采用了本实施方式的液状体的排出方法的滤色器100的制造方法基于母基板B中 的膜形成区域103r、103g、103b的尺寸，提供合适的液状体的排出方法。详情参照实施例进 行说明。(第1实施例) 在此参照图9及图10对第1实施例的滤色器的制造方法进行说明。图9是表示 液状体的排出工序中的喷头单元与母基板的相对配置的概要俯视图，图10(a)及(b)是表 示液状体的排出工序中的液滴的配置的概要俯视图。还有，示于图9及图10的X方向、Y方 向表示与示于图1的X方向、Y方向相同的方向。 如示于图9地，第1实施例中的母基板B具有第1面板E1与第2面板E2，其中第 1面板E1沿母基板B的附图上部的长边与短边矩阵状地拼版形成多个(4个)，第2面板E2 沿母基板B的附图下部的长边拼版形成多个(5个)。在此第2面板E2的面积比第1面板 El的面积小。还有，以下将母基板B的拼版形成4个第1面板El的区域称为区域F，并将 拼版形成5个第2面板E2的区域称为区域H。 在第l面板El，作为第l被排出区域的矩形形状的膜形成区域103r、103g、103b多 个排列为矩阵状。同样地，在第2面板E2，作为第2被排出区域的矩形形状的膜形成区域 103r' 、 103g' 、 103b'多个排列为矩阵状。在此，膜形成区域103r' 、 103g' 、 103b'的面积比膜 形成区域103r、103g、103b的面积小。膜形成区域103r、 103g、 103b与膜形成区域103r'、 103g'、103b'配置为，被排出同种(同色)的液状体的条带方向相同。而且，对各自排出预 定量的预期的液状体而形成着色层103。 在本实施例中，母基板B载置于示于图1的液状体排出装置10的载置台5。在本 实施例中，以使得相对于沿Y方向配置的多个喷头单元9、母基板B的长边变得基本平行的 方式，将母基板B置于载置台5上。而且，在使载置台5移动于X方向的期间，从搭载于喷 头单元9的液滴排出喷头50朝向母基板B排出液状体。 该情况下，例如，膜形成区域103r、103g、103b及膜形成区域103r'、 103g'、 103b'
的短边方向一致于Y方向。并且，排列于液滴排出喷头50的喷嘴列52a配置得一致于Y方 向。其结果，如示于图10(a)、(b)地，由多个喷嘴52构成的喷嘴列52a配置为，沿矩形形状 的膜形成区域103r、103g、103b及膜形成区域103r'、 103g'、 103b'的短边方向。
如示于图10(a)地，在Y方向上，例如在被排出红色液状体的膜形成区域103r，3 个喷嘴52分别对其排出液滴Dl。由此3滴液滴Dl分别喷中膜形成区域103r。喷中的液 滴Dl在膜形成区域103r内浸洇。并且，在X方向上，通过对排出定时进行控制而能够以一 定的排出间隔m使液滴Dl喷中膜形成区域103r的预定的位置。Y方向上的喷中位置，根据 膜形成区域103r的Y方向上的配置间距与喷嘴间距P的关系，不一定按膜形成区域103r 的每个都相同。还有，对于第1面板E1中的其他膜形成区域103g、103b也同样地作为液滴 Dl每次排出3滴预期的液状体。 如示于图10(b)地，在上述主扫描中，例如针对相对于膜形成区域103r面积小的 膜形成区域103r，配置l个喷嘴52。然后，从各喷嘴52向X方向排出多滴液滴D1。由此 按膜形成区域103r'的每个喷中1滴液滴D1。在X方向上，通过对排出定时进行控制而能 够以比膜形成区域103r的排出间隔m小的排出间隔n(m〉 n)使液滴Dl喷中膜形成区域 103r'的预定的位置。Y方向上的喷中位置，根据膜形成区域103r'的Y方向上的配置间距与喷嘴间距P的关系不一定要相同。还有，对于第2面板E2中的其他膜形成区域103g'、 103b'作为液滴D1也同样地每次1滴地排出预期的液状体。 还有，排出间隔m与排出间隔n，能够通过使示于图1的搭载有具有喷嘴列52a的 液滴排出喷头50的喷头单元9与载置有母基板B的载置台5的X方向的相对移动速度利 用示于图4的基板移动机构20而不相同，能分别设定为不同的值。即，能够将母基板B的 区域H中的喷嘴列52a与母基板B的向X方向的相对移动速度，设定得比母基板B的区域 F中的喷嘴列52a与母基板B的向X方向的相对移动速度慢。由此，能够将区域H、即膜形 成区域103r'中的X方向的排出间隔n，设定得比区域F、即膜形成区域103r中的X方向的 排出间隔m窄。若换言之，则能够将面积小的膜形成区域103r'中的X方向的液滴的滴入 密度，设定得比面积大的膜形成区域103r中的X方向的液滴的滴入密度高。
如果依照于该方法，则对于面积小而限制能够对区域内排出液状体的喷嘴52的 膜形成区域103r' 、103g' 、103b'，能够使X方向的液滴的喷中间隔变窄，能够供给更多的液 滴D1。即，能够稳定地供给预定量的液状体。由此，在膜形成区域103r'、103g'、103b'中， 能够降低液状体的喷中位置的偏离，能够制造质量稳定的至少2种类型的薄膜。其结果，能 够有利于滤色器的生产性的提高。
(第2实施例) 在此，关于第2实施例的滤色器的制造方法，同样参照图9及图IO进行说明。还 有，第2实施例相对于第1实施例，膜形成区域103r的排出间隔m及膜形成区域103r'的 排出间隔n的调整方法不相同。并且，关于与第1实施例同样的构成及内容，使符号相同而 对说明进行省略。 在第2实施例中，将排出间隔m与排出间隔n，通过使由示于图5 (a)的喷头驱动 器48所生成的示于图5(b)的驱动信号COM的波形不同而设定为分别不同的值。详情为， 通过使驱动信号COM的周期T变化而使从喷嘴52排出液状体的排出定时不同。即，将示于 图9的母基板B的区域H中的驱动信号COM的周期T设定为比母基板B的区域F的驱动信 号COM的周期T短的时间。由此，能够将区域H、即膜形成区域103r'中的X方向的排出间 隔n，设定得比区域F、即膜形成区域103r中的X方向的排出间隔m窄。若换言之，则能够 将面积小的膜形成区域103r'中的X方向的液滴的滴入密度，设定得比面积大的膜形成区 域103r中的X方向的液滴的滴入密度高。 如果依照于该方法，则对于面积小而限制能够对区域内排出液状体的喷嘴52的 膜形成区域103r' 、103g' 、103b'，能够使X方向的液滴的喷中间隔变窄，能够供给更多的液 滴D1。即，能够稳定地供给预定量的液状体。由此，在膜形成区域103r'、103g'、103b'中， 能够降低液状体的喷中位置的偏离，能够制造质量稳定的至少2种类型的薄膜。其结果，能 够有利于滤色器的生产性的提高。
(第3实施例) 在此，关于第3实施例的滤色器的制造方法，参照图9及图11进行说明。图11 (a) 及(b)是表示第3实施例的液状体的排出工序中的液滴的配置的概要俯视图。还有，关于 与第1实施例同样的构成及内容，使符号相同而对说明进行省略。 在第3实施例中，在示于图1的液状体排出装置10的载置台5，与第1实施例及第 2实施例同样地载置示于图9的母基板B。然后，在使载置台5移动于X方向的期间，从搭载于喷头单元9的液滴排出喷头50朝向母基板B排出液状体。 该情况下，膜形成区域103r、 103g、 103b及膜形成区域103r' 、 103g' 、 103b'的短边 方向也一致于Y方向。并且，排列于液滴排出喷头50的喷嘴列52a配置为一致于Y方向。 其结果，如示于图11 (a)地，由多个喷嘴52构成的喷嘴列52a配置为，沿矩形形状的膜形成 区域103r、103g、103b及膜形成区域103r'、 103g'、 103b'的短边方向。
如示于图11(a)地，在Y方向上，例如对于被排出红色液状体的膜形成区域103r， 配置3个喷嘴52，从各喷嘴排出液滴D1。由此，在膜形成区域103r分别喷中3滴液滴D1。 喷中的液滴Dl在膜形成区域103r内浸洇。并且，在X方向上，通过对排出定时进行控制能 够以一定的排出间隔m使液滴Dl喷中膜形成区域103r的预定的位置。还有，对于第1面 板E1中的其他膜形成区域103g、103b也同样地作为液滴D1每次排出3滴预期的液状体。
如示于图ll(b)地，在上述主扫描中，例如，针对相对于膜形成区域103r面积小的 膜形成区域103r'，配置1个喷嘴52。然后，伴随于X方向的相对移动，从喷嘴52排出多滴 液滴D2。此时，虽然X方向的液滴D2的排出间隔与膜形成区域103r的排出间隔m相同，但 是从喷嘴52所排出的液状体的排出量设定得多。从而，如示于图ll(b)地，液滴D2喷中膜 形成区域103r'时的喷中直径d2比液滴Dl喷中膜形成区域103r时的喷中直径dl大。还 有，在第2面板E2中的其他膜形成区域103g'、103b'也同样地作为液滴D2排出预期的液 状体。 还有，从喷嘴52所排出的液滴D的量(排出量)能够通过增减示于图5(b)的驱 动信号COM的电位Vh而增减。在本实施例中，当对于膜形成区域103r'排出液状体时供给 喷嘴52的驱动信号COM的电位Vh2，设定得比当对于膜形成区域103r排出液状体时供给喷 嘴52的驱动信号COM的电位Vhl高。因此，排出于膜形成区域103r'的液滴D2相比较于 排出于膜形成区域103r的液滴D1，每排出一次的液状体的量变多。 如果依照于该方法，则对于面积小而限制能够对区域内排出液状体的喷嘴52的 膜形成区域103r' 、 103g' 、 103b'，能够使每排出一次的液滴D2的量变多，能够供给更多的 液状体。即，能够稳定地供给预定量的液状体。由此，在膜形成区域103r'、103g'、103b'中， 能够降低液状体的喷中位置的偏离，能够制造质量稳定的至少2种类型的薄膜。其结果，能 够有利于滤色器的生产性的提高。
(第4实施例) 在此，关于第4实施例的滤色器的制造方法，参照图12及图13进行说明。图12 是表示第4实施例的液状体的排出工序中的喷头单元与母基板的相对配置的概要俯视图， 图13(a) (c)是表示第4实施例的液状体的排出工序中的液滴的配置的概要俯视图。还 有，关于与第1 第3实施例同样的构成及内容，使符号相同而对说明进行省略。
如示于图12地，第4实施例中的母基板B与上述的实施例同样地具有多个(4 个)以拼版方式形成于母基板B的区域F的第1面板E1、和多个(5个)以拼版方式形成于 母基板B的区域H的第2面板E2。在此第2面板E2的面积比第1面板El的面积小。
在第l面板El，作为第l被排出区域的矩形形状的膜形成区域103r、103g、103b多 个排列为矩阵状。同样地，在第2面板E2，作为第2被排出区域的矩形形状的膜形成区域 103r'、103g'、103b'多个排列为矩阵状。在此膜形成区域103r'、 103g'、 103b'的面积比膜 形成区域103r、103g、103b的面积小。膜形成区域103r、 103g、 103b与膜形成区域103r'、103g'、103b'配置为，被排出同种(同色)的液状体的条带方向相同。而且，对各自按预定 量排出预期的液状体而形成着色层103。 在本实施例中，在示于图1的液状体排出装置10的载置台5载置母基板B。在本 实施例中，以使得相对于配置于Y方向的多个喷头单元9、母基板B的长边变得基本平行的 方式，将母基板B置于载置台5上。然后，在使载置台5移动于X方向的期间，从搭载于喷 头单元9的液滴排出喷头50朝向母基板B排出液状体。 该情况下，例如，膜形成区域103r、103g、103b及膜形成区域103r'、 103g'、 103b' 的长边方向一致于Y方向。并且，排列于液滴排出喷头50的喷嘴列52a配置为一致于Y方 向。其结果，如示于图13(a)地，由多个喷嘴52构成的喷嘴列52a配置为，沿矩形形状的膜 形成区域103r、103g、103b及膜形成区域103r' 、 103g'、 103b'的长边方向。
如示于图13(a)地，在Y方向上，例如相对于被排出红色液状体的膜形成区域 103r，设置5个喷嘴52，从各个喷嘴排出液滴D1。由此，分别有5滴液滴Dl喷中膜形成区 域103r。并且，在X方向上，通过对排出定时进行控制而能够以 一定的排出间隔m使液滴D1 喷中膜形成区域103r的预定的位置。由此，对膜形成区域103r供给10滴液滴Dl。喷中的 液滴D1在膜形成区域103r内浸洇。还有，在第1面板E1中的其他膜形成区域103g、103b 也同样地作为液滴D1每次排出IO滴预期的液状体。S卩，能在面积大的膜形成区域103r涂 敷多滴液滴D1。 可是，为了向相对于膜形成区域103r面积小的膜形成区域103r'供给液滴D，因与 喷嘴间距P的关系而能够供给液滴D的喷嘴52的个数受限。例如，如示于图13(b)地，由 多个喷嘴52i(i为1以上的自然数)构成的喷嘴列52a沿膜形成区域103r'的长边方向所 配置。可是，因为膜形成区域103r'的长边方向的宽度比膜形成区域103r形成得小，所以 例如，如从3个喷嘴52工 523同时将红色液状体喷向膜形成区域103r'，则红色液状体喷 中膜形成区域103r'的边界部，有可能在其他膜形成区域103g'混进红色液状体。因此，在 膜形成区域103r'，采用2个喷嘴52p522。 若一边通过示于图l的载置台5而使母基板B移动于附图中X(+)方向一边进行 从喷嘴52p5^排出液滴D1的第1次排出工作，则如示于图13(b)地，在膜形成区域103r' 隔开间隔而配置2滴液滴D1。 接下来，通过示于图1的喷头移动机构30而使喷头单元9在附图中Y(-)方向微 量移动。通过对移动距离进行调整，如示于图13(c)地，在膜形成区域103r'内，喷嘴522、 523相对向。然后，若一边使得母基板B移动于附图中X(-)方向一边进行从喷嘴522、523排 出液滴D2的第2次排出工作，则液滴D2分别与液滴Dl并排而配置于膜形成区域103r'的 X方向中央。如此地，在母基板B的X方向的移动及来自喷嘴52i的液状体的排出之间，通 过使喷头单元9在Y方向微量移动，能够对于膜形成区域103r'，填塞Y方向的喷中间隔而 将液状体配置为液滴Dl、 D2。 如果依照于该方法，则对于面积小而限制能够对区域内排出液状体的喷嘴52的 膜形成区域103r' 、103g' 、103b'，能够使Y方向的液滴的喷中间隔变窄，能够供给更多的液 滴D1、 D2。即，能够稳定地供给预定量的液状体。由此，在膜形成区域103r'、103g'、103b' 中，能够降低液状体的喷中位置的偏离，能够制造质量稳定的至少2种类型的薄膜。其结 果，能够有利于滤色器的生产性的提高。
(第5实施例) 在此，关于第5实施例的滤色器的制造方法，参照图14进行说明。图14是表示第
5实施例的液状体的排出工序中的喷头单元与母基板的相对配置的概要俯视图。还有，关于
与第1 第4实施例同样的构成及内容，使符号相同而对说明进行省略。 如示于图14地，第5实施例中的母基板B与其他实施例同样地，具有沿母基板B
的上部长边与左右短边而多个(4个)拼版形成为矩阵状的第1面板E1、和沿下部长边多个
(5个)拼版形成的第2面板E2。第2面板E2的面积比第1面板E1的面积小。 在第1面板E1，作为第l被排出区域的矩形形状的膜形成区域103r、103g、103b
矩阵状地排列多个。同样地，在第2面板E2，作为第2被排出区域的矩形形状的膜形成区
域103r'、103g'、103b'矩阵状地排列多个。在此，膜形成区域103r、 103g、 103b的面积比膜
形成区域103r， 、 103g， 、 103b'的面积大。并且，膜形成区域103r、 103g、 103b与膜形成区域
103r'、103g'、103b'配置为，被排出同种(同色)的液状体的条带方向互相正交。 在液状体的排出工序中，利用示于图1的液状体排出装置IO，在喷头移动机构30
中，以使得相对于配置于Y方向的多个喷头单元9、母基板B的长边变得基本平行的方式，将
母基板B定位于载置台5上。然后，在使载置台5移动于X方向期间，从搭载于喷头单元9
的液滴排出喷头50朝向母基板B排出液状体。 该情况下，膜形成区域103r、103g、103b的长边方向一致于Y方向，膜形成区域 103r' 、 103g' 、 103b'的长边方向一致于X方向。并且，排列于液滴排出喷头50的喷嘴列52a 配置为，一致于喷头单元9的配置方向、即Y方向。因此，由多个喷嘴52构成的喷嘴列52a 沿矩形形状的膜形成区域103r、103g、103b的长边方向所配置。因此，能够对膜形成区域 103r、103g、103b排出液状体的喷嘴52的个数与能够对膜形成区域103r'、 103g'、 103b'内 排出液状体的喷嘴52的个数大不相同。即，能够对膜形成区域103r'、103g'、103b'内排出 液状体的喷嘴52的个数受限。 在本实施例中，对于形成有限制了能够排出该液状体的喷嘴52的个数的膜形成 区域103r' 、 103g' 、 103b'的区域H，应用以上述的第1实施例 第4实施例进行了说明的液 状体的排出方法的任一种。即，使得对于形成有膜形成区域103r、103g、103b的区域F从喷 嘴52排出液状体的排出条件与对于形成有膜形成区域103r' 、 103g' 、 103b'的区域H从喷 嘴52排出液状体的排出条件不同。 如果依照于该液状体的排出方法，则对于形成为不仅尺寸而且配置方向也不同的 膜形成区域103混合存在的母基板B，通过按各区域应用以上述的第1实施例 第4实施例 进行了说明的液状体的排出方法的任一种，能够对于各自的膜形成区域103稳定地供给必 需量的液状体，能够降低排出量的偏差等的不良状况。因此，能够制造质量稳定的至少2种 类型的薄膜，能够有利于滤色器的生产性的提高。
(第6实施例) 接下来关于采用了前述的液状体的排出方法的有机EL装置的制造方法参照图 15 图17进行说明。
(有机EL装置) 图15是表示有机EL装置的要部结构的概要剖面图。如示于图15地，作为本实施 方式的电光装置的有机EL装置600具备具有作为有机EL元件的发光元件部603的元件基板601、和与元件基板601隔开空间622被粘封的密封固定基板620。并且元件基板601在 元件基板601之上具备电路元件部602，发光元件部603重叠形成于电路元件部602之上， 通过电路元件部602所驱动。在发光元件部603，3色的发光层617R、617G、617B形成于作 为各自的色要素区域的被排出区域Q，成为条带状。元件基板601以对应于3色的发光层 617R、617G、617B的3个被排出区域Q为1组像素，该像素矩阵状地配置于元件基板601的 电路元件部602之上。本实施方式的有机EL装置600在元件基板601侧出射来自发光元 件部603的发光。 密封固定基板620由玻璃或金属形成，通过封固树脂接合于元件基板601，在被密 封固定的内侧的表面，贴附吸气剂621。吸气剂621吸收进入元件基板601与密封固定基板 620之间的空间622的水或氧，防止发光元件部603由于进入的水或氧而劣化。还有，该吸 气剂621也可以省略。 本实施方式的元件基板601在电路元件部602之上具有多个被排出区域Q，具备 作为对多个被排出区域Q进行划分的分隔壁部的边沿(bank)618、形成于多个被排出区域Q 的电极613、和叠层于电极613的空穴注入/输送层617a。并且具备发光元件部603，该发 光元件部603作为具有对多个被排出区域Q内供给包含发光层形成材料的3种液状体所形 成的发光层617R、617G、617B的色要素。边沿618包括下层边沿618a与对被排出区域Q实 质性地进行划分的上层边沿618b，下层边沿618a设置得伸出于被排出区域Q的内侧，为了 防止电极613与各发光层617R、617G、617B直接接触而发生电短路，通过Si02等的无机绝 缘材料所形成。 元件基板601由例如玻璃等的透明的基板构成，在元件基板601之上形成包括氧 化硅膜的基底保护膜606。在该基底保护膜606之上形成包含多晶硅的岛状的半导体膜 607。还有，在半导体膜607，通过注入高浓度P离子而形成源区域607a及漏区域607b。还 有，未被导入P的部分成为沟道区域607c。进而形成覆盖基底保护膜606及半导体膜607 的透明的栅绝缘膜608，在栅绝缘膜608之上形成包含Al、Mo、Ta、Ti、W等的栅电极609，在 栅电极609及栅绝缘膜608之上形成透明的第1层间绝缘膜611a与第2层间绝缘膜611b。 栅电极609设置于对应于半导体膜607的沟道区域607c的位置。并且，贯通第l层间绝缘 膜611a及第2层间绝缘膜611b，形成分别连接于半导体膜607的源区域607a、漏区域607b 的接触孔612a、612b。而且，在第2层间绝缘膜611b之上，图形化为预定的形状而配置包 含ITO(Indium Tin Oxide，氧化铟锡)等的透明的电极613 (电极形成工序)， 一方接触孔 612a连接于该电极613。并且，另一方接触孔612b连接于电源线614。如此一来，在电路 元件部602，形成连接于各电极613的驱动用的薄膜晶体管615。还有，虽然在电路元件部 602也形成保持电容与开关用的薄膜晶体管，但是在图15中对它们的图示进行省略。
发光元件部603具备作为阳极的电极613 ;依次叠层于电极613上的空穴注入/ 输送层617a，各发光层617R、617G、617B (总称为发光层617b)，和覆盖上层边沿618b与发 光层617b地叠层的阴极604。还有，如果以透明的材料构成阴极604与密封固定基板620 及吸气剂621，则能够使发出的光从密封固定基板620侧出射。 有机EL装置600具有连接于栅电极609的扫描线(图示省略)与连接于源区 域607a的信号线(图示省略)，若通过传输于扫描线的扫描信号使得开关用的薄膜晶体管 (图示省略)导通，则此时的信号线的电位保持于保持电容，相应于该保持电容的状态，确定驱动用的薄膜晶体管615的导通、截止状态。而且，通过驱动用的薄膜晶体管615的沟道 区域607c，电流从电源线614流过电极613，进而电流通过空穴注入/输送层617a与发光 层617b流进阴极604。发光层617b相应于流过其的电流量而发光。有机EL装置600利用 如此的发光元件部603的发光机理，能够显示预期的文字、图像等。
(有机EL装置的制造方法) 接下来关于本实施方式的有机EL装置的制造方法基于图16及图17进行说明。图 16是表示有机EL装置的制造方法的流程图，图17是表示有机EL装置的制造方法的概要剖 面图。还有，在图16(a) (f)中，形成于元件基板601上的电路元件部602省略图示。
如示于图16地，有机EL装置的制造方法包括在元件基板601的对应于多个被 排出区域Q的位置形成电极613的工序、和边沿(分隔壁部)形成工序，所述边沿形成工序 中，以一部分搭挂于电极613的方式形成下层边沿618a，并进一步在下层边沿618a上以实 质性地划分被排出区域Q的方式形成上层边沿618b。并且包括进行以上层边沿618b所 划分的被排出区域Q的表面处理的工序、对表面处理过的被排出区域Q供给包含空穴注入/ 输送层形成材料的液状体而对空穴注入/输送层617a进行排出描绘的工序、和使所排出的 液状体干燥而使空穴注入/输送层617a进行成膜的工序。并且，包括进行形成有空穴注 入/输送层617a的被排出区域Q的表面处理的工序、对表面处理过的被排出区域Q供给包 含作为色要素形成材料的发光层形成材料的3种液状体而对发光层617b进行排出描绘的 作为色要素描绘工序的发光层描绘工序、和使所排出的3种液状体干燥而使发光层617b进 行成膜的工序。进而，包括覆盖上层边沿618b与发光层617b地形成阴极604的工序。各 液状体向被排出区域Q的供给采用液状体排出装置10而进行。 图16的步骤Sll为电极(阳极)形成工序。在步骤Sll中，如示于图17(a)地， 在已经形成有电路元件部602的元件基板601的对应于被排出区域Q的位置形成电极613。 作为形成方法，例如可举出如下方法在元件基板601的表面采用ITO等的透明电极材料在 真空中以溅射法或者蒸镀法形成透明电极膜，之后，以光刻法仅残留必需的部分进行蚀刻 而形成电极613。并且，也可以先以光致抗蚀剂覆盖元件基板601，使得形成电极613的区 域形成开口地进行曝光、显影。然后在开口部形成ITO等的透明电极膜，并去除残留的光致 抗蚀剂。然后进入步骤S12。 图16的步骤S12为边沿(分隔壁部)形成工序。在步骤S12中，如示于图17(b) 地，覆盖元件基板601的多个电极613的一部分地形成下层边沿618a。作为下层边沿618a 的材料，采用作为无机材料的绝缘性的SiOj氧化硅)。作为下层边沿618a的形成方法，例 如可举出如下方法对应于在后所形成的发光层617b，采用抗蚀剂等而将各电极613的表 面掩蔽，然后将被掩蔽了的元件基板601投进真空装置，并以Si02为吸气剂或者原料通过 溅射、进行真空蒸镀而形成下层边沿618a。抗蚀剂等的掩蔽在后进行剥离。还有，因为下层 边沿618a通过Si02所形成，所以只要其膜厚为200nm以下就具有充分的透明性，即使之后 叠层空穴注入/输送层617a及发光层617b也不阻碍发光。 接下来，以对各被排出区域Q实质性进行划分的方式在下层边沿618a之上形成上 层边沿618b。作为上层边沿618b的材料，优选对于包含后述的发光层形成材料的3种液 状体84R、84G、84B的溶剂具有耐溶性；进一步优选能够通过以氟类气体为处理气体的等 离子处理而四氟乙烯化，例如丙烯酸树脂、环氧树脂、感光性聚酰亚胺等的有机材料。作为上层边沿618b的形成方法，例如可举出如下方法在形成有下层边沿618a的元件基板601 的表面以滚涂法、旋涂法涂敷感光性的前述有机材料，并使之干燥而形成厚度约2 ii m的感 光性树脂层，然后，通过使以对应于被排出区域Q的大小设置了开口部的掩模与元件基板 601在预定的位置相对向而进行曝光、显影，形成上层边沿618b。由此形成作为具有下层边 沿618a与上层边沿618b的分隔壁部的边沿618。然后进入步骤S13。
图16的步骤S13为对被排出区域Q进行表面处理的工序。在步骤S13中，对形成 有边沿618的元件基板601的表面首先以02气体为处理气体进行等离子处理。由此使电 极613的表面、下层边沿618a的伸出部及上层边沿618b的表面(包括壁面)活化而进行 亲液处理。接着以CF4等的氟类气体为处理气体进行等离子处理。由此氟类气体仅在由作 为有机材料的感光性树脂形成的上层边沿618b的表面进行反应而进行防液处理。然后，进 入步骤S14。 图16的步骤S14为空穴注入/输送层形成工序。在步骤S14中，如示于图17(c) 地，将包含空穴注入/输送层形成材料的液状体82供给被排出区域Q。作为供给液状体82 的方法，采用前述的液状体排出装置10。从液滴排出喷头50所排出的液状体82作为液滴 喷中元件基板601的电极613而浸洇。液状体82相应于被排出区域Q的面积作为液滴排 出必需量而成为因表面张力而隆起的状态。因为通过液状体排出装置10排出1种液状体 82进行描绘，所以可以通过至少l次主扫描进行排出描绘。然后进入步骤S15。
图16的步骤S15为干燥、成膜工序。在步骤S15中，通过对元件基板601以例如 灯照退火等的方法进行加热，使液状体82的溶剂成分干燥而去除，并在电极613的通过下 层边沿618a所划分的区域形成空穴注入/输送层617a。在本实施方式中，作为空穴注入 /输送层形成材料采用了 PEDOT (Polyethylene Dioxy Thiophene :聚亚乙基二氧基噻吩)。 虽然该情况下，在各被排出区域Q形成了由相同材料形成的空穴注入/输送层617a，但是也 可以对应于之后的发光层的形成材料按被排出区域Q地改变空穴注入/输送层617a的材 料。然后进入步骤S16。 图16的步骤S16为对形成有空穴注入/输送层617a的元件基板601进行表面处 理的工序。在步骤S16中，因为在采用上述的空穴注入/输送层形成材料形成了空穴注入/ 输送层617a的情况下，其表面对于在接下来的步骤S17所采用的3种液状体84R、84G、84B 具有防液性，所以至少使被排出区域Q的区域内再次具有亲液性地进行表面处理。作为表 面处理的方法，涂敷用于3种液状体84R、84G、84B的溶剂而干燥。作为溶剂的涂敷方法，可 举出喷射法、旋涂法等的方法。然后，进入步骤S17。 图16的步骤S17为RGB发光层描绘工序。在步骤S17中，如示于图17 (d)地，应 用前述的液状体的排出方法从液状体排出装置10的不同液滴排出喷头50对多个被排出 区域Q供给包含发光层形成材料的3种液状体84R、84G、84B。液状体84R包含形成发光层 617R(红色)的材料，液状体84G包含形成发光层617G(绿色)的材料，液状体84B包含形 成发光层617B(蓝色)的材料。喷中的各液状体84R、84G、84B在被排出区域Q浸洇而剖面 形状隆起为圆弧状。然后，进入步骤S18。 图16的步骤S18为干燥、成膜工序。在步骤S18中，如示于图17(e)地，使所排出 描绘的各液状体84R、84G、84B的溶剂成分干燥而除去，并对各被排出区域Q的空穴注入/ 输送层617a叠层各发光层617R、617G、617B地进行成膜化。作为排出描绘了各液状体84R、84G、84B的元件基板601的干燥方法，优选可以使溶剂的蒸发速度基本一定的减压干燥。然 后进入步骤S19。 图16的步骤S19为阴极形成工序。在步骤S19中，如示于图17(f)地，覆盖元件 基板601的各发光层617R、617G、617B与上层边沿618b的表面地形成阴极604。作为阴极 604的材料，优选组合采用Ca、Ba、Al等的金属、LiF等的氟化物。尤其优选在接近发光层侧 形成功函数小的Ca、 Ba、 LiF膜，并在较远侧形成功函数大的Al等的膜。并且，也可以在阴 极604之上叠层Si(^、SiN等的保护层。如果如此地进行，则能够防止阴极604的氧化。作 为阴极604的形成方法，可举出蒸镀法、溅射法、CVD法等。尤其在能够防止由发光层的热 引起的损伤之点，优选蒸镀法。采用如此地形成的元件基板601而制造有机EL装置600。
如果依照于该有机EL装置600的制造方法，则能够在发光层描绘工序中，在面积 不同、排列方向不同等要求规格、特征不同的相正交的元件基板601的2种被排出区域Q，采 用前述的液状体的排出方法排出3种液状体84R、84G、84B，形成作为3种色要素的发光层 617R、617G、617B。并且，能够使形成于2种类型的被排出区域Q的发光层617R、617G、617B 的厚度的不均匀降低，并能够以高的生产性制造作为有机EL元件的发光元件部603的排列 方向不同的至少2种有机EL装置600。 如果依照于该方法，则对于面积小而限制能够对区域内排出液状体的喷嘴52的 膜形成区域103r' 、103g' 、103b'，能够使Y方向的液滴的喷中间隔变窄，能够供给更多的液 滴D1、 D2。即，能够稳定地供给预定量的液状体。由此，在膜形成区域103r'、103g'、103b' 中，能够降低液状体的喷中位置的偏离，能够制造质量稳定的至少2种类型的薄膜。其结 果，能够有利于滤色器的生产性的提高。 以上，虽然关于本发明的实施方式进行了说明，但是对于上述实施方式，能够在不
脱离本发明的主旨的范围加以各种变形。例如上述实施方式以外的变形例如下。(变形例1)在上述实施方式进行了说明的母基板B中的第1面板E1及第2面板
E2的布局设计为一个实施例并不限定于此。第1面板E1及第2面板E2只要在母基板B中
具有某种规则性而配置即可。并且，在本实施方式进行了说明的第1被排出区域及第2被
排出区域的布局设计虽然关于所谓的条带方式的情况进行了说明，但是并不限定于此。也
可以为所谓的镶嵌方式或三角方式的布局设计。(变形例2)在上述实施方式中，虽然以第l被排出区域及第2被排出区域的面积 不同的情况为例进行了说明，但是并不限定于此。例如，即使在第l被排出区域及第2被排 出区域为相同的面积而排列方向不同的情况下，也能够应用本实施方式的液状体的排出方法。 并且，虽然在本实施方式中，为了说明的简便而在各实施例中对每次1种液状体 的排出方法进行了说明，但是这些液状体的排出方法既可以单独应用，也可以组合多种排 出方法而应用。
权利要求
一种液状体的排出方法，其特征在于包括排出工序，该工序中，一边使喷嘴列与具备多个被排出区域的基板在与前述喷嘴列的配置方向基本正交的主扫描方向相对移动，一边从喷嘴向前述被排出区域排出液状体，其中，该喷嘴列中，列状地配设有排出前述液状体作为液滴的多个前述喷嘴；前述被排出区域包括第1被排出区域及第2被排出区域；前述第1被排出区域的面积与前述第2被排出区域的面积不同；在前述排出工序中，前述液状体对于前述第1被排出区域的排出条件被设定为，与前述液状体对于前述第2被排出区域的排出条件不同。
2. 根据权利要求1所述的液状体的排出方法，其特征在于前述液滴从前述喷嘴排出到前述第1被排出区域内的滴入密度被设定为，与前述液滴 从前述喷嘴排出到前述第2被排出区域内的滴入密度不同。
3. 根据权利要求1或2所述的液状体的排出方法，其特征在于在前述排出工序中，对前述第1被排出区域排出前述液状体时的、前述基板与前述喷 嘴列的向前述主扫描方向的相对移动速度被设定为，与对前述第2被排出区域排出前述液 状体时的、前述基板与前述喷嘴列的向前述主扫描方向的相对移动速度不同。
4. 根据权利要求1 3中的任何一项所述的液状体的排出方法，其特征在于 在前述排出工序中，从前述喷嘴向前述第1被排出区域排出前述液状体时的排出周期被设定为，与从前述喷嘴向前述第2被排出区域排出前述液状体时的排出周期不同。
5. 根据权利要求1 4中的任何一项所述的液状体的排出方法，其特征在于在前述排出工序中，从前述喷嘴向前述第1被排出区域排出前述液状体时的排出量被设定为，与从前述喷嘴向前述第2被排出区域排出前述液状体时的排出量不同。
6. 根据权利要求1 5中的任何一项所述的液状体的排出方法，其特征在于前述排出工序包括喷嘴列移动工序，所述喷嘴列移动工序中，在前述喷嘴列与前述基 板的前述主扫描方向的多次相对移动之间，使前述喷嘴列与前述基板在与前述主扫描方向基本正交的副扫描方向相对移动；对前述第1被排出区域排出前述液状体时的、向前述主扫描方向的相对移动次数及前 述副扫描方向的移动量之中至少一方被设定为，与对前述第2被排出区域排出前述液状体 时的、向前述主扫描方向的相对移动次数及前述副扫描方向的移动量之中至少一方不同。
7. 根据权利要求1 6中的任何一项所述的液状体的排出方法，其特征在于将前述第1被排出区域与前述第2被排出区域形成为基本矩形形状；将前述基板上的前述第1被排出区域的长边方向配置为，与前述第2被排出区域的长边方向基本平行。
8. 根据权利要求1 6中的任何一项所述的液状体的排出方法，其特征在于 将前述第1被排出区域与前述第2被排出区域形成为基本矩形形状；将前述基板上的前述第1被排出区域的长边方向配置为，与前述第2被排出区域的长边方向基本正交。
9. 一种滤色器的制造方法，所述滤色器在基板上的多个被排出区域形成有多色的着色层，该制造方法的特征在于前述多个被排出区域包括第1被排出区域与第2被排出区域；该制造方法包括排出工序和成膜工序，所述排出工序中，采用权利要求1 8中的任何一项所述的液状体的排出方法，将包含 着色层形成材料的多色液状体排出到前述多个被排出区域；所述成膜工序中，使所排出的前述液状体固化而形成前述多色的着色层。
10. —种有机EL装置的制造方法，所述有机EL装置具备多个有机EL元件，所述有机 EL元件在基板上的多个被排出区域具有包括发光层的功能层；该制造方法的特征在于前述多个被排出区域包括第1被排出区域与第2被排出区域；该制造方法包括排出工序和成膜工序，所述排出工序中，采用权利要求1 8中的任何一项所述的液状体的排出方法，将包含 发光层形成材料的液状体排出到前述多个被排出区域；所述成膜工序中，使所排出的前述液状体固化而形成前述发光层。
全文摘要
本发明涉及液状体的排出方法、滤色器的制造方法及有机EL装置的制造方法。能够制造质量稳定的至少2种类型的薄膜。液状体的排出方法特征为包括排出工序，该工序中一边使将作为液滴(D)而排出液状体的多个喷嘴(52)配设为列状的喷嘴列(52a)与具备多个被排出区域的基板(B)在与前述喷嘴列(52a)的配置方向基本正交的主扫描方向相对移动，一边从前述喷嘴(52)向前述被排出区域排出前述液状体；前述被排出区域包括第1被排出区域及第2被排出区域；在前述排出工序中设定为，前述液状体对于前述第1被排出区域的排出条件与前述液状体对于前述第2被排出区域的排出条件不同。
文档编号H01L21/82GK101722728SQ20091020765
公开日2010年6月9日 申请日期2009年10月28日 优先权日2008年10月28日
发明者篠原亨 申请人:精工爱普生株式会社