专利名称:全自动ic打标机的制作方法
技术领域:
本实用新型涉及电发热盘的技术领域,尤其是一种全自动IC打标机。
背景技术:
打标机广泛应用于IC行业的集成电路的表面打标。根据使用要求的不同,IC行 业使用的集成电路板有料条(组合芯片)、或芯片(块粒状芯片)和晶圆三种形式。料条是 由若干芯片组合而成的板料,对料条上的每一粒芯片打标时,是直接通过输送料条实现自 动打标的。芯片是尺寸较小的块粒状料,是放在轨道托盘中,通过对轨道托盘的输送实现芯 片自动打标的。晶圆是直接在其上制作多块(粒)芯片的一块薄薄的圆片,需要在整块晶 圆薄片上对其上的每一块(粒)芯片的背面进行打标。 目前用于IC料条打标的打标设备多是半自动的,其存在料条易变形、定位不准、 打标精度低、生产效率低的缺点,现在也有全自动的IC打标机,但其没有扫尘机构,由于IC 料片表面可能会存在一些灰尘微粒,不去除会导致打标线条模糊,变形,出现偏移等质量问 题,所以在打标前对IC料片表面进行扫尘很必要。
实用新型内容本实用新型目的是提供一种定位准确、打标精度高,打标线条清晰,自动化程度高 的全自动IC打标机。 为实现上述目的,本实用新型采用的技术方案是一种全自动IC打标机包括机 架,设在机架上的上料机构、送料机构、方向检测装置、定位装置、扫尘装置、激光打标装置 和下料机构,方向检测装置、扫尘装置、激光打标装置依次设在送料机构输送线路的两侧 上,定位装置设在送料机构输送线路的正上方,所述的扫尘装置包括毛刷、电机和鼓风机, 电机的输出轴与毛刷转轴连接。 所述定位装置由定位压板、定位针、气缸和底座组成,气缸固定在底座上,气缸的 活塞杆与定位压板连接,定位针安装在定位压板上。 所述方向检测装置包括支架、设置在支架上的驱动电机、设在支架上的传送带,在
传送带上设有检测仪器架,在检测仪器架上设有扫描头及扫描头正下方的发光器。 本实用新型采用上述结构后,通过在机架上设置上料机构、送料机构、方向检测装
置、定位装置、扫尘装置、激光打标装置和下料机构,方向检测装置、扫尘装置、激光打标装
置依次设在送料机构输送线路的两侧上,定位装置设在送料机构输送线路的正上方,所述
的扫尘装置包括毛刷、电机和鼓风机,电机的输出轴与毛刷转轴连接。因此,可以自动实现
上料、送料、方向检测、扫尘、定位打标、下料一系列工序,自动化程度高,且增加了扫尘装
置,扫尘是用电机带动柔软的毛刷对打标前的IC料片的表面进行扫尘,不会对IC料片造成
损坏,在扫尘的同时还会用旋涡鼓风机将灰尘吸走,将IC料片表面的灰尘微粒除掉,避免
出现打标线条模糊,变形,出现偏移等质量问题;进一步的改进是定位装置采用定位压板和
定位针的结构,由于IC料片上有精准的孔可以用来做定位点,采用针孔定位系统,即由定位针来微调料片的位置,由于定位针的位置不会改变,当IC料片的位置有误差时,孔会把 料片定位准确,精度可以控制在±0. 05mm。
以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型作进一步详细说明
图1为本实用新型结构图; 图2为本实用新型扫尘装置结构图; 图3为本实用新型定位装置结构图; 图4为本实用新型方向检测装置结构图。 图中1机架,2上料机构,3送料机构,4方向检测装置,41支架,42驱动电机,43传 送带,44检测仪器架,45扫描头,46发光器,5定位装置,51定位压板,52定位针,53气缸,54 底座,55弹簧,6扫尘装置,61毛刷,62电机,63鼓风机,7激光打标装置,8下料机构。
具体实施方式图1、2、3和4所示,本实用新型的全自动IC打标机包括机架l,设在机架1上的上 料机构2、送料机构3、方向检测装置4、定位装置5、扫尘装置6、激光打标装置7和下料机构 8,方向检测装置4、扫尘装置6、激光打标装置7依次设在送料机构3输送线路的两侧上,定 位装置5设在送料机构3输送线路的正上方,所述的扫尘装置6包括毛刷61、电机62和鼓 风机63,电机62的输出轴与毛刷61转轴连接。扫尘是用电机62带动柔软的毛刷61对打 标前的IC料片的表面进行扫尘,不会对IC料片造成损坏,在扫尘的同时还会用旋涡鼓风机 63将灰尘吸走,将IC料片表面的灰尘微粒除掉,避免出现打标线条模糊,变形,出现偏移等 质量问题。 所述定位装置5由定位压板51、定位针52、气缸53和底座54组成,气缸53固定 在底座54上,气缸53的活塞杆与定位压板51连接,定位针52安装在定位压板51上。由 于IC料片上有精准的孔可以用来做定位点,采用针孔定位系统,即由定位针52来微调料 片的位置,由于定位针52的位置不会改变,当IC料片的位置有误差时,孔会把料片定位准 确,精度可以控制在士0.05mm。使用时,当载料台把IC料带运至打标区域时,定位压板51 下降,定位针52进入IC料带的定位孔中对IC料带进行准确定位。在本实施方案中,定位 针52是活动安装在定位压板51上,在定位针52上套有弹簧55,当载料台到达打标位置有 误从而使定位针52不能进入定位孔,此时可通过弹簧55施加作用力推动定位针52进行定 位,如果载料台位置偏移较大的情况时,定位针52回弹起,机器报警。 所述方向检测装置4包括支架41、设置在支架41上的驱动电机42、设在支架41 上的传送带43,在传送带43上设有检测仪器架44,在检测仪器架44上设有扫描头45及扫 描头45正下方的发光器46。 工作时,取料将料条放在上料机构2的上料箱,通过抓料机械手抓取料片,放到 送料机构3的轨道的载料台上,机械手以气缸作为动力源,控制四个勾爪的开与合,从而控 制抓取或者放开料片;送料装着IC料片的载料台在轨道上走动,分别到达方向检测、扫尘 和打标位置再倒回下料位置,每一个工位的位置由步进电机精确控制;方向检测由于IC 料片在料盒中的方向可能是错误的,如果直接打示会出现废料,为此在打标前用方向检测的视觉(VISION)系统,利用相机采集IC料片的定位孔位置图像,并通过计算机与标准图像 比较,从而判断IC料片方向是否正确,当方向不正确时,系统把料到片送到废料料盒。视觉 检测系统进行方向检测具有判断准确和效率高的优点,且采用非接触检测不会对IC料片 造成损坏,而采用传统的机械方式进行方向检测有可能损坏IC料片;扫尘IC料片表面可 能会存在一些灰尘微粒,不去除会导致打标线条模糊,变形,偏移等质量问题,所以在打标 前有很必要对IC料片表面进行扫尘,扫尘是用电机62带动柔软的毛刷61进行去尘,不会 对IC料片造成损坏,在扫尘的同时还会用旋涡鼓风机63将尘吸走;将料片送到打标位置, 此时定位装置5对料片进行定位,然后通过打标装置7对料片进行打标,打标结束之后,送 料机构3把打标完的料片直接送到下料位置,再由机械手把IC料片抓取到下料机构8的下 料料盒,从而完成一个循环。
权利要求一种全自动IC打标机,它包括机架(1),其特征在于在机架(1)上设有上料机构(2)、送料机构(3)、方向检测装置(4)、定位装置(5)、扫尘装置(6)、激光打标装置(7)和下料机构(8),方向检测装置(4)、扫尘装置(6)、激光打标装置(7)依次设在送料机构(3)输送线路的两侧上,定位装置(5)设在送料机构(3)输送线路的正上方,所述的扫尘装置(6)包括毛刷(61)、电机(62)和鼓风机(63),电机(62)的输出轴与毛刷(61)转轴连接。
2. 根据权利要求1所述的全自动IC打标机,其特征在于所述定位装置(5)由定位压 板(51)、定位针(52)、气缸(53)和底座(54)组成,气缸(53)固定在底座(54)上,气缸(53) 的活塞杆与定位压板(51)连接,定位针(52)安装在定位压板(52)上。
3. 根据权利要求1所述的全自动IC打标机,其特征在于所述方向检测装置(4)包括 支架(41)、设置在支架(41)上的驱动电机(42)、设在支架(41)上的传送带(43),在传送带 (43)上设有检测仪器架(44),在检测仪器架(44)上设有扫描头(45)及扫描头(45)正下 方的发光器(46)。
专利摘要本实用新型公开了一种全自动IC打标机,它包括机架,设在机架上的上料机构、送料机构、方向检测装置、定位装置、扫尘装置、激光打标装置和下料机构,方向检测装置、扫尘装置、激光打标装置依次设在送料机构输送线路的两侧上,定位装置设在送料机构输送线路的正上方,所述的扫尘装置包括毛刷、电机和鼓风机,电机的输出轴与毛刷转轴连接;本实用新型定位准确、打标精度高,打标线条清晰,自动化程度高。
文档编号H01L21/00GK201449997SQ20092005944
公开日2010年5月5日 申请日期2009年6月30日 优先权日2009年6月30日
发明者郑俊岭 申请人:佛山市联动科技实业有限公司