全自动ic打标机的制作方法

文档序号:7188437阅读:260来源:国知局
专利名称:全自动ic打标机的制作方法
技术领域
本实用新型涉及电发热盘的技术领域,尤其是一种全自动IC打标机。
背景技术
打标机广泛应用于IC行业的集成电路的表面打标。根据使用要求的不同,IC行 业使用的集成电路板有料条(组合芯片)、或芯片(块粒状芯片)和晶圆三种形式。料条是 由若干芯片组合而成的板料,对料条上的每一粒芯片打标时,是直接通过输送料条实现自 动打标的。芯片是尺寸较小的块粒状料,是放在轨道托盘中,通过对轨道托盘的输送实现芯 片自动打标的。晶圆是直接在其上制作多块(粒)芯片的一块薄薄的圆片,需要在整块晶 圆薄片上对其上的每一块(粒)芯片的背面进行打标。 目前用于IC料条打标的打标设备多是半自动的,其存在料条易变形、定位不准、 打标精度低、生产效率低的缺点,现在也有全自动的IC打标机,但其没有扫尘机构,由于IC 料片表面可能会存在一些灰尘微粒,不去除会导致打标线条模糊,变形,出现偏移等质量问 题,所以在打标前对IC料片表面进行扫尘很必要。

实用新型内容本实用新型目的是提供一种定位准确、打标精度高,打标线条清晰,自动化程度高 的全自动IC打标机。 为实现上述目的,本实用新型采用的技术方案是一种全自动IC打标机包括机 架,设在机架上的上料机构、送料机构、方向检测装置、定位装置、扫尘装置、激光打标装置 和下料机构,方向检测装置、扫尘装置、激光打标装置依次设在送料机构输送线路的两侧 上,定位装置设在送料机构输送线路的正上方,所述的扫尘装置包括毛刷、电机和鼓风机, 电机的输出轴与毛刷转轴连接。 所述定位装置由定位压板、定位针、气缸和底座组成,气缸固定在底座上,气缸的 活塞杆与定位压板连接,定位针安装在定位压板上。 所述方向检测装置包括支架、设置在支架上的驱动电机、设在支架上的传送带,在
传送带上设有检测仪器架,在检测仪器架上设有扫描头及扫描头正下方的发光器。 本实用新型采用上述结构后,通过在机架上设置上料机构、送料机构、方向检测装
置、定位装置、扫尘装置、激光打标装置和下料机构,方向检测装置、扫尘装置、激光打标装
置依次设在送料机构输送线路的两侧上,定位装置设在送料机构输送线路的正上方,所述
的扫尘装置包括毛刷、电机和鼓风机,电机的输出轴与毛刷转轴连接。因此,可以自动实现
上料、送料、方向检测、扫尘、定位打标、下料一系列工序,自动化程度高,且增加了扫尘装
置,扫尘是用电机带动柔软的毛刷对打标前的IC料片的表面进行扫尘,不会对IC料片造成
损坏,在扫尘的同时还会用旋涡鼓风机将灰尘吸走,将IC料片表面的灰尘微粒除掉,避免
出现打标线条模糊,变形,出现偏移等质量问题;进一步的改进是定位装置采用定位压板和
定位针的结构,由于IC料片上有精准的孔可以用来做定位点,采用针孔定位系统,即由定位针来微调料片的位置,由于定位针的位置不会改变,当IC料片的位置有误差时,孔会把 料片定位准确,精度可以控制在±0. 05mm。
以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型作进一步详细说明

图1为本实用新型结构图; 图2为本实用新型扫尘装置结构图; 图3为本实用新型定位装置结构图; 图4为本实用新型方向检测装置结构图。 图中1机架,2上料机构,3送料机构,4方向检测装置,41支架,42驱动电机,43传 送带,44检测仪器架,45扫描头,46发光器,5定位装置,51定位压板,52定位针,53气缸,54 底座,55弹簧,6扫尘装置,61毛刷,62电机,63鼓风机,7激光打标装置,8下料机构。
具体实施方式图1、2、3和4所示,本实用新型的全自动IC打标机包括机架l,设在机架1上的上 料机构2、送料机构3、方向检测装置4、定位装置5、扫尘装置6、激光打标装置7和下料机构 8,方向检测装置4、扫尘装置6、激光打标装置7依次设在送料机构3输送线路的两侧上,定 位装置5设在送料机构3输送线路的正上方,所述的扫尘装置6包括毛刷61、电机62和鼓 风机63,电机62的输出轴与毛刷61转轴连接。扫尘是用电机62带动柔软的毛刷61对打 标前的IC料片的表面进行扫尘,不会对IC料片造成损坏,在扫尘的同时还会用旋涡鼓风机 63将灰尘吸走,将IC料片表面的灰尘微粒除掉,避免出现打标线条模糊,变形,出现偏移等 质量问题。 所述定位装置5由定位压板51、定位针52、气缸53和底座54组成,气缸53固定 在底座54上,气缸53的活塞杆与定位压板51连接,定位针52安装在定位压板51上。由 于IC料片上有精准的孔可以用来做定位点,采用针孔定位系统,即由定位针52来微调料 片的位置,由于定位针52的位置不会改变,当IC料片的位置有误差时,孔会把料片定位准 确,精度可以控制在士0.05mm。使用时,当载料台把IC料带运至打标区域时,定位压板51 下降,定位针52进入IC料带的定位孔中对IC料带进行准确定位。在本实施方案中,定位 针52是活动安装在定位压板51上,在定位针52上套有弹簧55,当载料台到达打标位置有 误从而使定位针52不能进入定位孔,此时可通过弹簧55施加作用力推动定位针52进行定 位,如果载料台位置偏移较大的情况时,定位针52回弹起,机器报警。 所述方向检测装置4包括支架41、设置在支架41上的驱动电机42、设在支架41 上的传送带43,在传送带43上设有检测仪器架44,在检测仪器架44上设有扫描头45及扫 描头45正下方的发光器46。 工作时,取料将料条放在上料机构2的上料箱,通过抓料机械手抓取料片,放到 送料机构3的轨道的载料台上,机械手以气缸作为动力源,控制四个勾爪的开与合,从而控 制抓取或者放开料片;送料装着IC料片的载料台在轨道上走动,分别到达方向检测、扫尘 和打标位置再倒回下料位置,每一个工位的位置由步进电机精确控制;方向检测由于IC 料片在料盒中的方向可能是错误的,如果直接打示会出现废料,为此在打标前用方向检测的视觉(VISION)系统,利用相机采集IC料片的定位孔位置图像,并通过计算机与标准图像 比较,从而判断IC料片方向是否正确,当方向不正确时,系统把料到片送到废料料盒。视觉 检测系统进行方向检测具有判断准确和效率高的优点,且采用非接触检测不会对IC料片 造成损坏,而采用传统的机械方式进行方向检测有可能损坏IC料片;扫尘IC料片表面可 能会存在一些灰尘微粒,不去除会导致打标线条模糊,变形,偏移等质量问题,所以在打标 前有很必要对IC料片表面进行扫尘,扫尘是用电机62带动柔软的毛刷61进行去尘,不会 对IC料片造成损坏,在扫尘的同时还会用旋涡鼓风机63将尘吸走;将料片送到打标位置, 此时定位装置5对料片进行定位,然后通过打标装置7对料片进行打标,打标结束之后,送 料机构3把打标完的料片直接送到下料位置,再由机械手把IC料片抓取到下料机构8的下 料料盒,从而完成一个循环。
权利要求一种全自动IC打标机,它包括机架(1),其特征在于在机架(1)上设有上料机构(2)、送料机构(3)、方向检测装置(4)、定位装置(5)、扫尘装置(6)、激光打标装置(7)和下料机构(8),方向检测装置(4)、扫尘装置(6)、激光打标装置(7)依次设在送料机构(3)输送线路的两侧上,定位装置(5)设在送料机构(3)输送线路的正上方,所述的扫尘装置(6)包括毛刷(61)、电机(62)和鼓风机(63),电机(62)的输出轴与毛刷(61)转轴连接。
2. 根据权利要求1所述的全自动IC打标机,其特征在于所述定位装置(5)由定位压 板(51)、定位针(52)、气缸(53)和底座(54)组成,气缸(53)固定在底座(54)上,气缸(53) 的活塞杆与定位压板(51)连接,定位针(52)安装在定位压板(52)上。
3. 根据权利要求1所述的全自动IC打标机,其特征在于所述方向检测装置(4)包括 支架(41)、设置在支架(41)上的驱动电机(42)、设在支架(41)上的传送带(43),在传送带 (43)上设有检测仪器架(44),在检测仪器架(44)上设有扫描头(45)及扫描头(45)正下 方的发光器(46)。
专利摘要本实用新型公开了一种全自动IC打标机,它包括机架,设在机架上的上料机构、送料机构、方向检测装置、定位装置、扫尘装置、激光打标装置和下料机构,方向检测装置、扫尘装置、激光打标装置依次设在送料机构输送线路的两侧上,定位装置设在送料机构输送线路的正上方,所述的扫尘装置包括毛刷、电机和鼓风机,电机的输出轴与毛刷转轴连接;本实用新型定位准确、打标精度高,打标线条清晰,自动化程度高。
文档编号H01L21/00GK201449997SQ20092005944
公开日2010年5月5日 申请日期2009年6月30日 优先权日2009年6月30日
发明者郑俊岭 申请人:佛山市联动科技实业有限公司
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