调节传送构件的速度的方法、使用该方法传送基板的方法以及基板处理设备的制作方法

专利名称：调节传送构件的速度的方法、使用该方法传送基板的方法以及基板处理设备的制作方法
技术领域：
这里公开的本发明涉及制造半导体基板的设备，并且更特别地，涉及调节处理半 导体基板的传送构件的速度的方法、使用所述调节方法的基板传送方法以及基板处理设备。
背景技术：
在基板制造过程中，多次重复对介电材料和金属材料的沉积与蚀刻、光致抗蚀剂 的涂覆与显影、灰化处理(asher process)等，以实现构图的精致布局。但是，尽管进行了 包括蚀刻或者灰化处理的处理，仍会在基板中残留异物。移除这些异物的处理包括使用去 离子水或者化学制剂的清洁处理。进行清洁处理的基板清洁设备划分为批次基板清洁设备和单基板清洁设备。批次 基板清洁设备包括具有能够一次处理25块基板或50块基板的尺寸的化学槽、洗涤槽和烘 干槽。批次基板清洁设备通过将基板浸渍在各个槽中预定的时间而移除异物。这样的批次 基板清洁设备同时清洁基板的上部和下部并且同时处理大量的基板。但是，随着基板直径 的增大，槽的尺寸也增大，从而增大了设备的尺寸和化学制剂的量。另外，从相邻基板脱离 的异物附着到化学槽中正被清洁的基板。最近，随着基板直径的增大，广泛地使用单基板清洁设备。在单基板清洁设备中， 基板被固定到腔室(chamber)中的基板夹具，所述腔室具有用于处理单个基板的小的尺 寸；然后，基板被马达转动；接着，通过布置在基板上方的喷嘴向所述基板提供化学制剂或 者去离子水。基板的自旋使化学制剂或者去离子水在基板的上部展开，以从基板去除异物。 单基板清洁设备的尺寸比批次基板清洁设备的尺寸更小，并且实现了均一的清洁性能。总体上，单基板清洁设备从其一个侧部开始包括加载/卸载单元、索引机械手、 缓冲单元、处理腔室和主传送机械手。索引机械手在缓冲单元和加载/卸载单元之间传送 基板，主传送机械手在缓冲单元和处理腔室之间传送基板。在缓冲单元处，将要清洁的基板 等待插入到处理腔室中，或者已经清洁的基板等待传送到加载/卸载单元。比如索引机械手和主传送机械手的传送机械手包括多个臂，基板被加载到各个 臂。所述各个臂水平移动，以便从收纳构件或缓冲单元中取出基板或将基板加载到收纳 构件或缓冲单元，所述收纳构件比如前端统一开口的容器(front open unified pods, FOUPs)。由于当传送机械手上下移动以将基板放置在臂的上表面时或者当传送机械手在 基板放置在臂上的状态下上下移动时产生的噪声和振动，需要传送机械手以低的速度移 动。由此，增加了传送机械手的基板传送时间，降低了传送效率。

发明内容
技术问题
本发明提供了调节传送构件的移动速度的方法，改进了传送基板的效率。本发明还提供了使用所述调节传送构件的移动速度的方法来传送基板的方法。本发明还提供了使用所述传送基板的方法来处理基板的基板处理设备。技术方案本发明的实施方式提供了调节传送构件的移动速度的方法，所述传送构件具有多 个加载有基板的传送臂，各个传送臂朝向地面(facing a ground)，所述方法包括使所述 传送臂从所述传送臂开始上下移动的起点向所述移动速度达到预设基准速度的第一点加 速；使以所述基准速度移动的传送臂从第二点向目标点逐渐减速；以及，将从所述第一点 至所述第二点的段划分为N个移动段(这里N是至少为2的自然数)，以使所述传送臂根据 各个移动段而以减速运动、加速运动和勻速运动中的任一种运动移动，其中，所述传送臂在 当前移动段中的运动不同于紧接当前移动段之前的移动段中的运动。在本发明的另一个实施方式中，提供了使用传送构件的基板传送方法，所述传送 构件具有多个加载有基板的传送臂，所述各个传送臂朝向地面，所述方法包括使所述传送 构件向收纳构件移动以加载或拾取所述收纳构件中的基板；使所述传送臂上下移动以位于 所述收纳构件中的目标点；以及，将设置在所述传送臂的上表面上的所述基板加载到所述 目标点上，或者拾取加载到所述目标点上的基板。传送臂的移动包括使所述传送臂从所述传送臂开始上下移动的起点向移动速度 达到预设基准速度的第一点加速；将从所述第一点至所述第二点的段划分为N个移动段 (这里N是至少为2的自然数)，以使所述传送臂根据各个移动段而以减速运动、加速运动 和勻速运动中的任一种运动移动；以及，使以所述基准速度移动的传送臂从所述第二点向 所述目标点减速，且所述传送臂在当前移动段中的运动不同于紧接当前移动段之前的移动 段中的运动。在本发明的又一个实施方式中，基板处理设备包括收纳构件、传送构件和控制单元。所述收纳构件沿上下方向配置多个基板以收纳所述基板。所述传送构件包括多 个传送臂，所述多个传送臂在上下方向上朝向彼此；臂驱动部件，所述臂驱动部件水平地移 动所述各个传送臂；上下移动部件，所述上下移动部件配置在所述臂驱动部件下方以改变 所述传送臂的上下位置，所述基板加载到各个传送臂上，所述传送构件从所述收纳构件取 出至少一个基板以及向所述收纳构件加载至少一个基板。所述控制单元调节所述上下移动 部件的移动速度直到所述传送臂上下移动而到达所述收纳构件中的目标点。所述控制单元将所述上下移动部件加速至预设基准速度，直至所述传送臂从起点 到达第一点；并且所述控制单元使以所述基准速度移动的所述上下移动部件减速，直至所 述传送臂从第二点到达所述目标点；并且当所述传送臂在所述第一点和所述第二点之间的 段内移动时，所述段被划分为N个移动段(这里，N是至少为2的自然数)，所述控制单元根 据所述各个移动段使所述上下移动部件以减速运动、加速运动和勻速运动中的任一种运动 沿上下方向移动。所述控制单元控制所述上下移动部件，以使所述上下移动部件在当前移动段中的 运动不同于在紧接所述当前移动段之前的移动段中的运动。有益效果
根据本发明，在所述传送构件达到基准速度时，根据各个移动段所述传送构件的 运动不同于先前段中的运动。由此，施加与先前移动段中的脉冲不同的脉冲到加载的基板。 因此，脉冲响应叠加消除了基板的残余振动，从而改进了传送构件的传送效率。


所包括的附图提供了对于本发明的进一步的理解，并且被整合在说明书中并构成 说明书的一部分。附图示出了本发明的示例性实施方式，并且与说明书一起用以说明本发 明的原则。在附图中图1是说明根据本发明的实施方式的基板处理系统的示意图；图2是说明图1中的索引机械手的立体图；图3是图1中说明的缓冲单元的立体图；图4是图1中说明的主传送机械手的立体图；图5是说明根据本发明的实施方式的通过脉冲响应叠加而被消除了残留振动的 曲线；图6是说明图1中示出的第一控制单元根据索引机械手的上下位置使用根据本发 明的实施方式的脉冲响应方法控制上下移动速度的过程的示意图；图7是说明根据图6中所示的各个段的、索引机械手的上下移动速度的曲线；图8至图15是说明由图1中所示的第一控制单元控制的索引机械手的上下移动 速度的变化的图。
具体实施例方式下面将参考附图更为详细地说明本发明的优选实施方式。但是，本发明可以以不 同的形式实现，并且不应认为局限于这里提出的实施方式。而是，提供这些实施方式以使本 公开透彻和完整，并且全面地向本领域技术人员传达本发明的范围。下文中，将结合

本发明的示例性实施方式。图1是说明根据本发明的实施方式的基板处理系统1000的示意图。图2是说明 图1中所示的索引机械手200的立体图。参考图1和图2，所述基板处理系统1000可以包括加载/卸载单元110、索引机 械手200、缓冲单元300、主传送机械手500、多个处理腔室600、和第一控制单元710与第二 控制单元720。加载/卸载单元110包括多个加载口 110a、110b、110c和110d。虽然本实施方式 中加载/卸载单元110包括四个加载口 110a、110b、1 IOc和110d，但根据基板处理系统1000 的处理效率和覆盖区状态(footprint conditions)，加载口 110a、110b、IlOc和IlOd的数 目可以增加或减少。前端统一开口的容器(FOUPs) 120a、120b、120c和120d被布置于加载口 110a、 IlObUlOc 和 IlOd 上。晶圆储存在 FOUPs 120a、120b、120c 和 120d。各个 FOUPs 120a、 120b、120c和120d设置有多个用于相对于地面水平地储存晶圆的槽。FOUPs 120a、120b、 120c和120d储存加载过和已经在处理腔室600中处理过的晶圆，或者储存将要在处理腔室 600中加载和处理的晶圆。下文中，为方便起见，已经由基板处理系统1000处理的晶圆称为处理晶圆(processed wafers)，而仍未处理的晶圆称为原始晶圆(primitive wafers)。索引机械手200布置在加载/卸载单元110和缓冲单元300之间，第一传送导轨 20布置在索引机械手200下方。索引机械手200沿第一传送导轨20移动并传送晶圆。索 引机械手200可以包括臂驱动部件210、索引臂部件220、多个连接部件230、转动部件M0、 上下移动部件250和水平移动部件沈0。特别地，臂驱动部件210水平地移动各个索引臂221、222、223和224。索引臂221、 222、223和224由臂驱动部件210单独驱动。臂驱动部件210的上部设置有索引臂部件220。索引臂221、222、223和2M在上 下方向上朝向彼此，并且每个索引臂221、222、223和2 上加载有晶圆。在本实施方式中， 索引机械手200设置有四个索引臂221、222、223和224，但索引臂221、222、223和2 的数 目可以根据基板处理系统1000的处理效率而增加。传送原始晶圆的索引臂221和222可以称为加载索引臂，传送处理晶圆的索引臂 223和2 可以称为卸载索引臂。在本示例中，加载索引臂221和222、和卸载索引臂223和 224单独布置，并且不交替布置。例如，卸载索引臂223和2 可以布置在加载索引臂221 和222上方。因此，在传送原始晶圆和处理晶圆时，索引机械手200防止处理晶圆被原始晶 圆污染，由此提高产品的产能(yield)。置于加载/卸载单元110上的加载索引臂221和222从等待的FOUPs 120a、120b、 120c和120d中的任一个中取出原始晶圆，然后将原始晶圆加载到缓冲单元300。索引机械 手200 —次从等待的F0UPsl20a、120b、120c和120d中取出至少一个原始晶圆。即，加载索 引臂221和222可以同时将原始晶圆插入到等待处理的FOUPs 120a、120b、120c和120d，然 后同时取出原始晶圆。由此，可以从等待处理的FOUPs 120a、120b、120c和120d中同时取 出两个原始晶圆。另外，索引机械手200加载至少一个原始晶圆至缓冲单元300。即，加载索引臂221 和222可以同时插入缓冲单元300，然后同时将索引臂221和222上的原始晶圆加载到缓冲 单元300。由此，可以同时将两个原始晶圆加载到缓冲单元300。例如，索引机械手200 —次从等待处理的FOUPs 120a、120b、120c和120d取出的 晶圆的最大数目及一次加载到缓冲单元300的晶圆的最大数目等于加载索引臂221和222 的数目。卸载索引臂223和2 从缓冲单元300卸载处理晶圆，并将处理晶圆加载到索引 机械手200。索引机械手200 —次从缓冲单元300卸载至少一个处理晶圆。即，卸载索引臂 223和2 可以同时插入缓冲单元300，然后同时从缓冲单元300卸载原始晶圆。由此，可 以从缓冲单元300同时取出两个原始晶圆。另外，索引机械手200再次一次加载至少一个处理晶圆至等待处理的FOUPs 120a、120b、120c和120d。即，卸载索引臂223和224同时插入等待处理的FOUPs 120a、 120b、120c和120d，然后同时将置于卸载索引臂223和2M上的处理晶圆加载到等待处理 的FOUPsl20a、120b、120c和120d。由此，两个处理晶圆被同时加载到等待处理的FOUPs 120a、120b、120c 和 120d。例如，索引机械手200 —次从缓冲单元300取出的晶圆的最大数目及一次加载到 FOUPs 120a、120b、120c和120d的晶圆的最大数目等于卸载索引臂223和224的数目。
这样，索引机械手200从FOUPs 120a、120b、120c和120d和缓冲单元300 —次取 出多个晶圆，并且一次向FOUPs 120a、120b、120c和120d和缓冲单元300加载多个晶圆，由 此减少了传送晶圆的时间，提高了生产率。索引机械手200连接到连接部件230。连接部件230联接到臂驱动部件210，以根 据臂驱动部件210的驱动而水平地移动所连接的索引臂221、222、223和224。转动部件240布置于臂驱动部件210下方。转动部件240联接到臂驱动部件210， 转动部件240转动以使臂驱动部件210转动。由此，索引臂部件220也转动。上下移动部件250布置在转动部件240下方，并且水平移动部件260布置在上下 移动部件250下方。上下移动部件250联接到转动部件MO以上下移动转动部件M0，由 此，调节臂驱动部件210和索引臂部件220的上下方向的位置。水平移动部件260联接到 第一传送导轨20并沿第一传送导轨20水平地移动。由此，索引机械手200沿加载口 110a、 IlObUlOc和IlOd的配置方向移动。缓冲单元300布置在索引机械手200所布置的区域及处理腔室600和主传送机械 手500所布置的区域之间。缓冲单元300接收索引机械手200所传送的原始晶圆和处理腔 室600中处理的晶圆。图3是图1中所示的缓冲单元300的立体图。参考图1和图3，缓冲单元300包括主体310、第一支撑部件320和第二支撑部件 330。特别地，主体310可以包括底面311、从底面311沿上下方向延伸的第一侧壁312 和第二侧壁313、以及联接到第一侧壁312和第二侧壁313的上端的顶面314。为接触晶圆，主体310具有朝向索引机械手200的开口前壁以及朝向主传送机械 手500的开口后壁。由此，方便索引机械手200和主传送机械手500将晶圆插入缓冲单元 300以及从缓冲单元300取出晶圆。第一侧壁312和第二侧壁313朝向彼此，顶面314被局部去除以具有开口 314a。第一支撑部件320和第二支撑部件330布置在主体310中。第一支撑部件320联 接到第一侧壁312，第二支撑部件330联接到第二侧壁313。各第一支撑部件320和第二支 撑部件330包括多个支撑部。第一支撑部件320的支撑部与第二支撑部件330的支撑部 一一对应。缓冲单元300接收晶圆，其中晶圆的端部由第一支撑部件320的支撑部和第二 支撑部件330的支撑部支撑，其中，所述晶圆朝向底面311。第一支撑部件320和第二支撑部件330的支撑部在上下方向上根据加载索引臂 221和222的数目(见图2)和卸载索引臂223和224的数目(见图2)彼此间隔开第一间 隙。加载索引臂221和222与卸载索引臂223和2M也各自间隔开第一间隙。由此，索引机 械手200 —次从缓冲单元300中取出多个晶圆并且一次加载多个晶圆到缓冲单元300中。 这里，第一间隙等于 FOUPs 120a、120b、120c 和 120d 的槽隙(slot gap)。第一支撑部件320和第二支撑部件330的各个支撑部可以设置有引导晶圆位置的 引导部31。引导部31从支撑部的顶面突出并支撑晶圆的侧面。如上所述，缓冲单元300的顺次布置的支撑部之间的间隙与同时拾取或加载晶圆 的索引臂221、222、223和2M之间的间隙相同。由此，索引机械手200 —次从缓冲单元300 取出多个晶圆并且一次加载多个晶圆到缓冲单元300，由此提高了可使用性、生产率并减少了加工时间。 主传送机械手500将布置在缓冲单元300中的原始晶圆传送到各个处理腔室600。 主传送机械手500布置于传送通道400处，并沿布置于传送通道400的第二传送导轨30移 动。传送通道400连接到处理腔室600。主传送机械手500从缓冲单元300拾取原始晶圆，然后沿第二传送导轨30移动并 将原始晶圆提供至相关的一个处理腔室600。另外，主传送机械手500将处理腔室600中处 理的晶圆加载到缓冲单元300。图4是图1中所示的主传送机械手500的立体图。参考图1和图4，主传送机械手500可以包括手驱动部510、拾取手部520、多个连 接部530、转动部M0、上下移动部550和水平移动部560。特别地，手驱动部510水平地移动各个拾取手521、522、523和524。各个拾取手 521、522、523和524由手驱动部510独立驱动。手驱动部510的上部设置有拾取手部520。拾取手521、522、523和5 在上下方 向上朝向彼此，晶圆被加载到各拾取手521、522、523和5 上。在本实施方式中，主传送机 械手500设置有四个拾取手521、522、523和524，但拾取手521、522、523和5 的数目可以 根据基板处理系统1000的处理效率而增加。传送原始晶圆的拾取手521和522可以称为加载拾取手，而传送处理后的晶圆的 拾取手523和5M可以称为卸载拾取手。在本示例中，加载拾取手521和522与卸载拾取 手523和5M独立布置，不交替布置。例如，卸载拾取手523和5M可以布置在加载拾取手 521和522上方。由此，在传送原始晶圆和处理晶圆时，主传送机械手500防止处理晶圆被 原始晶圆污染，由此提高了产品的产能。各个加载拾取手521和522从缓冲单元300中取出原始晶圆并将处理晶圆提供到 处理腔室600中的未使用的一个处理腔室600。加载拾取手521和522间隔开缓冲单元300 的各个支撑部的第一间隙。由此，加载拾取手521和522能够从缓冲单元300同时取出原 始晶圆。各个卸载拾取手523和5M从已经完成处理的处理腔室600取出处理晶圆，然后 将处理晶圆加载到缓冲单元300。卸载拾取手523和5M间隔开第一间隙。由此，卸载拾取 手523和5M能够同时将从处理腔室600取出的处理晶圆加载到缓冲单元300。在本实施 方式中，加载拾取手521和522的数目与卸载拾取手523和524的数目分别为两个，但所述 数目可以根据基板处理系统1000的处理效率而增加。例如，如下数目是相同的缓冲单元300中的间隔第一间隙的并且顺次地布置的 支撑部的数目、从缓冲单元300 —次取出晶圆或者一次将晶圆加载到缓冲单元300的索引 机械手200中的索引臂221、222、223和224的最大数目、从缓冲单元300 —次取出晶圆或 者将晶圆一次加载到缓冲单元300的主传送机械手500中的拾取手521、522、523和524的
最大数目。这样，主传送机械手500从缓冲单元300 —次取出多个原始晶圆或者一个原始晶 圆。另外，主传送机械手500 —次向缓冲单元300加载多个处理晶圆或一个处理晶圆。由 此，由于减少了晶圆的传送时间，基板处理系统1000能够减少处理时间，并提高生产率。拾取手521、522、523和5M连接到连接部530。联接到手驱动部510的连接部530根据手驱动部510的驱动而水平地移动所连接的拾取手521、522、523和524。转动部540布置在手驱动部510下方。转动部540联接到手驱动部510，并且转动 部540转动以使手驱动部510转动。由此，拾取手521、522、523和5 —起转动。上下移动部550布置在转动部540下方，水平移动部560布置在上下移动部550下 方。上下移动部550联接到转动部540并使转动部540上下移动，以调节手驱动部510和 拾取手部520的上下方向的位置。水平移动部560联接到第二传送导轨30并且沿第二传 送导轨30移动。由此，主传送机械手500在缓冲单元300和处理腔室600之间移动。布置有主传送机械手500的传送通道400的两侧设置有处理原始晶圆并形成处理 晶圆的各个处理腔室600。在处理腔室600中进行的处理包括清洁处理，用于清洁原始晶 圆。每两个处理腔室600朝向彼此，并且传送通道400布置在该两个处理腔室600之间。传 送通道400的两侧中的每侧布置三个处理腔室600。尽管在本实施方式中，基板处理系统1000包括6个处理腔室600，但根据基板处理 系统1000的处理效率和覆盖区状态可以增加或者减少处理腔室600的数目。另外，尽管在 本实施方式中处理腔室600以单层结构布置，但12个处理腔室可以划分为采用多层结构的 两个六处理腔室组。索引机械手200连接到第一控制单元710，主传送机械手500连接到第二控制单元 720。第一控制单元710控制索引机械手200的位置，第二控制单元720控制主传送机械手 500的位置。特别地，第一控制单元710控制索引机械手200的水平移动部件沈0以调节索引 机械手200在第一传送导轨20上的位置，即，调节索引机械手200的水平移动位置和索引 机械手200的水平移动速度。第一控制单元710控制索引机械手200的转动部件MO以调 节索引臂部件220的转动位置和转动速度，并控制索引机械手200的上下移动部件250以 调节索引臂部件220的上下移动位置和上下移动速度。尤其，当调节上下移动部件250的上下移动速度时，使用脉冲响应叠加法的第一 控制单元710减小了由于上下移动而产生的晶圆的振动和噪声。这里，脉冲响应叠加法的 脉冲响应是在将脉冲输入施加到任意目标时的输出。特别地，当带有加载的晶圆的索引臂221、222、223和224(参考图2)上下移动时， 第一控制单元710调节索引机械手200的移动速度以施加新的脉冲至布置在索引臂221、 222、223和2 上的晶圆。由此，由于当前脉冲而产生的脉冲响应叠加到由于新的脉冲而产 生的脉冲响应上，由此减小了施加到索引臂221、222、223和2M上的晶圆的振动。图5是示出根据本发明的实施方式的通过脉冲响应叠加消除了的残留振动的曲 线。参考图5，第一脉冲产生的脉冲响应IRl叠加到第二脉冲产生的脉冲响应顶2，脉 冲响应IRl和脉冲响应IR2叠加处的叠加响应CR等于零。即，当从不同的时间点处输入的 脉冲响应IRl和脉冲响应IR2彼此叠加时，消除了脉冲响应IRl和脉冲响应顶2。图6是说明了如下处理其中，图1中所示的第一控制单元710使用根据本发明的 实施方式的脉冲响应法根据索引机械手200的上下位置控制上下移动速度。图7是示出索 引机械手200在图6中所示的各段中的上下移动速度。参考图1、图6和图7，当索引机械手200上下移动时，第一控制单元710根据加载索引臂221的上下移动位置控制加载索引臂221的速度。S卩，当索引臂221从拾取晶圆的 拾取点OP向加载晶圆的放置点IP移动时，或者当索引臂221从放置点IP向拾取点OP移 动时，第一控制单元710将拾取点OP和放置点IP之间的段识别为四个段。特别地，当中间 点MP在拾取点OP和放置点IP之间的中间时，放置点IP与中间点MP之间的中间部被设定 为第一修改点M1，并且拾取点OP与中间点MP之间的中间部被设定为第二修改点M2。参考 图6，第一修改点Ml与第二修改点M2之间的段称为修改段MD。第一控制单元710基于各个点OP、IP、MP、M1、M2控制索引机械手200的上下移动 速度。即，在相关技术中(in the related art)，当索引机械手200被垂直加速而达到预设 最大速度时，索引机械手200以最大速度勻速运动，然后索引机械手200减速靠近目标点。 但是，在相关技术中，第一控制单元710在索引机械手200以最大速度勻速运动的段中改变 速度，由此施加新的脉冲至晶圆。下文中，将详细说明当索引机械手200从拾取点OP向放置点IP移动时，索引机械 手200的移动速度通过第一控制单元710而变化的情况。特别地，索引机械手200的上下移动部件250(参考图2、如下移动使索引臂221 以预设加速度从拾取点OP向第二修改点M2移动，并且当索引臂221达到预设最大速度VM 时，索引臂221以该最大速度VM勻速运动。拾取点OP是索引机械手200开始上下移动的 起点ST。当索引臂221到达第二修改点M2时，第一控制单元710改变索引机械手200的上 下移动速度以开始用于脉冲响应叠加的修改运动。这里，第二修改点M2是修改运动的起点 MTl0当索引机械手200从放置点IP向拾取点OP移动时，第二修改点M2是修改运动的终点。当开始修改运动时，索引机械手200的上下移动部件250从最大速度VM向预设最 小速度VS减速，然后以预设最小速度VS勻速运动预定的时间。然后，当索引臂221通过中间点MP并到达第一修改点Ml时，上下移动部件250被 再次加速到VM。这里，第一修改点Ml是修改运动的终点。当索引机械手200从放置点IP 向拾取点OP移动时，第一修改点Ml是修改运动的起点。接着，上下移动部件250以最大速度VM勻速运动，直到索引臂221接近放置点IP。 图7中的附图标记MM表示修改运动段。这样，当索引机械手200上下移动时，在索引机械手200的索引臂221在第一修改 点Ml和第二修改点M2之间即在修改段MD中移动时，第一控制单元710周期性地改变索引 机械手200的上下移动速度。即，当索引臂221在修改段MD中移动时，索引臂221根据预 设的移动段而处于加速运动、减速运动和勻速运动中的一种运动，当前段中的运动不同于 先前段中的运动。例如，当索引臂221在先前段中加速时，则索引臂221在当前段中被减速 或处于勻速运动。这样，当索引臂221的运动类型根据所述段而变化时，施加到索引臂221上的晶圆 的脉冲也根据所述段而变化，由此消除了晶圆的振动。因此，基板处理系统1000能够使索 引机械手200以最大速度移动，而不用考虑晶圆的振动，由此减少了传送基板的时间，并提
高了生产率。在本实施方式中，当索引机械手200从放置点IP向拾取点OP移动时，由于索引机械手200的移动速度由于第一控制单元710而产生的变化，与索引机械手200从拾取点OP 向放置点IP移动时的变化相同，将略去对它的详细说明。再参考图1和图4，第二控制单元720控制主传送机械手500的水平移动部560， 以调节主传送机械手500在第二传送导轨30上的位置，即，调节主传送机械手500的水平 移动位置和主传送机械手500的水平移动速度。第二控制单元720控制主传送机械手500 的转动部讨0，以调节拾取手521、522、523和524的转动位置和转动速度，并控制主传送机 械手500的上下移动部550，以调节拾取手521、522、523和5 的上下移动位置和上下移动 速度。尤其，当调节主传送机械手500的上下移动部550的上下移动速度时，使用脉冲响 应叠加法的第二控制单元720减小由于上下移动而产生的晶圆的振动和噪声。另外，由于本实施方式中，第二控制单元720调节主传送机械手500的上下移动速 度以消除放置在拾取手521、522、523和5M上的晶圆的振动的处理，与第一控制单元710 消除放置在索引臂221上的晶圆的振动的处理相同，将略去对它的详细说明。图8至图15是说明由图1中所示的第一控制单元710控制的索引机械手200的 上下移动速度的变化的图。参考图6及图8至图15，在进行修改运动的修改运动段匪中，第一控制单元 710(参考图1)减小或增大索引机械手200的上下移动速度，以周期性地改变索引机械手 200的上下移动速度。即，在索引机械手200的索引臂221从放置点IP向拾取点OP移动或 者从拾取点OP向放置点IP移动的情况中，当索引臂221到达修改段MD时，第一控制单元 710开始索引机械手200的修改运动。图8至图15中示出的修改运动段MM示出了当索引 臂221在修改段MD中移动时所产生的移动速度变化。参考图8至图15，索引臂221在到达修改段MD之前达到预设基准速度，并且被加 速直到达到基准速度。之后，当索引臂221到达修改段MD时，当索引臂221在修改段MD中 移动的同时，索引臂221根据预设段而处于加速运动、减速运动和勻速运动中的任一种运 动，其中，当前段中的运动不同于先前段中的运动。基准速度是图8至图15中的最大速度， 其中不包括图10。这样，由于索引臂221所处的运动不同于先前段中的运动，与先前段中不 同的脉冲被施加到加载在索引机械手200上的晶圆。因此，加载到索引机械手200上的晶 圆的振动通过脉冲响应叠加而被消除。上述的主题认为是说明性的，而不是限制性，并且所附权利要求书意图覆盖本发 明的精神和范围内的全部修改例、改进例和其它实施方式。由此，根据法律的最大范围的许 可，本发明的范围由对于权利要求书及其等效文本的最为宽泛的可允许的阐释来确定，并 且不受先前的详细说明的限制或者局限。
权利要求
1.一种调节传送构件的移动速度的方法，所述传送构件具有多个加载有基板的传送 臂，各个传送臂朝向地面，所述方法包括使所述传送臂从所述传送臂开始上下移动的起点向所述移动速度达到预设基准速度 的第一点加速；使以所述基准速度移动的传送臂从第二点向目标点逐渐减速；和将从所述第一点至所述第二点的段划分为N个移动段(这里N是至少为2的自然数)， 以使所述传送臂根据各个移动段而以减速运动、加速运动和勻速运动中的任一种运动移 动，其中，所述传送臂在当前移动段中的运动不同于紧接当前移动段之前的移动段中的运动。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述传送臂在至少一个移动段中为加速 运动，并且在至少一个移动段中为减速运动。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述传送臂在顺次设置的三个移动段的 中间移动段中为勻速运动，并且所述传送臂在紧接所述中间移动段之前的和紧接所述中间 移动段之后的移动段中为加速运动或减速运动。
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述传送臂在第一移动段和最后移动段 中以所述基准速度勻速运动。
5.一种使用传送构件的基板传送方法，所述传送构件具有多个加载有基板的传送臂， 所述各个传送臂朝向地面，所述方法包括使所述传送构件向收纳构件移动以加载或拾取所述收纳构件中的基板；使所述传送臂上下移动以位于所述收纳构件中的目标点；和将布置在所述传送臂的上表面上的所述基板加载到所述目标点上，或者拾取加载到所 述目标点上的基板，其中，所述传送臂的移动包括使所述传送臂从所述传送臂开始上下移动的起点向移动速度达到预设基准速度的第 一点加速；将从所述第一点至所述第二点的段划分为N个移动段(这里N是至少为2的自然数)， 以使所述传送臂根据各个移动段而以减速运动、加速运动和勻速运动中的任一种运动移 动；和使以所述基准速度移动的传送臂从所述第二点向所述目标点减速，和传送臂在当前移动段中的运动不同于紧接当前移动段之前的移动段中的运动。
6.根据权利要求5所述的基板传送方法，其特征在于，所述传送臂在至少一个移动段 中为加速运动，并且在至少一个移动段中为减速运动。
7.根据权利要求6所述的基板传送方法，其特征在于，所述传送臂在顺次设置的三个 移动段的中间移动段中为勻速运动，并且所述传送臂在紧接所述中间移动段之前的和紧接所述中间移动段之后的移动段中为 加速运动或减速运动。
8.根据权利要求7所述的基板传送方法，其特征在于，所述传送臂在第一移动段和最 后移动段中以所述基准速度勻速运动。
9.根据权利要求8所述的基板传送方法，其特征在于，当所述起点和所述目标点之间 的段被划分为四个段时，所述第一点是所述四个段中的第一段和第二段之间的分界，并且 所述第二点是所述四个段中的第三段和第四段之间的分界。
10.一种基板处理设备，包括收纳构件，所述收纳构件沿上下方向配置多个基板以收纳所述基板； 传送构件，所述传送构件包括多个传送臂，所述多个传送臂在上下方向上朝向彼此； 臂驱动部件，所述臂驱动部件水平地移动所述各个传送臂；上下移动部件，所述上下移动部 件配置在所述臂驱动部件下方以改变所述传送臂的上下位置，所述基板加载到各个传送臂 上，所述传送构件从所述收纳构件取出至少一个基板以及向所述收纳构件加载至少一个基 板；和控制单元，所述控制单元调节所述上下移动部件的移动速度直到所述传送臂上下移动 而到达所述收纳构件中的目标点，其中，所述控制单元将所述上下移动部件加速至预设基准速度，直至所述传送臂从起 点到达第一点；并且所述控制单元使以所述基准速度移动的所述上下移动部件减速，直至 所述传送臂从第二点到达所述目标点；并且当所述传送臂在所述第一点和所述第二点之间 的段内移动时，所述段被划分为N个移动段(这里，N是至少为二的自然数)，所述控制单元 根据所述各个移动段使所述上下移动部件以减速运动、加速运动和勻速运动中的任一种运 动沿上下方向移动，和所述控制单元控制所述上下移动部件，使所述上下移动部件在当前移动段中的运动不 同于在紧接所述当前移动段之前的移动段中的运动。
11.根据权利要求10所述的基板处理设备，其中在调节所述上下移动部件的移动速 度时，所述控制单元在所述移动段中的至少一个移动段中控制所述上下移动部件为加速运 动，并且在所述移动段中的至少一个移动段中控制所述上下移动部件为减速运动。
12.—种基板处理设备，包括收纳容器，所述收纳容器沿上下方向隔开待处理或处理后的基板以收纳所述基板； 缓冲单元，所述缓冲单元沿上下方向隔开待处理或处理后的基板以收纳所述基板； 索引机械手，所述索引机械手包括多个索引臂，所述多个索引臂在上下方向上朝向彼 此；臂驱动部件，所述臂驱动部件水平地移动所述各个索引臂；第一上下移动部件，所述第 一上下移动部件配置在所述臂驱动部件下方以改变所述索引臂的上下位置，所述基板加载 到各个索引臂上，所述索引机械手从所述收纳容器或所述缓冲单元取出至少一个基板以及 向所述收纳容器或所述缓冲单元加载至少一个基板；和第一控制单元，所述第一控制单元调节所述第一上下移动部件的移动速度直到所述索 引臂上下移动而到达所述收纳容器或所述缓冲单元中的目标点，其中，所述第一控制单元将所述第一上下移动部件加速至预设第一基准速度，直至所 述索引臂从起点到达第一点；并且所述第一控制单元使以所述第一基准速度移动的所述第 一上下移动部件减速，直至所述索引臂从第二点到达所述目标点；并且当所述传送臂在所 述第一点和所述第二点之间的段内移动时，所述段被划分为N个臂移动段(这里，N是至少 为2的自然数)，所述第一控制单元根据所述各个臂移动段使所述第一上下移动部件以减 速运动、加速运动和勻速运动中的任一种运动沿上下方向移动，和所述第一控制单元控制所述第一上下移动部件，使所述第一上下移动部件在当前臂移 动段中的运动不同于在紧接所述当前臂移动段之前的臂移动段中的运动。
13.根据权利要求12所述的基板处理设备，还包括 处理腔室，所述基板在所述处理腔室中被处理； 收纳构件，所述收纳构件沿上下方向配置多个基板以收纳所述基板； 传送构件，所述传送构件包括多个拾取手，所述多个拾取手在上下方向上朝向彼此； 手驱动部件，所述手驱动部件水平地移动所述各个拾取手；第二上下移动部件，所述第二上 下移动部件配置在所述手驱动部件下方以改变所述拾取手的上下位置，所述基板加载到各 个拾取手上，所述传送构件从所述收纳构件取出至少一个基板以及向所述收纳构件加载至 少一个基板；和第二控制单元，所述第二控制单元调节所述第二上下移动部件的移动速度直到所述拾 取手上下移动而到达所述缓冲单元中的目标点，其中，所述第二控制单元将所述第二上下移动部件加速至预设第二基准速度，直至所 述拾取手从起点到达第三点；并且所述第二控制单元使以所述第二基准速度移动的所述第 二上下移动部件减速，直至所述拾取手从第四点到达所述目标点；并且当所述拾取手在所 述第三点和所述第四点之间的段内移动时，所述段被划分为M个手移动段(这里，M是至少 为2的自然数)，所述第二控制单元根据所述各个手移动段使所述第二上下移动部件以减 速运动、加速运动和勻速运动中的任一种运动沿上下方向移动，和所述第二控制单元控制所述第二上下移动部件，使所述第二上下移动部件在当前手移 动段中的运动不同于在紧接所述当前手移动段之前的手移动段中的运动。
全文摘要
一种调节传送构件中的传送臂的速度的方法。所述方法包括使传送臂从起点向移动速度达到预设基准速度的第一点加速；将从第一点至第二点的段划分为多个移动段，使传送臂根据各个移动段而以减速运动、加速运动和匀速运动中的任一种运动移动；以及，使传送臂从第二点向目标点减速。传送臂在当前移动段中的运动不同于紧接当前移动段之前的移动段中的运动。由此，施加与先前移动段中的脉冲不同的脉冲到加载在传送臂上的基板。因此，脉冲响应叠加消除了基板的残留振动，从而改进了传送构件的传送效率。
文档编号H01L21/687GK102138209SQ200980133896
公开日2011年7月27日 申请日期2009年4月6日 优先权日2008年8月28日
发明者全相垠, 洪光珍 申请人:细美事有限公司