专利名称：真空传输制程设备及方法
技术领域：
本发明涉及真空制程技术，特别是涉及一种真空传输制程设备以及相应的真空传输制程方法。
背景技术：
新能源是二十一世纪世界经济发展中最具决定力的五大技术领域之一，太阳能便是一种清洁、高效、永不衰竭的新能源。在新世纪中，各国政府都将太阳能资源利用作为国家可持续发展战略的重要内容，光伏发电具有安全可靠、无噪声、无污染、制约少、故障率低、维护简便等诸多优点。近几年来，国际光伏发电产业迅猛发展，太阳能晶片供不应求，于是提高太阳能晶片的光电转化效率和太阳能晶片的生产能力已经成为一个重要的课题。由于太阳能晶片的许多制程都需要在真空条件下完成，所以如何减少太阳能晶片进出真空的时间，以及有效利用太阳能晶片在真空中的制程时间对提高太阳能晶片制造设备的生产效率而言至关重要。现有的许多太阳能晶片制造方法都具有较高的生产效率，例如美国专利20080038908所提到的方法，但是基于该方法的设计原理，其生产效率仍然会受到一些天然的限制，诸如，当不同批次的工件进出真空环境时，或是在真空环境中从已加工工件切换至下批次待加工工件时，对工件的加工制程都不得不发生中断，在该中断时间段内，整个设备完全处于无效运行状态，即浪费了加工资源，又浪费了加工时间。由此可以看出，该专利所公开的该生产设备自然不可能实现最佳的生产效率。而除了该专利所公开的该设备及方法以外，在现有的各种其它真空制程方法中也未见能够获得最佳生产效率的模式。
发明内容
本发明要解决的技术问题是为了克服现有技术中的真空制程方法生产效率较低的缺陷，提供一种生产效率极高并且加工质量较高、设备结构较为紧凑、机械设计难度较低、设备运行可靠性较高的真空传输制程设备以及相应的真空传输制程方法。本发明是通过下述技术方案来解决上述技术问题的一种真空传输制程设备，其包括一真空制程腔，该真空制程腔中设有至少一加工装置，所述加工装置具有一加工区域并用于对通过该加工区域的工件进行加工，其特点在于，该真空制程腔的两端分别设有一个或两个进出件腔，该些进出件腔可以在大气状态与真空状态之间切换，每个进出件腔均通过真空阀门与该真空制程腔相连并通过真空阀门隔断大气环境；每个进出件腔均对应有一传输平台，各传输平台的移动平面相同，并且分别相应于该真空制程腔两端的进出件腔的传输平台交替动作，每个传输平台均用于在相应进出件腔中装载工件，然后移入该真空制程腔，然后初次移动通过该加工区域完成对全部工件的半加工，然后反向再次移动通过该加工区域完成对全部工件的完全加工，然后移回相应进出件腔卸载工件；各进出件腔与该真空制程腔的相对位置使得各传输平台从相应进出件腔移入该真空制程腔以及从该真空制程腔移回相应进出件腔的移动方向与各传输平台在该真空制程腔中的移动方向垂直。
较佳地，该真空制程腔两端分别设有一个所述的进出件腔。较佳地，在各传输平台初次移动通过该加工区域的过程中，所述加工装置依次完成对该传输平台上一侧工件的完全加工，在各传输平台反向再次移动通过该加工区域的过程中，所述加工装置依次完成对该传输平台上另一侧工件的完全加工。较佳地，在各传输平台初次移动通过该加工区域的过程中，所述加工装置依次完成对该传输平台上全部工件的初步加工，在各传输平台反向再次移动通过该加工区域的过程中，所述加工装置依次完成对该传输平台上全部工件的完全加工。较佳地，各传输平台从相应进出件腔移入该真空制程腔以及从该真空制程腔移回相应进出件腔的移动速度大于该传输平台在该真空制程腔中的移动速度。较佳地，所述工件为太阳能晶片，所述加工装置为离子束加工装置、等离子体加工装置、热处理装置或退火装置。本发明的另一技术方案为一种利用上述真空传输制程设备实现的真空传输制程方法，其特点在于，在该方法中，分别相应于该真空制程腔两端的进出件腔的传输平台交替动作，各传输平台的动作为在相应进出件腔中装载工件，然后移入该真空制程腔，然后初次移动通过该加工区域完成对全部工件的半加工，然后反向再次移动通过该加工区域完成对全部工件的完全加工，然后移回相应进出件腔卸载工件；在前一个传输平台从该真空制程腔移回相应进出件腔的同时，后一个传输平台从相应进出件腔移入该真空制程腔；在一个传输平台在该真空制程腔中移动的同时，其余所有进出件腔均处于充气至大气状态、取出已加工工件、放入待加工工件、抽气至真空状态的过程中或是过程结束后的等待状态。较佳地，每当一个移动于该真空制程腔中的传输平台上的全部工件完成完全加工时，其余所有进出件腔中总有至少一个已经处于充气至大气状态、取出已加工工件、放入待加工工件、抽气至真空状态的过程结束后的等待状态。较佳地，在各传输平台初次移动通过该加工区域的过程中，所述加工装置依次完成对该传输平台上一侧工件的完全加工，在各传输平台反向再次移动通过该加工区域的过程中，所述加工装置依次完成对该传输平台上另一侧工件的完全加工。较佳地，在各传输平台初次移动通过该加工区域的过程中，所述加工装置依次完成对该传输平台上全部工件的初步加工，在各传输平台反向再次移动通过该加工区域的过程中，所述加工装置依次完成对该传输平台上全部工件的完全加工。较佳地，各传输平台从相应进出件腔移入该真空制程腔以及从该真空制程腔移回相应进出件腔的移动速度大于该传输平台在该真空制程腔中的移动速度。本发明的积极进步效果在于在本发明的该真空传输制程设备及方法中，分别相应于真空制程腔两端的进出件腔的传输平台交替动作，较佳地相继动作的前后两个传输平台上的工件的加工制程相互连贯衔接，从而能够实现极高的生产效率。另外，在本发明中各传输平台的移动平面相同，这也就意味着各传输平台上的全部工件均将在同一个平面上接受加工装置的加工，由此将消除因各工件在不同的平面上接受加工而导致的不同工件之间加工强度不同以及加工均勻性较差的问题，从而获得较高的加工质量。另外，在本发明中对各进出件腔与真空制程腔的相对位置进行了改进设计，摈弃了以往传输平台在相应进出件腔与真空制程腔之间做路程较长的直线运动的移动模式，取而代之地使各传输平台从相应进出件腔移入真空制程腔以及从真空制程腔移回相应进出件腔的移动方向与该传输平台在真空制程腔中的移动方向相互垂直，由此使得整个设备的结构更加紧凑，占用空间更小。 另外，由于各传输平台无需再在相应进出件腔与真空制程腔之间做路程较长的直线往复运动，因此这也将使得整个设备的机械设计更加容易实现。进一步地，当进出件腔的设计数量多于两个时，便可以将各传输平台的移动速度设计得更慢，从而降低机械设计难度，并且使得机械设计方式更加灵活，此外，多于两个的进出件腔还将提高整个设备的运行可靠性和稳定性。
图1为本发明的该真空传输制程设备的实施图2为本发明的该真空传输制程设备的实施图3为本发明的该真空传输制程设备的实施图4为本发明的该真空传输制程设备的实施图5为本发明的该真空传输制程设备的实施图6为本发明的该真空传输制程设备的实施图7为本发明的该真空传输制程设备的实施
的侧视透视图。 的第一运行状态俯视图。 的第二运行状态俯视图。 的第三运行状态俯视图。 的第四运行状态俯视图。 的第五运行状态俯视图。 的俯视图。
具体实施例方式下面结合附图给出本发明较佳实施例，以详细说明本发明的技术方案。参考图1、图2和图7，本发明的该真空传输制程设备首先包括有一真空制程腔1， 该真空制程腔1中设有至少一个加工装置2，每个加工装置2均具有一加工区域，当工件通过该加工区域时便会受到该加工装置2的加工。在本发明的全部附图中均仅示意性地绘出了一个上述的加工装置2，并且以区域A来表示该加工装置2的加工区域。本发明对工件的种类不做限制，例如可以为太阳能晶片。本发明对加工装置的种类也不做限制，例如可以为利用离子束或等离子体对工件进行加工的装置，也可以为热处理装置或者退火装置等等。该真空制程腔1的两端(即全部附图中的该真空制程腔1的左右两端)分别设有一个或两个进出件腔，图1-6所示的即为该真空制程腔1的两端各设有一个进出件腔(即进出件腔3a和3b)的情况，而图7所示的即为该真空制程腔1的两端各设有两个进出件腔 (即进出件腔3a、3b、3c和3d)的情况。该些进出件腔均可以采用体积相较于该真空制程腔 1较小的真空盒实现，它们均能够迅速地从大气状态抽气至所需的真空状态，或是迅速地从真空状态充气至大气状态。每个进出件腔均具有两个真空阀门4，一个真空阀门用于连通进出件腔与该真空制程腔1 (下文中称为真空侧阀门)，而另一个真空阀门则用于隔断外界的大气环境(下文中称为大气侧阀门)。工件能够通过该些进出件腔在大气环境与该真空制程腔1之间快速传递，而不影响该真空制程腔1原本的真空状态。每个进出件腔均对应有一用于承载工件6的传输平台，例如图1-6中的传输平台 5a和5b，以及图7中的传输平台5a、5b、5c和5d。分别相应于该真空制程腔1的左右两端的进出件腔的传输平台交替动作，每个传输平台的动作过程均为在相应进出件腔中装载待加工工件，然后沿着图2-7中的方向C移入该真空制程腔1，然后沿着图1-7中的方向B 初次移动通过该加工区域A完成对其上承载的全部工件的半加工，然后反向再次移动通过该加工区域A完成对其上承载的全部工件的完全加工，最后沿着图2-7中的方向C从该真空制程腔1移回相应进出件腔卸载已加工工件。其中，为了确保由同一个或不同传输平台承载的全部工件均能够获得相同的加工强度，并且实现极高的加工均勻性，在本发明中各传输平台的移动平面相同(均在图2-7的纸面维度内)，但是由于该加工区域A的限制，在每一时刻仅允许一个传输平台在该真空制程腔1中移动并进行其上工件的加工制程。为了使得整个设备的结构紧凑，本发明对各进出件腔与该真空制程腔1之间的相对位置进行了改进设计，以使得各传输平台从相应进出件腔移入该真空制程腔1以及从该真空制程腔1移回相应进出件腔的移动方向(图2-7中的方向C)与该传输平台在该真空制程腔1中的移动方向(图1-7中的方向B)相互垂直。由此，本发明中的各传输平台的移动轨迹将不再像现有技术中那样呈一条很长的直线，而是由两段相互垂直的轨迹连接而成， 这不但能够大幅地降低整个设备所占用的空间，还将使得各传输平台的机械设计更加容易实现。下面将对上文中提到的对全部工件的“半加工”以及“完全加工”进行详细解释。 此处所谓的“完全加工”指的是工件彻底加工完毕的状态，而“半加工”则分为两种不同的模式，在第一种模式中指的是将一传输平台上承载的一半数量的工件彻底加工完毕，在第二种模式中指的是对一传输平台上承载的全部工件进行初步加工，以使各工件所接受到的加工强度达到理想加工强度的一半程度。上述第一种模式的实现方式如下首先，各传输平台上的全部工件分两侧排列，其次，对该加工装置2的加工强度以及各传输平台的移动速度进行合适的设定，以使得工件只需随着传输平台的移动通过该加工区域A—次，便恰好能够接受到理想的加工强度，从而获得彻底加工。在实际运行中，在一传输平台从相应进出件腔移入该真空制程腔1之后、 在该传输平台开始在该真空制程腔1中移动之前，对该加工装置2的该加工区域A的位置进行合适的调节，以使得在该传输平台初次移动通过该加工区域A的过程中，该传输平台上一侧的工件将会依次地通过该加工区域A，从而实现完全加工；此后，使该加工区域A相对于该传输平台在与该传输平台的移动方向相垂直的方向上发生一相对移位，以使得在该传输平台反向再次移动通过该加工区域A的过程中，该传输平台上另一侧的工件将会依次地通过该加工区域A，从而实现完全加工，至此便实现了对该传输平台上全部工件的完全加工。其中，该加工区域A相对于该传输平台发生的该相对移位可以通过各种现有技术手段实现，例如利用一驱动机构使该加工装置2相对于该传输平台发生一相对移位，或，利用一驱动机构使该传输平台相对于该加工装置2发生一相对移位，或，调节该加工装置2的工作参数，以使其形成的该加工区域A相对于该传输平台发生一相对移位，上述各技术手段的具体实现在此不做赘述。上述第二种模式的实现方式如下首先，对该加工装置2的加工强度以及各传输平台的移动速度进行合适的设定，以使得工件需要随着传输平台的移动通过该加工区域A 两次，才能够恰好接受到理想的加工强度，从而获得彻底加工，其次，对该加工装置2的该加工区域A的位置进行合适的调节，以使得其能够在与各传输平台的移动方向相垂直的方向上覆盖整个传输平台。在实际运行中，在一传输平台初次移动通过该加工区域A的过程中，该传输平台上的全部工件将会依次地第一次通过该加工区域A，从而获得一半程度的初步加工，在该传输平台反向再次移动通过该加工区域A的过程中，该传输平台上的全部工件将会依次地第二次通过该加工区域A，从而实现完全加工，至此便实现了对该传输平台上全部工件的完全加工。下面将参考图2-6，对本发明的实施例1进行说明，在该实施例中该真空制程腔1 的两端分别设有进出件腔3a和3b。需要注意的是，图2-6中并未严格地绘出该加工区域A 与各传输平台之间的相对位置关系，此外图中的虚线框所示为各传输平台在该真空制程腔 1中的移动轨迹。步骤100，如图2所示，进出件腔3a、3b的大气侧阀门均打开，并向传输平台5a、5b 上装载待加工工件。步骤101，如图2所示，进出件腔3a、3b的大气侧阀门均关闭，然后进出件腔3a、3b 开始抽真空。步骤102，如图2所示，进出件腔3a、3b达到所需的真空状态，然后将它们的真空侧阀门均打开；与此同时，将加工装置2调试完毕，使其处于待机状态。步骤103，如图3所示，传输平台5a承载着待加工工件从进出件腔3a移入真空制程腔1。步骤104，如图4所示，传输平台5a沿着图中从左至右的方向在真空制程腔1中移动并第一次通过加工区域A，从而完成对其上全部工件的半加工。步骤105，如图4所示，在传输平台5a已经完成了第一次通过加工区域A的过程之后，其沿着图中从右至左的方向开始移回并第二次通过加工区域A，从而完成对其上全部工件的完全加工。步骤106，如图5所示，在传输平台5a承载着已加工工件完全离开加工区域A之后，传输平台5a从真空制程腔1移回进出件腔3a ；与此同时，传输平台5b则承载着待加工工件从进出件腔3b移入真空制程腔1。步骤107，如图6所示，传输平台5b沿着图中从右至左的方向在真空制程腔1中移动并第一次通过加工区域A，从而完成对其上全部工件的半加工；与此同时，进出件腔3a的真空侧阀门关闭，充气至大气状态后打开其大气侧阀门，接着从传输平台5a上卸载已加工工件，继而向其上装载下批次的待加工工件，然后进出件腔3a的大气侧阀门关闭，并开始抽气。步骤108，如图6所示，在传输平台5b已经完成了第一次通过加工区域A的过程之后，其沿着图中从左至右的方向开始移回并第二次通过加工区域A，从而完成对其上全部工件的完全加工；与此同时，进出件腔3a达到所需的真空状态，并打开其真空侧阀门。步骤109，如图3所示，在传输平台5b承载着已加工工件完全离开加工区域A之后，传输平台5b从真空制程腔1移回进出件腔3b ；与此同时，传输平台5a则承载着待加工工件从进出件腔3a移入真空制程腔1。步骤110，如图4所示，传输平台5a沿着图中从左至右的方向在真空制程腔1中移动并第一次通过加工区域A，从而完成对其上全部工件的半加工；与此同时，进出件腔3b的真空侧阀门关闭，充气至大气状态后打开其大气侧阀门，接着从传输平台5b上卸载已加工工件，继而向其上装载下批次的待加工工件，然后进出件腔3b的大气侧阀门关闭，并开始抽气。步骤111，如图4所示，在传输平台5a已经完成了第一次通过加工区域A的过程之后，其沿着图中从右至左的方向开始移回并第二次通过加工区域A，从而完成对其上全部工件的完全加工；与此同时，进出件腔3b达到所需的真空状态，并打开其真空侧阀门。步骤112，重复执行步骤106-111，直至全部批次的工件均加工完毕。其中，为了进一步提高该真空传输制程设备的运行效率，相对于各传输平台在该真空制程腔1中的移动速度而言，它们从相应进出件腔移入该真空制程腔1以及从该真空制程腔1移回相应进出件腔的过程均可以加速进行。当该真空制程腔1的其中一端处设置了两个上述的进出件腔时，或是如图7的实施例2所示地，当该真空制程腔1的两端处均设置了两个上述的进出件腔时，本发明的该真空传输制程方法的实现方式与实施例1完全类似。即，当一个传输平台承载着工件在该真空制程腔1中移动，以便两次通过该加工区域A完成对其上全部工件的完全加工时，其余所有的进出件腔则均处于充气至大气状态、从相应传输平台上取出已加工工件、向相应传输平台上放入下批次待加工工件、抽气至真空状态的过程中或是过程结束后的等待状态；而对于相继动作的前后两个传输平台而言，在前一个传输平台从该真空制程腔1移回相应进出件腔的同时，后一个传输平台则从相应进出件腔移入该真空制程腔1。为了减少甚至消除相继动作的前后两个传输平台上的工件分别接受到该加工装置2的实际加工制程之间的无效等待时间，可以对各传输平台从相应进出件腔移入该真空制程腔1以及从该真空制程腔1移回相应进出件腔的速度、各进出件腔的充气以及抽气速度、每批次工件的数量、各传输平台上的工件的装载以及卸载速度、每个工件的加工速度等各方面参数进行合适的设定，使得每当一个移动于该真空制程腔1中的传输平台上的全部工件完成完全加工时，其余所有进出件腔中便总有至少一个进出件腔已经处于充气至大气状态、取出已加工工件、放入待加工工件、抽气至真空状态的过程结束后的等待状态，这样一来，该已经处于等待状态的传输平台便可以立即开始从相应进出件腔移入该真空制程腔 1，从而开始执行对其上承载的待加工工件的加工制程，提高生产效率。基于上述原理，当整个真空传输制程设备中设计有较多的进出件腔时，例如设有三个或四个时，同样以实现相继动作的前后两个传输平台的连贯衔接作业为目的，各传输平台的设计移动速度便可以相对于进出件腔的数量较少的情况而言更加缓慢，这将极大地降低各传输平台的机械设计难度，并提高机械设计的灵活度，从而最终提高整个真空传输制程设备的运行可靠性和稳定性。另外，在某一个进出件腔的运作出现机械故障时，在进出件腔的设计数量较多的情况下，整个真空传输制程设备将仍然能够依靠其余几个进出件腔维持正常运转，从而进一步地提高该真空传输制程设备的运行可靠性。以上仅对设计有一个加工装置的情况进行了详细描述，当加工装置的数量多于一个时，本发明的实现方式将与上文完全类似，唯一的不同就是各传输平台需要承载着工件依次地通过各加工装置的加工区域两次才能够完成其上全部工件的完全加工，在此对这些情况均不做赘述。综上所述，本发明能够实现极高的生产效率，能够消除因各工件在不同的平面上接受加工而导致的加工强度不同以及加工均勻性较差的问题，获得较高的加工质量，并且整个设备的结构更加紧凑，机械设计难度较低，整个设备的运行可靠性和稳定性也获得了提尚。虽然以上描述了本发明的具体实施方式
，但是本领域的技术人员应当理解，这些仅是举例说明，本发明的保护范围是由所附权利要求书限定的。本领域的技术人员在不背离本发明的原理和实质的前提下，可以对这些实施方式做出多种变更或修改，但这些变更和修改均落入本发明的保护范围。
权利要求
1.一种真空传输制程设备，其包括一真空制程腔，该真空制程腔中设有至少一加工装置，所述加工装置具有一加工区域并用于对通过该加工区域的工件进行加工，其特征在于，该真空制程腔的两端分别设有一个或两个进出件腔，该些进出件腔可以在大气状态与真空状态之间切换，每个进出件腔均通过真空阀门与该真空制程腔相连并通过真空阀门隔断大气环境；每个进出件腔均对应有一传输平台，各传输平台的移动平面相同，并且分别相应于该真空制程腔两端的进出件腔的传输平台交替动作，每个传输平台均用于在相应进出件腔中装载工件，然后移入该真空制程腔，然后初次移动通过该加工区域完成对全部工件的半加工，然后反向再次移动通过该加工区域完成对全部工件的完全加工，然后移回相应进出件腔卸载工件；各进出件腔与该真空制程腔的相对位置使得各传输平台从相应进出件腔移入该真空制程腔以及从该真空制程腔移回相应进出件腔的移动方向与各传输平台在该真空制程腔中的移动方向垂直。
2.如权利要求1所述的真空传输制程设备，其特征在于，该真空制程腔两端分别设有一个所述的进出件腔。
3.如权利要求1或2所述的真空传输制程设备，其特征在于，在各传输平台初次移动通过该加工区域的过程中，所述加工装置依次完成对该传输平台上一侧工件的完全加工，在各传输平台反向再次移动通过该加工区域的过程中，所述加工装置依次完成对该传输平台上另一侧工件的完全加工。
4.如权利要求1或2所述的真空传输制程设备，其特征在于，在各传输平台初次移动通过该加工区域的过程中，所述加工装置依次完成对该传输平台上全部工件的初步加工，在各传输平台反向再次移动通过该加工区域的过程中，所述加工装置依次完成对该传输平台上全部工件的完全加工。
5.如权利要求1-4中任意一项所述的真空传输制程设备，其特征在于，各传输平台从相应进出件腔移入该真空制程腔以及从该真空制程腔移回相应进出件腔的移动速度大于该传输平台在该真空制程腔中的移动速度。
6.如权利要求1-5中任意一项所述的真空传输制程设备，其特征在于，所述工件为太阳能晶片，所述加工装置为离子束加工装置、等离子体加工装置、热处理装置或退火装置。
7.一种利用权利要求1所述的真空传输制程设备实现的真空传输制程方法，其特征在于，在该方法中，分别相应于该真空制程腔两端的进出件腔的传输平台交替动作，各传输平台的动作为在相应进出件腔中装载工件，然后移入该真空制程腔，然后初次移动通过该加工区域完成对全部工件的半加工，然后反向再次移动通过该加工区域完成对全部工件的完全加工，然后移回相应进出件腔卸载工件；在前一个传输平台从该真空制程腔移回相应进出件腔的同时，后一个传输平台从相应进出件腔移入该真空制程腔；在一个传输平台在该真空制程腔中移动的同时，其余所有进出件腔均处于充气至大气状态、取出已加工工件、放入待加工工件、抽气至真空状态的过程中或是过程结束后的等待状态。
8.如权利要求7所述的真空传输制程方法，其特征在于，每当一个移动于该真空制程腔中的传输平台上的全部工件完成完全加工时，其余所有进出件腔中总有至少一个已经处于充气至大气状态、取出已加工工件、放入待加工工件、抽气至真空状态的过程结束后的等待状态。
9.如权利要求7或8所述的真空传输制程方法，其特征在于，在各传输平台初次移动通过该加工区域的过程中，所述加工装置依次完成对该传输平台上一侧工件的完全加工，在各传输平台反向再次移动通过该加工区域的过程中，所述加工装置依次完成对该传输平台上另一侧工件的完全加工。
10.如权利要求7或8所述的真空传输制程方法，其特征在于，在各传输平台初次移动通过该加工区域的过程中，所述加工装置依次完成对该传输平台上全部工件的初步加工， 在各传输平台反向再次移动通过该加工区域的过程中，所述加工装置依次完成对该传输平台上全部工件的完全加工。
11.如权利要求7-10中任意一项所述的真空传输制程方法，其特征在于，各传输平台从相应进出件腔移入该真空制程腔以及从该真空制程腔移回相应进出件腔的移动速度大于该传输平台在该真空制程腔中的移动速度。
全文摘要
本发明公开了一种真空传输制程设备及方法，该真空传输制程设备包括一真空制程腔，该真空制程腔中设有至少一加工装置，所述加工装置具有一加工区域；该真空制程腔的两端分别设有一个或两个进出件腔；每个进出件腔均对应有一传输平台，各传输平台的移动平面相同，并且分别相应于该真空制程腔两端的进出件腔的传输平台交替动作；各进出件腔与该真空制程腔的相对位置使得各传输平台从相应进出件腔移入该真空制程腔以及从该真空制程腔移回相应进出件腔的移动方向与各传输平台在该真空制程腔中的移动方向垂直。本发明能够实现极高的生产效率。
文档编号H01L21/67GK102446787SQ20101050074
公开日2012年5月9日 申请日期2010年9月30日 优先权日2010年9月30日
发明者钱锋, 陈炯 申请人:上海凯世通半导体有限公司