专利名称：连接结构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体制造设备，尤其涉及一种连接结构。
背景技术：
半导体制造业中的很多设备都设有机械手(robot)，机械手的功能是转移 (transfer)晶圆(wafer)，例如，线宽扫描电子显微镜CD-SEM就设有曲柄手(crank arm), 该曲柄手用于将晶圆从传送系统(load lock)转移到测试机台室(stage chamber)，或者将晶圆从测试机台室转移到传送系统。机械手由马达驱动。如图1所示，线宽扫描电子显微镜⑶-SEM中的一个连接结构(coupling)，该连接结构用于连接曲柄手和用于驱动该曲柄手的马达，所述连接结构包括上连接管11、下连接管12和连接管结合部件13，所述上连接管11用于连接曲柄手的转轴，所述下连接管12用于连接马达的转轴，所述连接管结合部件13用于连接所述上连接管11和下连接管12，所述上连接管11的底端与所述下连接管12的顶端分别从所述连接管结合部件13的两端插入，所述连接管结合部件13设有四个螺栓131，所述四个螺栓131平均分布在同一圆周内， 该四个螺栓131均沿径向设置，用于卡紧所述上连接管11与所述下连接管12的连接。所述四个螺栓131对于所述上连接管11与所述下连接管12的连接非常重要，由于所述螺栓131的接触面的面积较小(螺栓的接触面可近似看作点)，因此，在该连接结构高速转动过程中或者长期使用后，所述螺栓131容易损坏，即现有技术的连接结构硬度小， 不耐用。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种连接结构，硬度大，耐用。为了达到上述的目的，本实用新型提供一种连接结构，包括第一连接管、第二连接管和定位销；所述第一连接管的一端设有夹口 ；所述第二连接管的一端设有凸起；所述夹口夹住所述凸起；所述定位销穿过所述夹口和凸起，实现所述夹口与凸起的连接。上述连接结构，其中，所述凸起为圆柱体，所述夹口呈环形。上述连接结构，其中，所述凸起的直径等于所述夹口的内径，所述凸起的高度等于所述夹口的高度。上述连接结构，其中，所述凸起为长方体，所述夹口包括两个夹片，所述两个夹片均为长方体。上述连接结构，其中，所述两个夹片相互平行，所述凸起与所述两个夹片平行。上述连接结构，其中，所述两个夹片相距一定距离，该距离等于所述凸起的宽度。上述连接结构，其中，所述夹口设有螺纹安装孔，所述凸起设有螺纹通孔，所述螺纹安装孔与所述螺纹通孔相匹配，所述定位销为螺栓。本实用新型的连接结构采用夹口和凸起连接第一连接管和第二连接管，凸起的端面为第一连接管与第二连接管的连接接触面，该凸起的端面的面积较大，可增强连接结构的硬度，使连接结构更耐用；本实用新型的连接结构结构简单、加工方便、成本低，可在制作第一连接管和第二连接管的过程中，对第一连接管和第二连接管进行一些加工制得；本实用新型的连接结构的硬度大大增大，可缩短设备的停机时间，可使设备运行
更安全、可靠。
本实用新型的连接结构由以下的实施例及附图给出。图1是现有技术连接结构的结构示意图。图2是本实用新型连接结构实施例一的主视图。图3是本实用新型连接结构实施例一分解后的示意图。图如是本实用新型连接结构实施例一中夹口的俯视图。图4b是本实用新型连接结构实施例一中凸起的俯视图。图5是本实用新型连接结构实施例二分解后的示意图。图6a是本实用新型连接结构实施例三中夹口的俯视图。图6b是本实用新型连接结构实施例三中凸起的俯视图。
具体实施方式
以下将结合图2 图5以及图6a和图6b对本实用新型的连接结构作进一步的详细描述。本实用新型的连接结构包括第一连接管、第二连接管和定位销，所述第一连接管的一端设有夹口，所述第二连接管的一端设有凸起，所述夹口夹住所述凸起，所述定位销穿过所述夹口和凸起，实现所述夹口与凸起的连接。本实用新型的连接结构中所述第一连接管与第二连接管的连接接触面(即所述凸起的端面)较大，大大增强了连接结构的硬度，使连接结构耐用。实施例一参见图2，本实施例的连接结构包括第一连接管21、第二连接管22和定位销23 ；所述第一连接管21用于连接曲柄手的转轴，该第一连接管21的底端设有夹口 211a ；所述第二连接管22用于连接马达的转轴，该第二连接管22的顶端设有凸起 221a ；所述夹口 211a与所述凸起221a相匹配；参见图3，所述夹口 211a设有螺纹安装孔212，所述凸起221a设有螺纹通孔222， 所述螺纹安装孔212与所述螺纹通孔222相匹配；所述定位销23为螺栓，该定位销23旋转穿过所述螺纹安装孔212和所述螺纹通孔222，拧紧所述定位销23，使所述夹口 211a与所述凸起221a稳固连接。参见图如，所述夹口 21 Ia呈环形，该环形夹口的外径等于所述第一连接管21的底端的外径；参见图4b，所述凸起22Ia为圆柱体，该圆柱体的直径等于所述环形夹口的内径，所述圆柱体的高度Ll等于所述环形夹口的高度L2，如图3所示；所述夹口 2Ila夹住所述凸起22Ia时，所述夹口 211a的内壁紧贴所述凸起221a 的外壁。本实施例的连接结构采用所述夹口 211a和凸起221a连接所述第一连接管21和第二连接管22，所述凸起221a的端面为所述第一连接管21与第二连接管22的连接接触面，该凸起221a的端面的面积较大，可增强本实施例的连接结构的硬度，使本实施例的连接结构更耐用；本实施例的连接结构结构简单；本实施例的连接结构加工方便，只要在制作第一连接管和第二连接管的过程中， 对第一连接管和第二连接管进行一些加工即可，因此，本实施例的连接结构成本低。实施例二参见图5，实施例二与实施例一的区别在于，所述第一连接管21的底端设有凸起 211'，所述第二连接管22的顶端设有夹口 221'。实施例三参见图6a和图6b，实施例三与实施例一的区别在于，所述凸起221b为长方体，所述夹口 211b包括两个夹片213，所述两个夹片213均为长方体，且所述两个夹片213的尺寸完全相同，所述两个夹片213相互平行且相距一定距离，该距离等于所述凸起221b的宽度；所述夹口 211b夹住所述凸起221b时，所述凸起221b与所述两个夹片213平行， 所述两个夹片213分别位于所述凸起221b的两侧，紧贴所述凸起221b ；所述夹口 211b的高度等于所述夹片213的高度。本实用新型的连接结构的硬度大大增大，可缩短设备的停机时间，可使设备运行
更安全、可靠。
权利要求1.一种连接结构，其特征在于，包括第一连接管、第二连接管和定位销； 所述第一连接管的一端设有夹口；所述第二连接管的一端设有凸起； 所述夹口夹住所述凸起；所述定位销穿过所述夹口和凸起，实现所述夹口与凸起的连接。
2.如权利要求1所述的连接结构，其特征在于，所述凸起为圆柱体，所述夹口呈环形。
3.如权利要求2所述的连接结构，其特征在于，所述凸起的直径等于所述夹口的内径， 所述凸起的高度等于所述夹口的高度。
4.如权利要求1所述的连接结构，其特征在于，所述凸起为长方体，所述夹口包括两个夹片，所述两个夹片均为长方体。
5.如权利要求4所述的连接结构，其特征在于，所述两个夹片相互平行，所述凸起与所述两个夹片平行。
6.如权利要求5所述的连接结构，其特征在于，所述两个夹片相距一定距离，该距离等于所述凸起的宽度。
7.如权利要求1至6中任一权利要求所述的连接结构，其特征在于，所述夹口设有螺纹安装孔，所述凸起设有螺纹通孔，所述螺纹安装孔与所述螺纹通孔相匹配，所述定位销为螺栓。
专利摘要本实用新型的连接结构包括第一连接管、第二连接管和定位销；所述第一连接管的一端设有夹口；所述第二连接管的一端设有凸起；所述夹口夹住所述凸起；所述定位销穿过所述夹口和凸起，实现所述夹口与凸起的连接。本实用新型的连接结构硬度大、耐用。
文档编号H01L21/00GK202094092SQ201020584380
公开日2011年12月28日 申请日期2010年10月29日 优先权日2010年10月29日
发明者张雁冰 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司