专利名称：单晶槽式制绒防烧装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及单晶硅槽式制绒设备，进一步是指半导体晶体硅及太阳能电池制造技术领域中的单晶硅槽式制绒防烧装置。
背景技术：
在半导体硅和太阳能电池制造中，槽式湿法制绒工艺是单晶硅片在一定浓度范围的碱溶液中被腐蚀时是各向异性的，不同晶向上的腐蚀速率不一样。利用这一原理，将特定晶向的单晶硅片放入碱溶液中腐蚀，即可在硅片表面产生出许多细小的金字塔状外观，都可以提高硅片的陷光作用，降低硅片表面的反射率，以提高光的利用率。在太阳能晶体硅电池的制备工艺中，槽式湿法制绒工艺是关系到硅太阳能电池表面光吸收的重要部分，也是提高太阳能转化效率的重要途径之一。由于单晶槽式湿法制绒设备在制绒工艺中液体的温度要加热到80°C，在PVDF 槽体中存在加热部件，在大生产过程中，制绒液在生产一定批次的硅片后，要进行重新配液。在排液过程或温度控制失效时经常存在制绒槽体被烧坏的情况(PVDF材料的熔点为 172°C )，不仅对制绒设备带来损伤，影响产量，同时防止可能由于处理不及时造成的火灾。现有的单晶槽式制绒防烧装置设计原理图为图1，温控仪Tl根据热电偶采集到的温度控制固态继电器K1，通过固态继电器触点1控制加热器R的电流通断，到达控制制绒液的温度。这种设计存在以下问题在大生产过程中，固态继电器长时间的使用，存在失效的问题，当固态继电器失效时，有可能导致固态继电器触点1处于闭合状态，这时当槽体在排水时，由于液位开关K5的结构为机械式的方式，对液位的变化不是非常敏感，造成加热器R 还处于加热状态，使PVDF槽体在无水的情况下干烧，槽体烧毁。
实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是，针对现有制绒设备设计存在的缺陷，提供一种单晶槽式制绒防烧装置，有效防止槽体烧毁。本实用新型的技术方案为，单晶槽式制绒防烧装置，包括加热器、温控仪、液位开关和固态继电器，温控仪的输出端同固态继电器的电磁线圈相接；其特征是，所述防烧装置还包括排水开关、加热开关和继电器，所述加热器、固态继电器的常开触点和继电器的常开触点串联后同市电电源组成回路，继电器的电磁线圈、排水开关、加热开关和液位开关串联后同市电电源组成回路。如图2所示，温控仪Tl根据热电偶采集到的温度控制固态继电器K1，通过固态继电器Kl触点控制加热器R的电流通断，达到控制制绒液的温度的目的；通过添加继电器 K2、排水开关K3和加热开关K4，当排水开关K3、加热开关K4和液位开关K5弹开时，在加热电路中的继电器K2常开触点2弹开，使加热器R不能加热，即使在固态继电器Kl失效，固态继电器触点1处于导通状态，对加热器R不能加热，保证了槽体不被烧毁。由以上可知，本实用新型造价低，防止制绒设备槽体被干烧，对制绒设备长期运行起到有效的保护作用。
图1为现有单晶槽式制绒防烧装置的结构示意图；图2为本实用新型一种实施例的结构示意图。
具体实施方式
如图2所示，单晶槽式制绒防烧装置，包括加热器R、温控仪Tl、液位开关K5和固态继电器K1，温控仪Tl的输出端同固态继电器Kl的电磁线圈相接；其特征是，所述防烧装置还包括排水开关K3、加热开关K4和继电器K2，所述加热器R、固态继电器Kl的常开触点 1和继电器K2的常开触点2串联后同市电电源组成回路，继电器K2的电磁线圈、排水开关 K3、加热开关K4和液位开关K5串联后同市电电源组成回路。
权利要求1.单晶槽式制绒防烧装置，包括加热器(R)、温控仪(Tl)、液位开关0 )和固态继电器 (K1)，温控仪(Tl)的输出端同固态继电器(Kl)的电磁线圈相接；其特征是，所述防烧装置还包括排水开关(K3)、加热开关(K4)和继电器(K2)，所述加热器(R)、固态继电器(Kl)的常开触点(1)和继电器(K2)的常开触点(2)串联后同市电电源组成回路，继电器(K2)的电磁线圈、排水开关(K3)、加热开关(K4)和液位开关(K5)串联后同市电电源组成回路。
专利摘要本实用新型涉及单晶硅槽式制绒设备，进一步是指半导体晶体硅及太阳能电池制造技术领域中的单晶硅槽式制绒防烧装置，包括加热器、温控仪、液位开关和固态继电器，温控仪的输出端同固态继电器的电磁线圈相接；其特征是，所述防烧装置还包括排水开关、加热开关和继电器，所述加热器、固态继电器的常开触点和继电器的常开触点串联后同市电电源组成回路，继电器的电磁线圈、排水开关、加热开关和液位开关串联后同市电电源组成回路。本实用新型造价低，防止制绒设备槽体被干烧，对制绒设备长期运行起到有效的保护作用。
文档编号H01L21/67GK202297874SQ20112043046
公开日2012年7月4日 申请日期2011年11月3日 优先权日2011年11月3日
发明者华菁, 周大良, 周小荣, 汤辉, 罗亮, 黄盛娟 申请人:湖南红太阳新能源科技有限公司