一种用于密封石英管的改进型石英管帽的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种用于密封石英管的改进型石英管帽，包括石英管帽本体（1），石英管帽本体（1）上的外表面上设有石英手把（2），其特征在于所述石英管帽本体（1）的内表面呈平面状态使得石英管帽本体（1）的内表面与石英管（4）的管口平面全接触；所述的石英手把（2）上设有压紧弹簧（5），该压紧弹簧（5）使得石英管帽本体（1）的内表面与石英管（4）的管口平面相互贴合。本发明通过将石英管帽与石英管的接触方式改为平面接触，并采用压紧弹簧将石英管帽压紧在石英管的端面上起到密封作用，使得石英管帽与石英管的分离更容易；具有结构简单、操作方便且密封性好的特点，提高了工作效率，适宜在半导体硅片生产中推广使用。
【专利说明】一种用于密封石英管的改进型石英管帽
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体工艺中硅片的扩散设备，具体地说是一种结构简单、操作方便且密封性好用于密封石英管的改进型石英管帽。
【背景技术】
[0002]在现有工艺上，一般采用有磨口的石英帽密封石英管，现有技术中的石英管帽和密封石英管时的结构示意图如附图1所示，该石英管帽包括石英管帽本体1、石英手把2和出气孔3，石英管帽本体I靠其自身内壁上的磨口与石英管4的端部外壁上的磨口相互啮合在一起，实现石英管4的密封和石英管帽本体I的固定，石英管帽本体I的背侧设有石英手把2且石英手把2旁侧的石英管帽本体I上设有出气孔3。该石英管帽在使用时，当使用到生成偏磷酸的扩散石英管上的时候，生成的偏磷酸使石英管与石英管帽粘结在一起，管帽取不下来；且平时石英管帽和石英管4的分离也相对麻烦。
【发明内容】
[0003]本发明的目的是针对现有石英管帽存在的缺陷，提供一种结构简单、操作方便且密封性好用于密封石英管的改进型石英管帽。
[0004]本发明的目的是通过以下技术方案解决的:
一种用于密封石英管的改进型石英管帽，包括石英管帽本体，石英管帽本体上的外表面上设有石英手把，其特征在于所述石英管帽本体的内表面呈平面状态使得石英管帽本体的内表面与石英管的管口平面全接触；所述的石英手把上设有压紧弹簧，该压紧弹簧使得石英管帽本体的内表面与石英管的管口平面相互贴合。
[0005]所述的石英管帽本体呈“匚”字形，“匚”字形的石英管帽本体中的立面与石英管的管口平面相互贴合。
[0006]所述的石英管帽本体上设有出气孔。
[0007]所述的出气孔位于石英管帽本体的立面上。
[0008]所述的石英管帽本体和石英手把采用纯石英制成。
[0009]本发明相比现有技术有如下优点:
本发明通过将石英管帽与石英管的接触方式改为平面接触，并采用压紧弹簧将石英管帽压紧在石英管的端面上起到密封作用，石英管帽与石英管接触处无磨口、平整无漏气且完全接触，使得石英管帽与石英管的分离更容易；该石英管帽具有结构简单、操作方便且密封性好的特点，提高了工作效率，适宜在半导体硅片生产中推广使用。
【专利附图】
【附图说明】
[0010]附图1为现有技术中的石英管帽和密封石英管时的截面结构示意图；
附图2为本发明的石英管帽和密封石英管时的截面结构示意图。
[0011]其中:1 一石英管帽本体；2—石英手把；3—出气孔；4一石英管；5—压紧弹簧。【具体实施方式】
[0012]下面结合附图与实施例对本发明作进一步的说明。
[0013]如图2所示:一种用于密封石英管的改进型石英管帽，包括石英管帽本体1，石英管帽本体I上的外表面上设有石英手把2，石英管帽本体I和石英手把2采用纯石英制成，该石英管帽本体I的内表面呈平面状态使得石英管帽本体I的内表面与石英管4的管口平面全接触，石英手把2上设有压紧弹簧5，该压紧弹簧5使得石英管帽本体I的内表面与石英管4的管口平面相互贴合；具体地说石英管帽本体I呈“匚”字形，“匚”字形的石英管帽本体I中的立面与石英管4的管口平面相互贴合。另外在石英管帽本体I上设有出气孔3，该出气孔3位于石英管帽本体I的立面上。
[0014]本发明的改进型石英管帽使用时，将石英管帽本体I的立面与石英管4的管口平面相互贴合，然后定位压紧弹簧5，使得石英管帽本体I的内表面紧密贴合在石英管4的管口平面上，起到密封作用；当该改进型石英管帽不使用时，解除压紧弹簧5的定位，即可将该改进型石英管帽从石英管4的管口取下。
[0015]本发明通过将石英管帽与石英管4的接触方式改为平面接触，并采用压紧弹簧将石英管帽压紧在石英管4的端面上起到密封作用，石英管帽与石英管4接触处无磨口、平整无漏气且完全接触，使得石英管帽与石英管4的分离更容易；该石英管帽具有结构简单、操作方便且密封性好的特点，提高了工作效率，适宜在半导体硅片生产中推广使用。
[0016]以上实施例仅为说明本发明的技术思想，不能以此限定本发明的保护范围，凡是按照本发明提出的技术思想，在技术方案基础上所做的任何改动，均落入本发明保护范围之内；本发明未涉及的技术均可通过现有技术加以实现。
【权利要求】
1.一种用于密封石英管的改进型石英管帽，包括石英管帽本体(1)，石英管帽本体(I)上的外表面上设有石英手把(2)，其特征在于所述石英管帽本体(I)的内表面呈平面状态使得石英管帽本体(I)的内表面与石英管(4)的管口平面全接触；所述的石英手把(2)上设有压紧弹簧(5)，该压紧弹簧(5)使得石英管帽本体(I)的内表面与石英管(4)的管口平面相互贴合。
2.根据权利要求1所述的用于密封石英管的改进型石英管帽，其特征在于所述的石英管帽本体(I)呈“匚”字形，“匚”字形的石英管帽本体(I)中的立面与石英管(4)的管口平面相互贴合。
3.根据权利要求1或2所述的用于密封石英管的改进型石英管帽，其特征在于所述的石英管帽本体(I)上设有出气孔(3)。
4.根据权利要求3所述的用于密封石英管的改进型石英管帽，其特征在于所述的出气孔(3 )位于石英管帽本体(I)的立面上。
5.根据权利要求1所述的用于密封石英管的改进型石英管帽，其特征在于所述的石英管帽本体(I)和石英手把(2 )采用纯石英制成。
【文档编号】H01L21/673GK103915366SQ201410099823
【公开日】2014年7月9日 申请日期:2014年3月18日 优先权日:2014年3月18日
【发明者】左亚兵, 王钰庭, 周敏华 申请人:宜兴市环洲微电子有限公司