一种石英真空吸笔的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种石英真空吸笔，包括内部连通的石英吸管和石英吸盘，所述石英吸管的一端斜向上延伸后与所述石英吸盘的中部固定连接。本实用新型吸笔的吸盘在吸管的斜上方，操作人员握住吸管时吸盘与手的用力方向形成操作角度，不用翻转手腕便可装卸硅片，便于操作使用省力，减轻操作人员长时间重复使用吸笔产生的疲劳感，进而提高工作的效率。
【专利说明】一种石英真空吸笔
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体生产辅助工具领域，具体涉及一种石英真空吸笔。
【背景技术】
[0002]多晶硅片在清洗制绒、镀膜等工艺过程中需要人工装载硅片，为了避免人手直接接触硅片，从而保证工艺的洁净度，通常借助石英吸笔来实现硅片的装载移动，石英吸笔是通过抽真空使吸盘吸住硅片表面来实现硅片的移动和分拣，能够保证工艺洁净度，便于员工操作，降低人为碎片率和不良率。现有真空吸笔是由石英吸盘和石英吸管连接而成，吸盘和吸管位于同一平面，使用时完全依赖操作人员手腕弯曲的角度实现移动，操作费力且握感太差，长时间的重复使用操作人员的手腕会出现疲劳。
【发明内容】
[0003]本实用新型公开了一种石英真空吸笔，结构简单，设计人性化，便于操作人员抓握，使用省力方便。
[0004]本实用新型通过以下技术方案实现:
[0005]一种石英真空吸笔，包括内部连通的石英吸管和石英吸盘，所述石英吸管的一端斜向上延伸后与所述石英吸盘的中部固定连接。
[0006]本实用新型进一步的改进方案是，所述石英吸盘垂直固定在所述石英吸管斜向上延伸段的末端。
[0007]本实用新型更进一步的改进方案是，所述石英吸管斜向上延伸段的垂直高度为
3-5mm。
[0008]本实用新型更进一步的改进方案是，所述石英吸管的斜向上延伸段与水平方向的夹角为30-50°。
[0009]本实用新型与现有技术相比具有以下优点:
[0010]本实用新型吸笔的吸盘在吸管的斜上方，操作人员握住吸管时吸盘与手的用力方向形成操作角度，不用翻转手腕便可装卸硅片，便于操作使用省力，减轻操作人员长时间重复使用吸笔产生的疲劳感，进而提高工作的效率。
【专利附图】
【附图说明】
[0011]图1为本实用新型结构示意图。
【具体实施方式】
[0012]如图1所示的一种石英真空吸笔，包括内部连通的石英吸管I和石英吸盘2，石英吸管I的一端斜向上延伸后与石英吸盘2的中部固定连接。
[0013]本实施例中，石英吸盘2垂直固定在石英吸管I斜向上延伸段的末端；石英吸管I斜向上延伸段的垂直高度为3mm;石英吸管I的斜向上延伸段与水平方向的夹角为30-50°。角度设置使得操作人员握住吸管时吸盘与手的用力方向形成一个操作角度，不用翻转手腕便可装卸硅片，便于操作使用省力。
【权利要求】
1.一种石英真空吸笔，包括内部连通的石英吸管(I)和石英吸盘(2)，其特征在于:所述石英吸管(I)的一端斜向上延伸后与所述石英吸盘(2)的中部固定连接。
2.如权利要求1所述的一种石英真空吸笔，其特征在于:所述石英吸盘(2)垂直固定在所述石英吸管(I)斜向上延伸段的末端。
3.如权利要求2所述的一种石英真空吸笔，其特征在于:所述石英吸管(I)斜向上延伸段的垂直高度为3-5mm。
4.如权利要求3所述的一种石英真空吸笔，其特征在于:所述石英吸管(I)的斜向上延伸段与水平方向的夹角为30-50°。
【文档编号】H01L21/683GK203423157SQ201320568434
【公开日】2014年2月5日 申请日期:2013年9月13日 优先权日:2013年9月13日
【发明者】陈前兆, 徐昌华, 史才成, 孟宪亮, 郝子龙, 郑银先, 华贵俊, 高超 申请人:江苏晶鼎电子材料有限公司