一种太阳能电池的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种太阳能电池，具有：含第一掺杂类型的基底层，它与极性相反的第二掺杂类型的正面层形成一个界面；带有至少一个正面接触件和至少一个背面接触件，其中，在基底层和背面接触件之间具有一第一钝化层和一隧道接触层，在钝化层和基底层之间装有一个由a-Si构成的本征层，钝化层由与基底层极性相同的掺杂材料构成，在基底层背面未被背面接触件覆盖的部分以及背面接触件上形成有第二钝化层，所述第二钝化膜的折射率在2.6以上。使用本发明的薄的基底材料时，可以避免太阳能电池板的弯曲、拱起和断裂。
【专利说明】一种太阳能电池
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种太阳能电池，特别是一种对背面接触件以及背面进行改进的、可取得更高效率的太阳能电池。
【背景技术】
[0002]在传统的太阳能电池中，通常采用下述结构:通过使导电型与基板导电类型相反的杂质发生相对于受光面的扩散，从而在受光面附近形成pn结，同时，在该受光面上设置一个电极，并在与受光面相反的面上形成另一个电极。另外，通常，还可以通过使导电型与基板导电类型相同的杂质在所述与受光面相反的面上发生高浓度地扩散，来达到内电场效果，从而期待高输出效率。
[0003]另一方面，在上述结构的太阳能电池中，在受光面上形成的电极会阻碍入射光，成为抑制太阳能电池输出的原因。因此，近年来，为了解决这一弊端，开发了将一种导电型的电极和另一种导电型的电极(即P电极和η电极)同时设置在背面上的所谓背结型(裏面接合型，back surface junct1n)太阳能电池。
[0004]在如上所述的背结型太阳能电池中，由于pn结存在于背面上，因而为了有效地收集少数载流子，要点在于:增加基板本体层中少数载流子的寿命，和抑制基板表面上少数载流子发生再结合。即，为了在这类太阳能电池中获得优异的光电转换效率，须使受光后在基板上产生的少数载流子的寿命增加。
[0005]作为抑制基板表面上少数载流子发生再结合的方法，可采用形成钝化膜的方法。可是，在背结型太阳能电池中，由于P区和η区在同一个面上形成，因此强烈期待能够开发出对P区和η区均有效的钝化膜。
[0006]为取得最高效率，一般使用单晶体硅作为基底材料，而为了降低成本，在使用时将该材料的厚度尽可能制成最薄。在此条件下，加装背面接触件被成了问题。
[0007]例如，当背面接触件被设计为连续的金属层时，在金属-半导体界面上的复合损耗会导致效率的降低。出于这个原因，通常将背面接触件设计为点式或线式接触，这种接触优选通过丝网印刷工艺形成。
[0008]此外，薄的硅片在冷却时，覆盖整个面的背面接触件会产生较强的机械应力，从而导致断裂，并为可加工性带来不利影响。
[0009]此外，丝网印刷工艺的成本相对较高，其最低温度要求大约为400°C。然而，在使用薄的晶片作为材料时，如此高的温度会带来一个问题，即所述晶片在加工过程中容易断裂，并由此导致产出率的大大降低。特制的丝网印刷膏是太阳能电池生产中一个主要的成本构成因素，且对其组成和接触构造的可再造性的控制也需要耗费很高的成本。
【发明内容】
[0010]太阳能电池中的硅基板背面的钝化膜所采用的是氧化硅膜。氧化硅膜、尤其是通过热氧化法形成的氧化硅膜(以下，也称其为热氧化膜)，因具有高度的钝化效果而被广泛用作太阳能电池的钝化膜。可是，由于热氧化膜的成膜速度因硅基板上的杂质浓度而异，因此，根据硅基板的状态不同，容易产生膜厚不均。
[0011]因此，本发明的目的在于提供一种改进的太阳能电池，它可以保证即使在使用P型掺杂材料时也可实现良好的背面接触。太阳能电池的生产成本应尽可能低，并尽可能高效地达到该效果。上述目的是通过具有如下特点的太阳能电池来解决的:具有:含第一掺杂类型的基底层，它与极性相反的第二掺杂类型的正面层形成一个界面；带有至少一个正面接触件和至少一个背面接触件，其中，在基底层和背面接触件之间具有一第一钝化层和一隧道接触层，在钝化层和基底层之间装有一个由a-Si构成的本征层，钝化层由与基底层极性相同的掺杂材料构成，在基底层背面未被背面接触件覆盖的部分以及背面接触件上形成有第二钝化层，所述第二钝化膜的折射率在2.6以上。
[0012]本发明的目的通过这种方式而得以彻底解决。
[0013]通过使用一个隧道接触层，即使是以P型掺杂材料作为基底材料时，也可以实现与导电体——即与金属或透光性导体，如氧化锌或氧化铟锡(ITO)等一之间的优质接触。
[0014]在本发明的优选改进方案中，钝化层由与基底层极性相同的掺杂材料构成。
[0015]此外，在根据本发明的太阳能电池中，背面接触件还可以设计为金属接触面，且不会由此而导致效率降低。
[0016]为达到这一目的，本发明具有优势的改进方案中，隧道接触层和背面接触层之间设置有一个透明的导电层，该导电层优选由氧化锌、氧化铟锡或一种可导电的聚合物构成。该材料层还具有提高背面反射能力的作用，从而使效率得以提高。
[0017]其中尤以选用氧化锌层为最佳，原因是该材料与氧化铟锡(ITO)相比在成本方面具有明显优势。
[0018]背面接触件和正面接触件(如果需要)，可金属材料构成，并由例如铝或者在高品质应用方案中，可由金、银或某种其他金属制成。
[0019]钝化层优选由无定形娃(a-Si)构成。
[0020]隧道接触层优选由微晶体硅(μ C-Si)制成。该层可以例如由与基底层极性相同的第一高掺杂材料层构成，随后是极性相反的第二高掺杂材料层。
[0021]在基底层为P型掺杂的情况下，正面层则为η型掺杂，钝化层最好为P型掺杂层，接着是P+型高掺杂层形式的隧道接触层，该隧道接触层随后是η+型高掺杂层。可通过简单而可靠的方法来实现η+型高掺杂层与可导电的材料，如氧化锌等之间的接触。
[0022]在上述情况下，“高掺杂”指的是该层相比基底材料具有更高的掺杂度，也就是说单位体积内所掺杂的原子数量至少要高出一个量级。
[0023]根据本发明的另一可选设计方案，隧道接触层可以制成为不含有η+型掺杂层，而仅由第一 P型掺杂层构成，随后是第二 P+型掺杂层，这两个材料层都优选由μ C-Si制成。
[0024]根据本发明的进一步的实施方式，钝化层和基底层之间设置有一个由a-Si构成的薄的非掺杂层(本征层)。
[0025]该本征层用来作为晶片和钝化层之间的缓冲。这种结合会产生特别好的钝化效果O
[0026]根据本发明的进一步的实施方式，至少在钝化层、隧道接触层或本征层中含有氢。
[0027]在此可以使用的原子百分比浓度大约为I到20at.%的氢，最好在本征层、钝化层和隧道接触层中都含有氢。
[0028]氢在“悬挂键”(dangling bonds)的钝化过程中起到了主要作用。总之在氢浓度适合的条件下，电池的效率会得到进一步改善。
[0029]在需要达到特别高的效率时，太阳能电池的基底材料则优选由单晶体硅构成。
[0030]对于价格较为低廉的太阳能电池，其基底材料也可以由多晶体硅(μ C-Si)构成。[0031 ] 太阳能电池向光面的结构可以通过现有技术中已知的任意方式构造而成。
[0032]在此可使用例如为金属质地的正面接触件，而太阳能电池的向光表面装有减弱反射的钝化层，例如氧化硅。当然，钝化层在正面接触件区域内中断。
[0033]在现有技术中，太阳能电池的向光面尤其多可被设计为异质结过渡结构，例如可利用无定形娃发射极(a-S1-Emitter),在最高约为250°C (以最高温度200°C为最佳)的较低过程温度条件下制造。
[0034]加装太阳能电池的各材料层时优选使用薄膜工艺，尤其是等离子增强化学气相沉积法(CVD)、溅射或催化CVD法(热丝化学气相沉积法)。
[0035]可以将太阳能电池所有生产环节的过程温度限定为最高不超过大约250°C，最高温度优选为200°C。
[0036]在硅基板的与受光面相反的面上形成有由氮化硅膜制成的第I钝化膜，该第I钝化膜的折射率在2.6以上，进一步提高太阳能电池的效率。
[0037]通过这种方式，即使在使用薄的基底材料时，也可以避免太阳能电池板的弯曲、拱起和断裂。
[0038]本发明的上述特征和以下将进一步阐释的特征不仅可在文中所提出的结合方案中得到应用，在其他的结合方式或单独应用方案中同样可用，且仍属于本发明的范畴。
【专利附图】
【附图说明】
[0039]为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它附图。
[0040]图1是根据本发明的太阳电池的局部剖面的简图。
[0041]图中:10_太阳能电池，12-基底层，14-硅层，16-钝化层，18-正面接触件，20-区域，22-本征层，24-钝化层，26-μ c-Si层，28-材料层，30-氧化锌层，32-背面接触层，34-第二钝化膜。
【具体实施方式】
[0042]下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0043]图1所示为以数字10作为总标注的本发明太阳能电池的横截面图。太阳能电池10具有一个由单晶体硅构成的P型掺杂基底层12。
[0044]在与辐射面相对的前侧装有一个η型掺杂的硅层14，它与基底层12形成了一个界面(pn结)。η型掺杂的硅层14优选设计为可以减少反射的结构。此外，正面层14通过一个例如由氧化硅构成的钝化层16而被钝化。前侧带有正面接触件18的接触结构可以通过铝材接触件来实现，最好分别通过一个区域20而与高η型掺杂层相接触。此外，硅层14通过一个由氧化硅构成的钝化层16而被钝化。
[0045]基底层12在背面与一个由无定形硅构成的薄的本征层22相接。
[0046]本征层22之后紧接钝化层24，该钝化层优选设计为P型掺杂的无定形硅(a_Si)层。
[0047]进一步与钝化层24相接的是由微晶体硅μ c-Si构成的P型高掺杂层26 (ρ+)。
[0048]该μ c-Si层26进一步与由微晶体娃μ c_Si构成的材料层28相接,所述材料层28同样也为高掺杂层，但却具有相反的极性(η+)。
[0049]这两个由μ c-Si构成、且随后紧接有η型高掺杂层的ρ型高掺杂层26、28共同形成了一个隧道接触层。
[0050]与η型高掺杂的μ c-Si层28相连接的是一个氧化锌层30，上面装有一个连续金属层形式的背面接触层32，它可由铝构成。
[0051]层22至28中最好含有原子百分比为I到20at.%的氢。
[0052]通过这种材料层结构，即使当基底层12的P型掺杂度较低时，也可以保证基底层12与导电体之间实现非常好的接触。这一点尤其可通过隧道接触层26、28而达到，该隧道接触层由P+型高掺杂的微晶体层与η+型高掺杂的微晶体层连接构成。可选择地，隧道接触层26、28也可以由第一 ρ+型高掺杂a-Si层或μ c_Si层紧接ρ+型高掺杂的微晶体μ c_Si层构成，同样可取得良好的效果。
[0053]只供选用的本征a-Si层22的厚度优选介于大约5到20nm之间，以大约1nm为首选。钝化层24的厚度优选介于大约20到60nm之间，以大约40nm为首选。微晶体层26的厚度最好介于大约5到25nm之间，以大约1nm为首选。微晶体层28的厚度优选介于大约I到15nm之间，以大约5nm为首选。
[0054]由氧化锌(ZnO)、氧化铟锡或类似物质构成的透明导电层的厚度优选介于大约20到150nm之间，尤以大约40到120nm之间，例如大约80nm为首选。
[0055]由铝或其他材料构成的背面接触层32的厚度可以介于大约0.5到5μπι之间，例如为I μ m。
[0056]由例如氧化锌等透明材料构成的导电层30(在相应波长范围内)，可以改善背面接触层32的反射，从而提高效率。原则上也可以用氧化铟锡等另外的材料来取代氧化锌，但在批量生产时氧化锌的成本明显更低。
[0057]可采用适合的薄膜工艺来将这些材料层涂覆到基底层上，如等离子增强化学气相沉积(PECVD)、溅射、热丝化学气相沉积(Hot-Wire-CVD)等方法。在层22至28之间的优选氢扩散效果通过随后的升温至约200°C的过程来实现。
[0058]在基底层背面未被背面接触件覆盖的部分以及背面接触件上形成第二钝化膜34，包含利用等离子CVD法形成第二钝化膜的工序，所述等离子CVD法中使用了含有第I气体和第2气体的混合气体，其中，所述混合气体中的第2气体与第I气体的混合比(第2气体/第I气体)在1.4以下，且所述混合气体中含有氮气，所述第I气体中含有硅烷气，所述第2气体中含有氨气。
[0059]不论在前侧面上所采用的是何种接触方式，本发明的背面接触件适用于所有的硅太阳能电池。
【权利要求】
1.一种太阳能电池，具有:含第一掺杂类型的基底层，它与极性相反的第二掺杂类型的正面层形成一个界面；带有至少一个正面接触件和至少一个背面接触件，其中，在基底层和背面接触件之间具有一第一钝化层和一隧道接触层，在钝化层和基底层之间装有一个由a-Si构成的本征层，钝化层由与基底层极性相同的掺杂材料构成，在基底层背面未被背面接触件覆盖的部分以及背面接触件上形成有第二钝化层，所述第二钝化膜的折射率在2.6以上。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池，其特征在于，所述第一钝化层由无定形硅构成，所述隧道接触层由微晶体硅构成。
3.根据权利要求1所述的太阳能电池，其特征在于，所述隧道接触层具有第一高掺杂层和极性相反的第二高掺杂层。
4.根据权利要求3所述的太阳能电池，其特征在于，所述基底层为p型掺杂，所述正面层为η型掺杂，所述隧道接触层具有一个ρ+型高掺杂层和一个η+型高掺杂层。
5.根据权利要求2所述的太阳能电池，其特征在于，所述隧道接触层具有第一掺杂层和极性相同的第二高掺杂层。
6.根据权利要求5所述的太阳能电池，其特征在于，基底层为ρ型掺杂，正面层为η型掺杂，隧道接触层具有第一个ρ型掺杂层和第二个Ρ+型高掺杂层。
7.根据权利要求1所述的太阳能电池，其特征在于，在隧道接触层和背面接触层之间设置有一个可导电的透明材料层，该透明材料层由氧化锌、氧化铟锡或一种可导电的聚合物构成。
8.根据权利要求7所述的太阳能电池，其特征在于，至少其钝化层、隧道接触层或本征层含有原子百分比浓度为1到20的氢。
9.根据权利要求8所述的太阳能电池，其特征在于，基底材料由单晶体硅或多晶体硅构成。
10.根据权利要求1所述的太阳能电池，其特征在于，所述正面层上还配有一个钝化层，该钝化层在正面接触区域内中断。
【文档编号】H01L31/0216GK104393059SQ201410673913
【公开日】2015年3月4日 申请日期:2014年11月21日 优先权日:2014年11月21日
【发明者】郭文锦, 黄继昌, 骆艺 申请人:广西智通节能环保科技有限公司