技术总结
本发明涉及一种处理制程设备发生的废气的等离子体反应器，其配置于制程腔室与真空泵之间分解从制程腔室排出的废气，包括：导管，其由电介质形成，用于所述废气流动；第一电极部，其设置于所述导管上，并且与所述导管的内部空间遮蔽；以及第二电极部，其与所述第一电极部相隔配置，通过与所述第一电极部引起等离子体放电分解所述废气；其中，所述导管中所述等离子体放电集中的部分的厚度大于周边部分的厚度，防止所述导管因所述等离子体放电受到损坏。
技术研发人员：高京吾;姜景斗;卢明根
受保护的技术使用者：清洁要素技术有限公司
文档号码：201480077933
技术研发日：2014.10.27
技术公布日：2016.11.23