一种具有光伏特性的拓扑绝缘体薄膜及其制备方法与流程

文档序号:11955544阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种具有光伏特性的拓扑绝缘体薄膜的制备方法,其特征在于,利用化学气相沉积方法制备:将拓扑绝缘体材料蒸发沉积在硅基片上,得到拓扑绝缘体薄膜。

2.按照权利要求1所述具有光伏特性的拓扑绝缘体薄膜的制备方法,其特征在于:蒸发沉积的硅基片衬底温度为100℃~450℃。

3.按照权利要求1所述具有光伏特性的拓扑绝缘体薄膜的制备方法,其特征在于:蒸发沉积过程中,拓扑绝缘体材料的蒸发温度为400℃~800℃。

4.按照权利要求1所述具有光伏特性的拓扑绝缘体薄膜的制备方法,其特征在于:工作气体压强为20Pa~1kPa、蒸发时间为5~480分钟。

5.按照权利要求1或4所述具有光伏特性的拓扑绝缘体薄膜的制备方法,其特征在于:所用工作气体为氢气和氩气的混合气体,氩气与氢气的体积比为20:1~2:1。

6.按照权利要求1~4任一所述具有光伏特性的拓扑绝缘体薄膜的制备方法,其特征在于:所用蒸发沉积材料为碲化铋、硒化铋、碲化锑或它们的掺杂物。

7.按照权利要求1~4任一所述具有光伏特性的拓扑绝缘体薄膜的制备方法,其特征在于:所述硅基片为P型或N型单晶硅晶片。

8.按照权利要求7所述具有光伏特性的拓扑绝缘体薄膜的制备方法,其特征在于:所用硅基片必须经过氢氟酸处理。

9.一种按照权利要求1所述方法制备得到的拓扑绝缘体薄膜,其特征在于:薄膜厚度范围在50纳米~2微米,颗粒尺寸为50纳米~30微米,薄 膜由尺寸不同的拓扑绝缘体片状颗粒组成。

10.一种按照权利要求1所述拓扑绝缘体薄膜在太阳能电池方面的应用。

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