1.一种微波用单层电容器的薄金刻蚀方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)把要制作的微波用单层电容器的陶瓷基板,先进行清洗干净后溅射过渡层钛钨和功能层金;
(2)用CP50胶进行匀胶,并用负掩模板曝光,显影后不去胶;
(3)电镀金,使金电极达到产品要求厚度3~4μm,再电镀保护层到金电极表面覆盖金层用于保护金层,保护层厚度为0.4~0.8μm;
(4)进行刻蚀过程:丙酮去胶;刻金1~2min;刻钛钨1~2min;刻保护层。
2.根据权利要求1所述的微波用单层电容器的薄金刻蚀方法,其特征在于,步骤(1)中所述过渡层钛钨为0.2~0.8μm。
3.根据权利要求1所述的微波用单层电容器的薄金刻蚀方法,其特征在于,步骤(1)中所述功能层金为0.5~1.2μm。