一种可提高多量子阱复合效率的LED外延结构的制作方法

文档序号:12614323阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种可提高多量子阱复合效率的LED外延结构,从下至上依次包括衬底(1)、GaN缓冲层(2)、未掺杂GaN层(3)、N型GaN层(4)、多量子阱(5)、电子阻挡层(6)、P型GaN层(7)和P型接触层(8),其特征在于:所述多量子阱(5)由InxGa(1-x)N/AlN/GaN多量子阱所构成,其中0<x<0.2,所述多量子阱(5)包括8-12周的生长周期,生长压力为100-300Torr,在氮气环境中生长;多量子阱(5)的各周期从下至上包括依次交替生长的GaN层(9)、AlN层(10)和InGaN层(11)。

2.根据权利要求1所述的可提高多量子阱复合效率的LED外延结构,其特征在于:所述GaN层(9)的厚度为100-150埃,生长温度为800-900℃。

3.根据权利要求1或2所述的可提高多量子阱复合效率的LED外延结构,其特征在于:所述AlN层(10)的厚度为5-15埃,生长温度为850-950℃。

4.根据权利要求3所述的可提高多量子阱复合效率的LED外延结构,其特征在于:所述InGaN层(11)的厚度为28-32埃,生长温度为750℃。

5.根据权利要求4所述的可提高多量子阱复合效率的LED外延结构,其特征在于:所述衬底(1)为蓝宝石衬底、GaN衬底或者Si衬底中的任一种。

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