1.一种电磁阻抗感测元件,包括:
第一基材,具有第一表面;
第一图案化导电层,形成于该第一表面上;
第二基材,具有第二表面,面对该第一表面;
第二图案化导电层,形成于该第二表面上,并且与该第一图案化导电层电性接触,并共同定义出一容置空间;
磁性导线(amorphous wire),穿设于该容置空间之中;以及
包覆层,包覆该磁性导线,使该磁性导线分别与该第一图案化导电层和该第二图案化导电层电性隔离;
其中该第一图案化导电层与该第二图案化导电层形成至少一线圈电路(coil of wire)围绕该磁性导线。
2.如权利要求1所述的电磁阻抗感测元件,其中该第一表面具有第一沟槽,一部分的该第一图案化导电层形成于该第一沟槽的一侧壁和一底面上,并且与该第二图案化导电层共同定义出该容置空间。
3.如权利要求2所述的电磁阻抗感测元件,其中该第二表面具有第二沟槽,一部分的该第二图案化导电层位于该第二沟槽的一侧壁和一底面上,并且与位于该第一沟槽的该侧壁和该底面上的该部分该第一图案化导电层共同定义出该容置空间。
4.如权利要求3所述的电磁阻抗感测元件,其中该包覆层填满该第一沟槽和该第二沟槽。
5.如权利要求1所述的电磁阻抗感测元件,其中该第一基材和该第二基材由半导体材质所构成;该第一基材和该第一图案化导电层之间具有第一绝缘层;且该第二基材和该第二图案化导电层之间具有第二绝缘层。
6.一种电磁阻抗感测元件的制作方法,包括:
在一第一基材的一第一表面上形成一第一图案化导电层;
在一第二基材的一第二表面上形成一第二图案化导电层;
将一磁性导线置于该第一表面上,并且使该磁性导线与该第一图案化导电层电性隔离;以及
将该第一基材与该第二基材贴合,使该第一图案化导电层与该第二图案 化导电层电性接触,并共同定义出一容置空间,以容纳该磁性导线穿设其中,并且形成至少一线圈电路围绕该磁性导线。
7.如权利要求6所述的电磁阻抗感测元件的制作方法,其中将该磁性导线置于该第一表面上的步骤,包括:
将该磁性导线置于该第一表面的一第一沟槽中;以及
形成一包覆层包覆该磁性导线,用于使该磁性导线与位于该第一沟槽的一侧壁和一底面上的一部分该第一图案化导电层电性隔离。
8.如权利要求7所述的电磁阻抗感测元件的制作方法,其中该第二表面具有第二沟槽,一部分的该第二图案化导电层位于该第二沟槽的一侧壁和一底面上,且与位于该第一沟槽的该侧壁和该底面上的该部分该第一图案化导电层共同定义出该容置空间。
9.如权利要求6所述的电磁阻抗感测元件的制作方法,其中该第一基材和该第二基材由半导体材质所构成,且在形成该第一图案化导电层和该第二图案化导电层之前,还包括:
在该第一表面上形成一第一绝缘层;以及
在该第二表面上形成一第二绝缘层。
10.如权利要求9所述的电磁阻抗感测元件的制作方法,其中在形成该线圈电路之后还包括:
薄化该第一基材;
形成多个接触窗贯穿该第一基材和该第一绝缘层,使该些接触窗分别与该第一图案化导电层和该第二图案化导电层至少一者以及该磁性导线电性接触;以及
在该第一基材相对于该第一表面的一第三表面上形成一图案化电路层,使该图案化电路层包含多个焊垫,分别与该些接触窗电连接。