技术总结
本发明提供一种上电极组件及反应腔室，包括介质桶、环绕在该介质桶周围的线圈以及用于冷却介质桶的冷却机构，该冷却机构包括冷却通道，该冷却通道位于线圈的内侧，通过向冷却通道内通入冷却介质，来冷却介质桶；并且冷却通道被设置为：使通入其内的冷却介质直接与介质桶相接触；冷却通道具有分别用于输入和输出冷却介质的入口和出口。本发明提供的上电极组件，其不仅可以提高对介质桶的冷却效果，而且还可以提高介质桶的温度均匀性，从而可以提高工艺均匀性。
技术研发人员：王婷婷
受保护的技术使用者：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
文档号码：201510701261
技术研发日：2015.10.26
技术公布日：2017.05.03