移动型等离子装置的制作方法

发明涉及一种移动型等离子装置，尤其是可产生等离子的等离子发生部可以移动，使基板织构化的移动型等离子装置。

背景技术：

太阳电池在PN接合半导体内部，通过太阳光及发生器发生电力。

在制造这种太阳电池时，所使用的半导体一般为单结晶胶体、多结晶胶体、非结晶胶体或化合物半导体等。

单结晶胶体的能源效率最好，但是价格高，与多结晶胶体相比，使用广泛。最近非结晶胶体或化合物半导体等的薄膜蒸着在玻璃或塑料等贵基板上，从而可降低制造薄膜型太阳电池的成本。

在制造上述太阳电池时，为了提高吸光效果，在基板的表面进行织构化工程。

织构化工程是指在基板的表面，形成一定形状的微小凹凸的工程，凹凸形状优选为金字塔形。

为了进行上述的织构化工程，以往技术中，固定可发生等离子的等离子发生部，使用传送带等移动基板。

这样一来，在基板进行等离子织构化工程前，需要有所投入的空间及织构化后的排出空间，导致装置整体体积变大。

技术实现要素：

本发明为了解决上述技术问题，目的在于提供一种可以使基板织构化的等离子装置的整体体积变小的移动型等离子装置。

为了实现本发明的目的，本发明的移动型等离子装置，其特征在于，包括：上面配置有基板的托盘(tray)；发生等离子，喷向配置有所述托盘方向的等离子发生部；使所述等离子发生部相对于所述托盘做直线运动的移动部；所述等离子发生部在做直线移动的同时，可向放在所述托盘上的所述基板喷射等离子。

还包括：连接所述等离子发生部和供电部，调整阻抗的匹配器（Matcher）；所述供电部及所述匹配器被固定，所述等离子发生部可移动。

所述等离子发生部与所述匹配器以同轴线缆连接。

所述移动部包括：安装在所述等离子发生部，形成贯通孔的移动块；贯通所述贯通孔的螺栓；使所述螺栓旋转的驱动马达；所述贯通孔的内周面和所述螺栓的外周面相互螺接，因所述驱动马达的旋转，所述等离子发生部做直线移动。

还包括：上部连接有所述托盘，上面呈开放的下部腔；结合在所述下部腔上部，下面呈开放的上部腔；所述下部腔和所述上部腔相互结合，内部形成腔部；所述等离子发生部自所述腔部的内部，向放在所述托盘上面的基板喷射等离子。

还包括：连接所述等离子发生部和供电部，调整阻抗的匹配器（Matcher）；所述匹配器固定配置在所述腔部的外部；在所述上部腔上，沿着所述等离子发生部的移动方向，形成长的移动孔；所述等离子发生部的上部沿着所述移动孔移动。

在所述移动孔上，在所述等离子发生部上部的移动方向的前方及后方，安装有折纹管；所述折纹管在所述等离子发生部移动时伸缩，使所述腔部的内部从外部封闭。

所述移动部包括：结合在所述下部腔的上面，引导所述等离子发生部直线移动的第一导轨。

所述移动部包括：在所述上部腔的外部上面，沿着所述移动孔的长度方向结合的第二导轨；自所述上部腔的外部，在所述等离子发生部的上部安装有可在所述第二导轨上直线移动的导块；在所述等离子发生部直线移动时，所述导块沿着所述第二导轨做直线移动。

依据上述本发明的内容，本发明的有益效果是：本发明不是移动基板是移动等离子发生部，从而不需要基板的投入及排出空间以及织构化所需要的空间，可整体上减小等离子织构化装置的体积。

附图说明

图1是本发明实施方式的移动型等离子装置的立体图；

图2是本发明实施方式的移动型等离子装置的分解立体图；

图3是图1的A-A线的剖视结构图；

图4a及图4b是本发明实施方式的移动型等离子装置的动作过程图。

具体实施方式

图1是本发明实施方式的移动型等离子装置的立体图；图2是本发明实施方式的移动型等离子装置的分解立体图；图3是图1的A-A线的剖视结构图。

如图1至图3所示的本发明的移动型等离子装置，包括：下部腔11、上部腔12、托盘20、等离子发生部30、移动部40及匹配器50等。

下部腔11向下向凹陷形成，上面向上开放，内部结合有托盘20。

上部腔12向上向凹陷形成，下面向下向开放。

上部腔12结合在下部腔11的上部，在下部腔11和上部腔12内部的空间形成腔部15。

在上部腔12上，沿着等离子发生部30的移动方向，形成长的移动孔13；等离子发生部30的上部可沿着移动孔13移动。

托盘20为平板状，自腔部15，结合在下部腔11的上部，上面配置有基板60。

在托盘20上形成复数个吸附孔21，吸附孔21与真空泵连接，使放在托盘20上面的基板60被真空吸附在托盘20上，并使其固定。

等离子发生部30发生等离子，向托盘20配置的方向，即本实施方式的下向喷射等离子。

也就是说，等离子发生部30自腔部15内部向放在托盘20上面的基板60喷射等离子。

上述等离子发生部30的上部，贯通在上部腔12上形成的移动孔13，向上露出；其下部配置在腔部15内部。

这样以来，因自腔部15的内部，从等离子发生部30喷射的等离子，放在托盘20上部的基板60被织构化。

此外，在移动孔13上，在等离子发生部30的上部移动方向的前方及后方还安装有折纹管14。

折纹管14在等离子发生部30移动时伸缩，自外部密封腔部15的内部。

移动部40使等离子发生部30相对于托盘20做直线移动。

上述等离子发生部30在移动部40直线移动时，向放在托盘20上面的基板60喷射等离子。

也就是说，因移动部40，等离子发生部30可沿着移动孔13做直线移动。

移动部40可为多种结构，在本实施方式中，移动部40由移动块41、螺栓42及驱动马达43等构成。

移动块41安装在等离子发生部30上，形成贯通孔。

螺栓42贯通贯通孔，贯通孔的内周面和螺栓42的外周面相互螺接。

上述螺栓42配置在与移动孔13平行的方向上。

驱动马达43起到使螺栓42旋转的作用。

进一步，因驱动马达43，螺栓42旋转时，与螺栓42螺接的移动块42因安装在等离子发生部30上，从而使等离子发生部30随着螺栓42及移动孔13做直线移动。

如上所述的移动部40还可以包括第一导轨44和第二导轨45及导块46。

第一导轨44结合在下部腔11的上面，与移动孔13及螺栓42平行，引导等离子发生部30的直线移动。

第二导轨45在上部腔12的上部，沿着移动孔13的长度方向，结合在移动孔13的两侧。

导块46自上部腔12的外部，结合在等离子发生部30的上部，并结合在导轨45上，可做直线移动。

进一步，在等离子发生部30直线移动时，导块46随着第二导轨45做直线移动。

匹配器50连接等离子发生部30和供电部55，可调节阻抗。

上述匹配器50利用电阻来调节阻抗，使等离子稳定化。

此时，供电部55及匹配器50被固定，等离子发生部30因移动部40而移动。

匹配器50固定结合在腔部15的外部。

匹配器50被固定，为了使等离子发生器30移动，等离子发生器30和匹配器50以同轴线缆连接。

匹配器50和等离子发生部30以同轴线缆35连接，可耐住因阻抗变更时发生的热。

也就是说，阻抗因等离子发生部30和基板60之间的间隔而变更，从而会产生热，因匹配器50和等离子发生部30以同轴线缆35连接，热阻的范围变大，可耐住因阻抗变更而产生的热。

接下来，对由上述结构构成的本发明的动作过程进行详细说明。

图4a及图4b是本发明实施方式的移动型等离子装置的动作过程图。

如图4a所示，配置在腔部15内部的托盘20的上部上，配置有基板60。

在将基板60配置在托盘20的方向上，使导块46从等离子发生部30的上部分离后，使下部腔11下降或使上部腔12上升，使下部腔11和上部腔12相互隔开，通过其间隔，使基板60配置在托盘20上。

在托盘20的上部配置基板60以后，使移动部40动作。

如图4b所示，随着驱动马达43动作，螺栓42旋转，从而使与螺栓42螺接的移动块41做直线移动，此时，移动块41因安装在等离子发生部30上，等离子发生部30随着螺栓42做直线移动。

与此同时，在等离子发生部30上供入电流及气体，配置在等离子发生部30下部的基板60上喷射等离子，在等离子发生部30移动时，基板60整体被织构化。

移动的等离子发生部30随着移动孔13、第一导轨44及第二导轨45做直线移动。

此时，在移动孔13上安装有折纹管14，即使等离子发生部30沿着移动孔13移动，因折纹管14的伸缩，可将腔部15从外部密封其内部，基板60在织构化时，可防止异物流入腔部15内部，或者是可防止腔部15内部的气体向外放出。

如上所述，本发明不是移动基板60，是移动等离子发生部30，从而不需要基板的投入及排出空间以及织构化所需要的空间，可整体上减小等离子织构化装置的体积。

本发明的移动型等离子装置不局限于上述实施方式，在本发明的精神原则及技术思想范围内的所有替换、变更、变换等均属于本发明的保护范畴。

产业上的适用性

本发明可用在等离子移动的同时向基板进行织构化工程的装置上。