技术特征:
技术总结
本发明提供一种薄膜晶体管及其制造方法、显示面板及显示装置,所述薄膜晶体管包括依次形成于柔性衬底上的有源区、栅极绝缘层、栅极、源极、漏极、钝化层以及平坦化层,在所述钝化层与所述平坦化层之间形成有保护层,所述保护层位于所述有源区及所述栅极的正上方;通过保护层对薄膜晶体管垂直区域的半导体材料产生保护作用,从而降低薄膜晶体管部分材料在弯曲过程中受到的应力,避免薄膜晶体管器件在弯曲过程中可能会造成半导体材料的损伤,进而提高器件的质量。
技术研发人员:单奇;胡坤;林立;刘嵩
受保护的技术使用者:昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司
技术研发日:2016.02.29
技术公布日:2017.09.05