搬送设备的制作方法

本发明涉及搬送物品收纳用容器的设备，特别涉及搬送用于收纳玻璃基板、半导体基板等要求高洁净性的物品收纳容器的搬送设备。

背景技术：

为了提高制造平板显示器、半导体元件这样的精密装置的成品率，在制造设备中对平板显示器的制造过程中使用的玻璃基板、半导体元件的制造过程中使用的半导体基板(硅晶片等)这样的材料基板进行处理时，要求保持基板的高洁净性，使得尘埃等不想要的外部物质不会附着于基板。

因此，在制造工厂等的设备内搬送这些基板时，如专利文献1所述，有时采用以下方法：使用能在上下方向上并列收纳多个基板的矩形收纳容器，在该矩形收纳容器的两端形成的开口部的一侧安装有FFU(鼓风机过滤器单元；送风过滤装置)。根据该方法，通过由FFU将通过过滤器而被洁净化了的空气持续输送到收纳容器内，能够持续保持收纳容器内的洁净性。

但是，为了由FFU持续向收纳容器内送风，需要将用于驱动鼓风机的电力提供给FFU。于是，在专利文献1所记载的搬送设备中，收纳容器具有用于以非接触方式对FFU供电的非接触供电装置的受电部，而且，在用于收纳收纳容器的收纳架上，设置有非接触供电装置的供电部，在该收纳架上收纳有收纳容器的状态下，从收纳架的供电部以非接触方式向收纳容器的受电部供给电力，由此确保FFU的驱动电力。

在此，为了以非接触方式持续供给电力，需要保持非接触供电装置的供电部(送电部)接近受电部的状态，但是，在专利文献1所记载的搬送设备中，由在该设备内移动的堆垛起重装置来搬送收纳容器，因此，在由堆垛起重装置搬送收纳容器的期间，供电部与受电部是分离的。因此，在专利文献1中，设置有蓄积对收纳容器供给的电力的蓄电池，在供电部与受电部分离的期间，由蓄积于该蓄电池的电力来驱动FFU。

但是，如果对设备内大量使用的收纳容器一个一个安装蓄电池，则构建设备的成本增高，而且时间长了，蓄电池会因寿命原因而功能降低，因此，需要花费人力和时间来更换蓄电池。从而导致设备运营成本也增高。

于是，如图8(a)所示，有以下方法：在移交时从堆垛起重装置80的主体部向收纳架81移动的叉子85上，设置送电电极盘89b(送电器)。在移交过程中，如果从该叉上子85上的送电电极盘89b向收纳容器82的受电电极盘89a(受电器)供电，则移交过程中也能够继续驱动FFU84。如果是该方法，则不必对一个一个收纳容器82安装蓄电池，因此，与使用蓄电池时相比，能够以极低成本来构建设备，另外，也不必花费更换蓄电池等的人力和时间，设备运营成本也会降低。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2011－91270号公报

技术实现要素：

但是，为了在收纳容器82的移交动作过程中叉子85最接近收纳架81时(叉子85移动到比图8(a)所示的位置还靠收纳架81侧时)，叉子85侧的送电电极盘89b不与收纳架81侧的送电电极盘88b发生冲突，需要使叉子85最接近收纳架81时叉子85侧的送电电极盘89b的位置与收纳架81侧的送电电极盘88b的位置不同。

于是，有时采取以下这样的对策：在收纳容器82上，除了安装用于在叉子85上接受供电的受电电极盘89a之外，还安装用于在收纳架81上接受供电的受电电极盘88a，使这2个受电电极盘88a、89a处于分开的位置。特别是，如图8(a)、(b)所示，如果受电电极盘88a和受电电极盘89a在叉子85的宽度方向上分开配置，则用于对它们分别进行供电的收纳架81侧的送电电极盘88b和叉子85侧的送电电极盘89b也将被配置在宽度方向上彼此不同的位置，因此，在收纳容器82的移交动作过程中，叉子85侧的送电电极盘89b不会与收纳架81侧的送电电极盘88b发生冲突。

如此一来，在如图8(a)所示，收纳容器82处于叉子85上的情况下，从叉子85侧的送电电极盘89b向叉子85用的受电电极盘89a供电，在如图8(b)所示，收纳容器82处于收纳架81上的情况下，从收纳架81侧的送电电极盘88b向收纳架81用的受电电极盘88a供电，由此，不间断地进行向FFU84的供电。

但是，无论是不是：为了降低所涉及的成本而不是一个一个地对收纳容器82安装蓄电池，这样的构成都需要针对1个收纳容器82设置2个受电电极盘88a、89a，结果是，一个一个收纳容器82所涉及的成本增高。

另外，在移交动作过程中在堆垛起重装置80的主体部与收纳架81之间移动的叉子85上设置送电电极盘89b的情况下，用于向该送电电极盘89b供给电力的电缆必须追随叉子85的移动，因此，必须长距离铺设具有高柔性的高价电缆，布置该电缆所涉及的成本也会增高。

这样，现有方法存在以下这样的问题：为了保持收纳容器82内的高洁净性，搬送设备的设备构建成本增高。

因此，本发明的课题在于提供一种搬送设备，该搬送设备能够保持基板等物品收纳用的收纳容器内的高洁净性，并且能够以低成本进行设备构建。

为了解决上述课题，本发明涉及的搬送设备对物品收纳用的收纳容器进行搬送，设置有：搬送所述收纳容器的搬送机构和保管所述收纳容器的保管部，其特征在于，所述搬送机构具有在所述搬送机构与所述保管部之间移交所述收纳容器的移交装置，所述收纳容器具有将洁净化了的空气输送到所述收纳容器内的送风装置，在所述搬送机构和所述保管部分别设置有送电机构，该送电机构在所述收纳容器被所述搬送机构搬送的期间、以及所述收纳容器被所述保管部保管的期间从所述搬送机构或所述保管部向所述送风装置提供动作电力，所述收纳容器在由所述移交装置在所述搬送机构与所述保管部之间移交的期间，能够通过由所述送风装置在到移交开始前为止进行的送风来被维持内压高于周围环境的状态，由此，能够防止在进行移交的期间从周围环境流入外部物质。

更具体来讲，本发明涉及的搬送设备的特征在于，设置有搬送收纳容器的搬送机构和保管所述收纳容器的保管部，所述收纳容器具有：内部具有能够收纳物品的收纳空间的容器主体、将洁净化了的空气输送到所述收纳空间内的送风装置、以及用于接受以非接触方式供给的所述送风装置的动作电力的容器受电器，所述搬送机构具有：用于支撑所述收纳容器的支撑部、使所述支撑部在所述搬送机构侧的搬送位置与所述保管部侧的保管位置之间移动的移交机构、以及对被处于所述搬送位置的所述支撑部支撑的所述收纳容器的所述容器受电器以非接触方式进行送电的搬送机构送电器，所述保管部具有：用于保管所述收纳容器的保管架、以及对被所述保管架保管的所述收纳容器的所述容器受电器以非接触方式进行送电的保管部送电器，所述移交机构通过使支撑着所述收纳容器的状态下的所述支撑部在所述搬送位置与所述保管位置之间移动，能够在所述搬送机构与所述保管部之间彼此移交所述收纳容器，所述收纳容器在被所述移交机构在所述搬送位置与所述保管位置之间移动的期间，能够通过由所述送风装置在到移动开始前为止进行的送风来维持内压高于周围环境的状态，由此能够防止在进行移动的期间从周围环境流入外部物质。

根据该构成，在移交收纳容器的期间，能够利用收纳空间内的内压来防止尘埃等外部物质的流入，因此，即使FFU等送风装置在移交过程中不被供电而停止，也会保持容纳空间内的高洁净性。

另外，本发明涉及的搬送设备也可以在上述构成的基础上，在所述容器主体的外表面中的第1面上形成有与收纳空间相连的第1开口部，在与所述第1面相对的第2面上形成有与所述第1开口部相对的第2开口部，通过相对于所述第1面拆装盖体，能够使所述第1开口部开放或者封闭，在所述第2面上安装有送风装置，所述送风装置从所述第2开口部向被所述盖体封闭了的所述第1开口部送风，由此，使得所述收纳空间的内压高于周围环境。

根据该构成，从送风装置输送的空气又被向与送风装置相对的位置的第1开口部输送，但是，由于该第1开口部被盖体封闭，因此无法从收纳空间内出来。一方面，朝向第1开口部输送的空气无法向外部吹出，另一方面，由送风装置从第2开口部继续送入空气，因此收纳空间内的空气密度高于周围环境。如此一来，收纳空间内的内压可靠地升高。另外，收纳空间内的空气向周围环境的流出被盖体阻挡，因此，即使送风装置的送风停止，内压也不会立即降低。

另外，本发明涉及的搬送设备也可以在上述构成的基础上，所述搬送机构具有在水平面内使所述支撑部和所述移交机构旋转的旋转台，在所述旋转台上安装有扩展框架，该扩展框架在与所述移交机构所致的所述支撑部的移动方向相反的方向上延伸，所述搬送机构送电器安装于所述扩展框架。

根据该构成，可以在旋转台的外侧，进而可以在支撑部的外侧设置搬送机构送电器。因此，容器受电器的配置即使是由支撑部支撑收纳容器时位于支撑部的外侧，也能够在支撑部的外侧没有问题地进行从搬送机构送电器向容器受电器的供电。而且，由于扩展框架延伸的方向与支撑部的移动方向相反，因此，扩展框架不会阻碍支撑部的移动。

另外，本发明涉及的搬送设备也可以在上述构成的基础上，容器受电器、保管部送电器、搬送机构送电器配置成：保管部送电器相对于被保管部保管的收纳容器的容器受电器而言的相对位置、与搬送机构送电器相对于被处于搬送位置的搬送机构的支撑部支撑的收纳容器的容器受电器而言的相对位置相同。

根据该构成，无论是在收纳容器被保管部保管的状态下，还是在被搬送机构搬送的状态下，由于非接触供电用的送电器和受电器的位置关系相同，因此，都能够使保管部处的非接触供电和搬送机构处的非接触供电的电磁条件一致。因此，能够在移交作业过程之外将送风装置的动作保持恒定，能够将收纳空间内的内压、乃至洁净性保持恒定。

根据本发明，即使在收纳容器的移交过程中送风装置停止，也能够保持收纳容器内的高洁净性，因此，也可以将送电器设置于在移交过程中一边支撑收纳容器一边在移交方向上移动的支撑部。因此，不需要长距离铺设能够追随支撑部的移动的高柔性的电缆，能够抑制布线成本。

另外，只要不在进行移交动作时在搬送机构与保管部之间移动的支撑部上设置送电器，就可以不用考虑在进行移交动作时支撑部侧的送电器与保管部侧的送电器发生冲突的可能性，因此，能够将搬送机构送电器和保管部送电器配置于相同的宽度方向位置。只要是这样的配置，则无论是在搬送机构的搬送过程中还是在保管部的保管过程中，送风装置都能够以同一容器受电器来接受电力供给，因此，安装于收纳容器的受电器只要一个容器受电器即可。即、不需要对收纳容器安装2个受电器，因此，能够将一个一个收纳容器所涉及的成本抑制得较低。因此，能够以低成本进行搬送设备的构建。

附图说明

图1是表示本发明涉及的搬送设备的实施方式的一个例子的俯视图。

图2是图1所示的搬送设备的概略侧视图。

图3是表示在该实施方式的搬送设备中使用的收纳容器的立体图。

图4是表示在该实施方式的搬送设备中搬送台车位于保管部前的状态的概略俯视图。

图5是图4的A－A向视图。

图6是表示图4和图5所示的搬送台车的屈伸式臂伸展的状态的概略俯视图。

图7是图6的B－B向视图。

图8是表示现有技术中对收纳容器的FFU供电的形态的概略俯视图，(a)是表示收纳容器一边被叉子支撑一边被移交的状态的图，(b)是表示收纳容器载放于收纳架的状态的图。

符号说明：

10 搬送设备

11 货架

13 保管架

18 保管架电极盘

20 收纳容器

21 挡板

24 FFU

28 容器电极盘

50 搬送台车

55 叉子

55a 搬送位置

55b 保管位置

58 搬送台车电极盘

59 扩展框架

具体实施方式

参照图1～图7来说明本发明涉及的搬送设备的实施方式的一个例子。

(搬送设备)

在图1概略示出的搬送设备10中，玻璃基板等扁平状物品以收纳于收纳容器20的状态被搬送。作为用于搬送容纳容器20的搬送机构的搬送台车50(堆垛起重装置)在搬送设备10内沿着在搬送方向W上延伸的搬送路径移动。相对于该搬送台车50的搬送路径，在与搬送方向W成直角交叉的移交方向Y一侧，配置有作为用于保管收纳容器20的保管部的货架11。

此外，在图中，为了容易理解各部件间的位置关系，有时以双点划线示出收纳容器20和附属于它的部件。

(保管部)

在图1、图2所示的搬送设备10，作为保管部的2个货架11(rack)彼此相面对设置，使得它们之间夹着搬送台车50的搬送路径。换而言之，在从搬送台车50朝向沿着搬送路径的搬送方向W时，在左右两侧设置有货架11，搬送台车50的移动路径设定于左右货架11彼此之间。

在货架11上，多个保管架13(shelf)沿着搬送方向W并列设置，该保管架13分别能够保管收纳容器20。另外，如图2的概略侧视图所示，在铅直方向H上也重叠地设置有上下多层保管架13。货架11具有在铅直方向H上延伸的多个柱16，如图1所示，在搬送方向W上被该柱16隔成一个一个保管架13。而且，以横跨于沿着移交方向Y排列的2根柱16之间的方式设置有搁板17，如图2所示，在铅直方向H上被该搁板17隔成一个一个保管架13。

如图1所示，搁板17在搬送方向W上扩展得不大，仅扩展到在搬送方向W上排列的柱16彼此之间形成的空间中搬送方向W的端部(货架柱16附近)。由此，从搬送台车50观察移交方向Y时，1个保管架13中包含左侧的搁板17和右侧的搁板17这2块搁板17，这2块搁板17彼此之间的间隔较宽。从搬送台车50观察移交方向Y时，左右2根柱16间的距离大于收纳容器20的宽度，搁板17彼此之间的间隔小于收纳容器20的宽度。因此，在收纳容器20被保管架13保管时，处于仅宽度方向的两端部被2块搁板17分别支撑的状态。

另外，在1个保管架13所包含的2块搁板17中一块搁板(在此，为从搬送台车50朝向移交方向Y时的右侧)的靠近搬送台车50的搬送路径一侧(从搬送台车50观察时为跟前侧)的端部，作为保管部送电器(送电机构)，设置有非接触供电用的保管架电极盘18。保管架电极盘18由埋设有流过来自外部电源的电流而产生磁通量的线圈的板形成。

(收纳容器)

图3示出该搬送设备10内成为搬送对象的收纳容器20的构造。

收纳容器20具有大致长方体形状中相对的2面呈开口的四棱筒状的容器主体25，在用于在该容器主体25内收纳物品的收纳空间亦即基板收纳空间27中，沿上下设置有多个能够以载放状态支撑基板的基板载放栈27a，使得能够在铅直方向H上上下并列收纳多枚玻璃基板等扁平状物品(未图示)。

在容器主体25中形成有开口的2面、也就是第1开口部25a和第2开口部25b上分别安装有作为盖体的挡板21、以及作为送风装置的FFU24(鼓风机过滤器单元)。

从第1开口部25a，将作为收纳对象的基板放入基板收纳空间27，或者从基板收纳空间27取出。而且，在基板的取出放入作业之外的期间，第1开口部25a被挡板21封闭。

FFU24安装于能够覆盖第2开口部25b的FFU安装板22，在由该FFU安装板22覆盖第2开口部25b的状态下，FFU24成为从第2开口部25b向第1开口部25a进行送风的姿势。另外，在FFU安装板22上，作为容器受电器安装有利用非接触供电方式从外部接受FFU24的鼓风机的驱动电力的容器电极盘28。容器电极盘28由埋设有根据外部的磁通量变动而产生电流的线圈的板形成。

挡板21和FFU安装板22分别具有多个卡合部21a、22a，一边使挡板21和FFU安装板22沿着铅直方向H向下方下降，一边使卡合部21a、22a卡止于设置在容器主体25的侧面的卡止部26a、26b，由此，第1开口部25a、第2开口部25b分别被挡板21、FFU安装板22封闭。

(搬送台车)

图1所示的作为搬送机构的搬送台车50是堆垛起重装置等的移动装置，能够在沿着搬送设备10内规定的搬送路径铺设的轨道上在搬送方向W上移动。该搬送台车50具有作为用于支撑收纳容器20的支撑部的叉子55，通过在该叉子55上支撑有收纳容器20的状态下使搬送台车50在轨道上移动，进行搬送设备10内的收纳容器20的搬送。而且，搬送台车50具有沿着搬送方向W排列2根的立柱51，该立柱51如图2所示，在铅直方向H上延伸。叉子55能够沿着立柱51在铅直方向H上升降，搬送台车50使支撑有收纳容器20的状态下的叉子55在铅直方向H上升降，由此，能够使收纳容器20的铅直方向H上的位置对准上下多层的保管架13的每一个。此外，在使叉子55沿着铅直方向H升降的期间、以及进行后述的旋转的期间，有时暂时停止搬送台车50沿着搬送方向W进行的移动，但是，这样的暂时停止状态也是到达作为目的地的保管架13为止的过程的一部分，因此，本实施方式中，不只是搬送台车50在搬送方向W上移动的期间，包括进行升降/旋转的期间在内，叉子55上支撑有收纳容器20的状态中后述的移交动作过程以外的期间被认为是由搬送台车50搬送收纳容器20的期间。

(旋转台)

如图4、图5所示，搬送台车50在立柱51之间具有旋转台53，叉子55通过作为移交机构的屈伸式臂52安装于旋转台53上。屈伸式臂52和叉子55构成移交装置。该旋转台53使屈伸式臂52和叉子55在水平面内旋转，由此能够变更屈伸式臂52和叉子55的姿势。另外，旋转台53、屈伸式臂52、叉子55安装于升降台57，一齐在铅直方向H上升降。通过由该旋转台53使叉子55和屈伸式臂52旋转，能够对移交给设置于搬送方向W的左右两侧的货架11中的哪一个进行切换。

图1中，叉子55为其长度方向与搬送方向W一致的姿势，而图4中，叉子55由旋转台53从图1所示的姿势旋转90°，变成长度方向与移交方向Y一致的姿势。

(叉子)

叉子55由大致长方形的板构成，其宽度方向尺寸小于保管架13的2块搁板17彼此间的间隔。

能够通过使屈伸式臂52屈伸来使叉子55在水平方向上移动。特别是，在是图4所示的叉子55的长度方向与移交方向Y一致的姿势时，如果使屈伸式臂52屈伸，则叉子55在移交方向Y上移动。在通过屈伸式臂52的屈伸而使叉子55在移交方向Y上移动时，如图5、图7所示，叉子55在旋转台53上(搬送机构侧)的搬送位置55a与保管架13内(保管部侧)的保管位置55b之间移动。

然后，使支撑有收纳容器20的状态下的叉子55如图4所示那样旋转成长度方向与移交方向Y一致的姿势，之后使叉子55从搬送位置55a移动到保管位置55b，如图6所示，使叉子55插入搁板17彼此之间，由此，能够将收纳容器20送入保管架13内。

(扩展框架)

如图1～图7所示，在旋转台53上除了屈伸式臂52之外，还安装有扩展框架59。该扩展框架59如图6所示，俯视图中呈T字状的形状，其T字的纵边部的前端安装于旋转台53上。而且，该T字纵边部如图7所示，向与屈伸式臂52伸展的方向相反的一侧延伸，侧视图中呈L字状地向上方弯折，与T字的横边部相连。另外，如图6所示，在T字的横边部的一端侧，作为搬送机构送电器(送电机构)，设置有非接触供电用的搬送台车电极盘58。搬送台车电极盘58由埋设有流过来自外部电源的电流而产生磁通量的线圈的板形成。

(移交动作)

在此，对将被搬送台车50搬送的收纳容器20移交给保管架13时的移交动作进行说明。首先，使支撑有收纳容器20的状态下的叉子55在铅直方向H上升降，直到到达比搁板17稍稍靠上的上方侧为止，并且，旋转成叉子55的长度方向与移交方向Y一致的姿势，如图5所示，成为收纳容器20面对保管架13的入口的状态。之后，使屈伸式臂52伸展而使叉子55从搬送位置55a向保管位置55b移动，之后，使叉子55下降到比搁板17靠下的下方侧时，由于搁板17彼此间的间隔大于叉子55的宽度方向尺寸，且小于收纳容器20的宽度，因此，叉子55从搁板17彼此间穿过，另一方面，将收纳容器20载放于搁板17上，成为图7所示的状态。这样，支撑于叉子55上的收纳容器20如图7所示，被转移到搁板17上。收纳容器20的移交本身到此为止结束，但是，为了搬送台车50能够实施下一作业，使屈伸式臂52收缩而使叉子55返回到搬送位置55a，进而，由旋转台53使叉子55和屈伸式臂52旋转，返回到叉子55的长度方向与搬送方向W一致的姿势。

另外，在将保管架13保管的收纳容器20取出而移交给搬送台车50时，使叉子55在铅直方向H上比搁板17稍稍靠下的位置，插入搁板17彼此之间(图7的状态)，然后，使叉子55上升，由此能够从搁板17上将收纳容器20转移到叉子55上。之后，使屈伸式臂52收缩而使在保管位置55b支撑收纳容器20的状态下的叉子55回收到搬送台车50侧的搬送位置55a(图5的状态)，由此，收纳容器20从保管架13移交给搬送台车50。

(移交开始前)

对将收纳容器20从搬送台车50移交给保管架13时的基板收纳空间27内的形态进行说明。

在移交开始前，如图4、图5所示，保持处于非接触供电的送电侧的搬送台车电极盘58与处于受电侧的容器电极盘28接近的状态，因此，对FFU24以非接触供电继续供给驱动电力。因此，FFU24的鼓风机向基板收纳空间27内继续送入通过过滤器被洁净化了的空气。在该状态下，通过由FFU24向基板收纳空间27内送入空气，使得收纳容器20的内压高于周围环境，尘埃等外部物质无法从周围环境进入基板收纳空间27内。因此，基板收纳空间27内的高洁净性得以保持，尘埃等不会附着在收纳于收纳容器20的基板上。

(移交过程中)

在为了进行移交而使叉子55从搬送位置55a移动到保管位置55b的期间，安装于叉子55上的收纳容器20的容器电极盘28与搬送台车电极盘58脱离，因此，FFU24不再接受驱动电力的供给，FFU24进行的送风停止。

但是，收纳容器20如图3所示，为与基板收纳空间27相连的第1开口部25a和第2开口部25b分别被挡板21和FFU安装板22封闭而被密封的构造，因此，基板收纳空间27内的空气不会溢到外部。因此，到移交开始前为止在搬送位置55a的叉子55上，通过FFU24进行送风而提高了的基板收纳空间27的内压维持高于周围环境的状态。

由于基板收纳空间27的内压高于周围环境，因此，即使在移交过程中FFU24的送风停止，外部物质也无法从周围环境进入到基板收纳空间27内，能够保持基板收纳空间27内的高洁净性。

(移交完成后)

移交结束后，收纳容器20如图6、图7所示，在保管架13内被搁板17支撑的状态下，处于非接触供电的送电侧的保管架电极盘18接近容器电极盘28，因此，FFU24被再次供给驱动电力。由此，移交结束后，FFU24再次开始进行向基板收纳空间27内的送风，因此，基板收纳空间27的内压被继续维持得较高，基板收纳空间27内的洁净性得以保持。

如上所述，本实施方式的搬送设备10中，即使在移交过程中存在FFU24进行的送风中断的期间，基板收纳空间27内的洁净性从移交开始前到移交结束后为止都将会保持得较高。

(本实施方式的优点)

本实施方式的搬送设备10中，即使移交过程中FFU24停止，基板收纳空间27内的洁净性也能够被保持，因此，不需要在移交过程中继续对FFU24进行供电。因此，扩展框架59上的搬送台车电极盘58不需要在移交过程中追随叉子55向移交方向Y的移动。因此，不需要为了布线而使用高柔性的电缆，能够以低成本构建搬送设备10。

另外，在本实施方式中，为了供给FFU24的驱动电力而安装于收纳容器20的非接触供电用的电极盘只需要1个容器电极盘28即可，不必像图8所示的现有技术那样设置2个受电电极盘88a、89a。因此，能够将准备一个一个收纳容器20所花费的成本抑制得较低。

另外，在本实施方式中，与基板收纳空间27相连的第1开口部25a和第2开口部25b被封闭，容纳容器20成为密封状态，因此，一旦通过FFU24的送风使得基板收纳空间27的内压提高，则即使其后停止送风，内压也难以降低。因此，即使移交花费一些时间，在此期间也不会有内压降低而使得外部物质流入基板收纳空间27的危险。

另外，在本实施方式中，由于在安装于旋转台53的扩展框架59上设置有搬送台车电极盘58，因此，如图4、图5所示，能够在叉子55的外侧设置搬送台车电极盘58。因此，即使如图4所示，在收纳容器20被支撑于叉子55上时，容器电极盘28位于叉子55的外侧，也可以通过适当设计扩展框架59的形状来调节设置搬送台车电极盘58的位置，使得能够在该叉子55的外侧的位置向容器电极盘28进行非接触供电。另外，扩展框架59在与屈伸式臂52的屈伸方向、也就是叉子55的移动方向相反的方向上延伸，因此，该扩展框架59不会妨碍屈伸式臂52的屈伸和叉子55的移动。另外，扩展框架59和搬送台车电极盘58由于与叉子55一起旋转，因此，到屈伸式臂52的屈伸所致的移交动作即将开始之前为止，都能够继续对容器电极盘28供电。

此外，只要扩展框架59的形状合适，则能够使图4、图5所示的收纳容器20被支撑在搬送位置55a的叉子55上的状态下的搬送台车电极盘58和容器电极盘28的位置关系与图6、图7所示的收纳容器20被保管架13保管的状态下的保管架电极盘18和容器电极盘28的位置关系相同。于是，不管是在收纳容器20被保管架13保管的状态下，还是在被搬送台车50搬送的状态下，都能够使非接触供电的电磁条件相同，因此，在移交过程之外能够使FFU24的动作恒定，能够将基板收纳空间27内的内压、以及洁净性保持稳定。

(变形例)

另外，在本实施方式中，如图3所示，FFU24从与基板的出入口亦即第1开口部25a相对的第2开口部25b进行送风，但是，送风方向不限于此，只要能够通过送风来提高基板收纳空间27内的内压即可。例如，也可以从收纳容器20的上表面侧进行送风。另外，在本实施方式中，将FFU24和容器电极盘28一起安装于第2开口部25b侧，但是，只要利用电缆将FFU24和容器电极盘28连接起来，则也可以将FFU24安装于与容器电极盘28不同的面(例如上表面)上。

另外，在本实施方式中，通过使FFU24安装于FFU安装板22，并且使该FFU安装板22能够相对于第2开口部25b进行拆装，既能够使第2开口部25b开放，也能够将其封闭，但是，也可以使收纳容器20中安装FFU24一侧的面常时封闭。也就是，也可以采用以下构造：使FFU安装板22形成容器主体25的一面，并将FFU24安装于与容器主体25一体化了的FFU安装板22。

另外，在本实施方式中，不管是在保管架13上还是在搬送位置55a的叉子55上，非接触供电的送电侧和受电侧的位置关系是相同的，但是，这些相对位置也可以不是配置成严格地相同，只要送电侧的电极盘(保管架电极盘18、搬送台车电极盘58)和受电侧的电极盘(容器电极盘28)配置成充分接近的状态，使得在移交动作过程中(屈伸臂52伸缩的期间)之外的期间中能够对FFU24进行非接触供电即可。

另外，在本实施方式中，通过扩展框架59将搬送台车电极盘58安装于旋转台53，但是并不一定要设置扩展框架59，也可以根据搬送台车50、收纳容器20、保管架13等的构造、特别是容器电极盘28和保管架电极盘18的配置来改变搬送台车电极盘58的配置。例如，如果旋转台53是在俯视图中扩展到叉子55的外侧的形状，则也可以在处于叉子55的外侧的旋转台53上直接安装搬送台车电极盘58。

另外，在本实施方式中，使容器电极盘28、保管架电极盘18、搬送台车电极盘58以非接触供电方式进行送受电，但是，如果采取了针对伴随机械接触而产生的粉尘、火花的对策，并且进行了用于进行准确位置对准的处理，则也可以使这些电极盘构成为接触供电方式，例如通过使扩展成平面状的金属端子盘彼此接触来进行供电。

另外，在本实施方式中，将在沿着搬送路径铺设的轨道上移动的搬送台车50作为搬送机构来使用，进行了收纳容器20的搬送，但是，搬送机构不限于此，例如也可以是以从设备的顶棚侧吊挂的状态进行收纳容器20的搬送的顶棚搬送车等。另外，对于保管部而言，也不限于本实施方式的保管架13，例如也可以是通过在具有非接触供电装置的装货架上载放收纳容器20来进行保管。另外，也可以不是像本实施方式这样由多个保管架13构成保管部，而是由单一的保管架来构成。