1.一种增加开态电流的隧穿场效应晶体管,包括源区、漏区、栅氧化层、源电极、栅电极、漏电极、侧墙、本征区,其特征在于:
源区与漏区之间设有低K介质区将两者隔离,本征区位于源区之上,且在本征区与漏区不直接相连,两者之间设有一层导电通道;导电通道位于低K介质区之上;
源区掺杂浓度1×1018cm-3~1×1020cm-3,漏区掺杂浓度1×1018~1×1019cm-3,导电通道掺杂浓度不超过1×1013cm-3;
侧墙设置于栅电极两侧,其介电常数高于SiO2的介电常数;
所述低K介质是指介电常数低于器件有源区介电常数的材料,且为绝缘介质;
源区载流子隧穿到本征区经导电通道输运至漏区。
2.如权利要求1所述增加开态电流的隧穿场效应晶体管,其特征在于:所述导电通道为多晶硅。
3.如权利要求2所述增加开态电流的隧穿场效应晶体管,其特征在于:所述多晶硅的长度不超过0.1um。
4.如权利要求1所述增加开态电流的隧穿场效应晶体管,其特征在于:所述本征区的厚度不超过5nm。
5.如权利要求1所述增加开态电流的隧穿场效应晶体管,其特征在于:所述源区、本征区和漏区的材料为Ge、Ⅲ-Ⅴ、Ⅱ-Ⅵ化合物或Si。
6.如权利要求1所述增加开态电流的隧穿场效应晶体管,其特征在于:所述低K介质区13采用真空或SiO2。
7.如权利要求1所述增加开态电流的隧穿场效应晶体管,其特征在于:对于N型TFET,源区P型重掺杂,漏区N型重掺杂,此外,源电极接低电位,漏电极接高电位,栅电极接正压确保N型TFET处于正常开启的工作状态。
8.如权利要求1所述增加开态电流的隧穿场效应晶体管,其特征在于:对于P型TFET,源区N型重掺杂,漏区P型重掺杂,源电极接高电位,漏电极接低电位,栅电极接负压确保P型TFET处于正常开启的工作状态。
9.如权利要求1所述增加开态电流的隧穿场效应晶体管,其特征在于:所述源区不出现绝缘介质。