晶硅电池片及其制备方法与流程

文档序号:11136676阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种晶硅电池片,包括晶硅电池片基体、指栅电极、焊接电极、背电极和铝背导电层,所述指栅电极和焊接电极设置在晶硅电池片基体的正面,所述背电极和铝背导电层设置在晶硅电池片基体的背面;其特征在于,所述晶硅电池片基体正面与焊接电极对应的区域的方块电阻值为20Ω/□~60Ω/□,所述铝背导电层厚度比背电极高1μm~3μm,所述指栅电极的厚度比焊接电极高1μm~3μm。

2.根据权利要求1所述的晶硅电池片,其特征在于,所述晶硅电池片基体从正面到背面依次包括SiNx减反射膜、SiO2薄膜、PN结、正面制绒的晶硅片、Al2O3钝化膜和SiNx保护膜。

3.一种晶硅电池片的制备方法,包括以下步骤:

(1)扩散PN结:通过扩散工艺在正面制绒的晶硅片的表面制备PN结,扩散PN结方块电阻值为130Ω/□~150Ω/□;

(2)激光掺杂:对晶硅片的预设焊接电极区域进行激光掺杂、退火,使得所述预设焊接电极区域的方块电阻值为20Ω/□~60Ω/□,所述预设焊接电极区域位于晶硅片的正面;

(3)成膜:去除晶硅片背面的PN结,并在晶硅片的正面依次形成SiO2薄膜和SiNx减反射膜,在晶硅片的背面依次形成Al2O3钝化膜、SiNx保护膜,去除晶硅片背面的预设铝硅接触导电窗口区域的Al2O3钝化膜和SiNx保护膜;

(4)丝网印刷:在晶硅片背面的预设背电极区域印刷背电极银浆并烘干,在晶硅片背面的预设铝背导电层区域印刷铝背导电层铝浆并烘干,在晶硅片正面的预设焊接电极区域印刷焊接电极银浆并烘干,在晶硅片正面的预设指栅电极区域印刷指栅电极银浆并烘干;所述背导电层铝浆厚比背电极银浆厚1μm~3μm,所述指栅电极银浆比焊接电极银浆厚1μm~3μm;

(5)烧结。

4.根据权利要求3所述的晶硅电池片的制备方法,其特征在于,所述步骤(2)中,所述激光掺杂的工艺为:激光波长100~600nm,激光频率为10~150KHZ,激光扫描速率为100~2000mm/s)。

5.根据权利要求4所述的晶硅电池片的制备方法,其特征在于,所述步骤(2)中,所述退火工艺为:退火温度为400℃~650℃,退火时间为300s~3000s。

6.根据权利要求3所述的晶硅电池片的制备方法,其特征在于,所述步骤(3)中,背电极印刷网版膜厚为4μm~6μm,网版目数为300~350,印刷压力10~100N;铝背场网版膜厚为5μm~7μm,网版目数为250~300,网版张力25~35N,印刷压力10~100N。

7.根据权利要求4所述的晶硅电池片的制备方法,其特征在于,所述步骤(3)中,栅电极网版膜厚为12μm~14μm,网版目数为300~350、印刷压力10~100N,焊接区域电极网版膜厚为10μm~12μm,网版目数为300~350、印刷压力10~100N。

8.根据权利要求3~7任一项所述的晶硅电池片的制备方法,其特征在于,所述步骤(5)中,烧结工艺为:烧结温度为350℃~500℃,烧结时间10s~60s。

9.根据权利要求3~7任一项所述的晶硅电池片的制备方法,其特征在于,所述步骤(1)中,扩散工艺为:扩散温度为800℃~850℃,扩散管内压强100mbar~300mbar,扩散时间20min~40min,扩散时间1000s~3000s。

10.根据权利要求3~7任一项所述的晶硅电池片的制备方法,其特征在于,所述步骤(2)中,所述激光掺杂用激光器包括紫外皮秒激光器、紫外纳秒激光器或绿光皮秒激光器。

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