本发明涉及集成电路技术领域，特别涉及晶圆的储存装置。
背景技术：
现有的晶圆一般集装于储存箱中，由于放置不合理，晶圆之间会相互接触，还存在碰撞箱内壁的状况，从而存在一定的破损率。
技术实现要素：
针对现有晶圆储存装置存在的上述问题，申请人进行研究及改进，提供一种晶圆专用储存架，晶圆放置于可一定角度范围内转动的支撑框中，避免晶圆碰撞，调节安放角度，方便储运。
为了解决上述问题，本发明采用如下方案：
一种晶圆专用储存架，包括顶横梁、底横梁及安装于所述顶横梁与底横梁之间的多个支撑框，所述支撑框间隔布置于顶横梁与底横梁之间，支撑框的上下两端均设有转轴，借助所述转轴与顶横梁及底横梁转动连接，支撑框上设有贯通的、可容晶圆置入的安放槽，所述安放槽的上下两端具有软垫。
本发明的技术效果在于：
本发明中，间隔设置的支撑框，晶圆的安放操作简单，支撑框可调节角度，方便储存架根据需要置入包装箱中，使用方便。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
图中：1、顶横梁；2、底横梁；3、支撑框；4、转轴；5、安放槽；6、软垫。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步说明。
如图1所示，本实施例的晶圆专用储存架，包括顶横梁1、底横梁2及安装于顶横梁1与底横梁2之间的多个支撑框3，支撑框3间隔布置于顶横梁1与底横梁2之间，支撑框3的上下两端均设有转轴4，借助转轴4与顶横梁1及底横梁2转动连接，支撑框3上设有贯通的、可容晶圆置入的安放槽5，安放槽5的上下两端具有软垫6。使用时，将晶圆直接卡入安放槽5中，由于软垫6的设置，可防止晶圆脱离。晶圆放入后，可适当转动支撑框3的角度，以将其置入包装箱中。
本发明中，间隔设置的支撑框，晶圆的安放操作简单，支撑框可调节角度，方便储存架根据需要置入包装箱中，使用方便。
以上所举实施例为本发明的较佳实施方式，仅用来方便说明本发明，并非对本发明作任何形式上的限制，任何所属技术领域中具有通常知识者，若在不脱离本发明所提技术特征的范围内，利用本发明所揭示技术内容所作出局部改动或修饰的等效实施例，并且未脱离本发明的技术特征内容，均仍属于本发明技术特征的范围内。