1.一种电感的形成方法，其特征在于，包括如下步骤，
s10：提供衬底，所述衬底中具有第一金属层；
s20：在所述衬底中形成第一沟槽和第二沟槽，所述第二沟槽与所述第一金属层连通，所述第一沟槽的宽度是第二沟槽的宽度的1.5～15倍；
s30：在所述第一沟槽和所述第二沟槽内填充导电材料，所述导电材料填满所述第二沟槽，但未填满所述第一沟槽；
s40：在所述衬底上形成第二金属层，刻蚀所述第二金属层形成电感线圈，所述电感线圈中的第二金属层在所述第一沟槽处的上表面形成凹陷，且所述第二金属层填充在所述第一沟槽中的部分形成为凸向所述第一沟槽的底面的凸起。
2.根据权利要求1所述的电感的形成方法，其特征在于，所述电感线圈为螺旋形。
3.根据权利要求1所述的电感的形成方法，其特征在于，所述第一沟槽的深度为0.4μm～4μm，所述第一沟槽的宽度为0.4μm～4μm。
4.根据权利要求1所述的电感的形成方法，其特征在于，所述第二沟槽的深度为0.4μm～4μm，所述第二沟槽的宽度为0.1μm～1μm。
5.根据权利要求1所述的电感的形成方法，其特征在于，所述导电材料为钨。
6.根据权利要求1所述的电感的形成方法，其特征在于，在步骤s30之后还包括化学机械研磨步骤。
7.根据权利要求1所述的电感的形成方法，其特征在于，在步骤s40之后还包括在所述衬底上形成钝化层的步骤。
8.根据权利要求1所述的电感的形成方法，其特征在于，所述第一金属层和第二金属层的材料为铝。
9.一种电感，其特征在于，根据权利要求1至8中任意一项所述的电感的形成方法形成的电感，所述电感包括衬底及形成于所述衬底中的电感线圈。