薄膜电容器的制作方法

文档序号:12477139阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种薄膜电容器,具备:

电容器元件,其具有电介质薄膜、及隔着所述电介质薄膜而相互对置的一对电极层;和

一对端面电极,其形成于所述电容器元件的两端,

所述一对电极层中的至少一方的电极层包含铝来作为主成分,且还包含锌与镁,

镁的原子浓度的峰值与锌的原子浓度的峰值相比,存在于更靠近所述至少一方的电极层的表面的位置,

所述至少一方的电极层具有:在沿着所述至少一方的电极层的所述表面的宽度方向上由绝缘部相互分开的大电极部、和比所述大电极部小的小电极部,

所述至少一方的电极层的所述宽度方向上的镁的原子浓度的峰值存在于所述大电极部。

2.根据权利要求1所述的薄膜电容器,其中,

所述小电极部比所述大电极部薄。

3.一种薄膜电容器,具备:

电容器元件,其具有电介质薄膜、及隔着所述电介质薄膜而相互对置的一对电极层;和

一对端面电极,其形成于所述电容器元件的两端,

所述一对电极层中的至少一方的电极层包含铝来作为主成分,且还包含镁,

所述至少一方的电极层具有:在沿着所述至少一方的电极层的表面的宽度方向上由绝缘部相互分开的大电极部、和比所述大电极部小的小电极部,

所述至少一方的电极层的所述宽度方向上的镁的原子浓度的峰值存在于所述大电极部。

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