基于柔性制造工艺的高压平面开关结构及其制备方法与流程

文档序号:12477575阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于柔性制造工艺的高压平面开关结构,其特征在于:包括正电极板(1)、负电极板(2)和信号输入极板(3),所述正电极板(1)包括正极板绝缘衬底(11)和设置于正极板绝缘衬底(11)上的正电极(12),所述负电极板(2)包括负极板绝缘衬底(21)和设置于负极板绝缘衬底(21)上的负电极(22),所述信号输入极板(3)包括爆炸箔绝缘衬底(31)和设置于爆炸箔绝缘衬底(31)上的爆炸箔正电极(32)、爆炸箔负电极(33),所述爆炸箔正电极(32)、爆炸箔负电极(33)对应设置;所述负电极板(2)、信号输入极板(3)、正电极板(1)对应上下层压构成高压平面开关结构,所述正电极板(1)的正电极(12)与负电极板(2)的负电极(22)在空间位置上存在交叉部分(4),并且正电极板(1)与负电极板(2)之间通过绝缘衬底隔开,所述爆炸箔正电极(32)与爆炸箔负电极(33)之间的连线经过该交叉部分(4);所述正极板绝缘衬底(11)、负极板绝缘衬底(21)、爆炸箔绝缘衬底(31)均由聚酰亚胺材料制造而成,所述正电极(12)、负电极(22)、爆炸箔正电极(32)、爆炸箔负电极(33)均为铜箔材料制造出的覆铜膜。

2.按照权利要求1所述的基于柔性制造工艺的高压平面开关结构,其特征在于:所述爆炸箔正电极(32)与爆炸箔负电极(33)通过导电材料电连接,该导电材料在空间位置上经过该交叉部分(4)。

3.按照权利要求1或2所述的基于柔性制造工艺的高压平面开关结构,其特征在于:所述负电极板(2)对应爆炸箔正电极(32)开有缺口(23),所述负电极板(2)对应爆炸箔负电极(33)开有缺口(23)。

4.按照权利要求3所述的基于柔性制造工艺的高压平面开关结构,其特征在于:所述正电极板(1)整体呈长方形,所述正电极(12)整体呈长方形;所述负电极板(2)为与正电极板(1)相对应的长方形状,所述负电极(22)整体呈长方形;所述信号输入极板(3)为与正电极板(1)相对应的长方形状;所述负电极板(2)、信号输入极板(3)、正电极板(1)采用层压键合方式依次上下压合构成高压平面开关结构,高压平面开关结构的交叉部分(4)呈长方形或正方形。

5.按照权利要求1~4任一项所述的高压平面开关结构的制备方法,其特征在于:其制备方法如下:

A、制备正电极板:采用聚酰亚胺材料制造出正极板绝缘衬底(11),并在正极板绝缘衬底(11)上表面覆盖一层铜箔形成覆铜膜,然后对该覆铜膜进行曝光、显影、蚀刻工艺处理得到正电极(12);

B、制备负电极板:采用聚酰亚胺材料制造出负极板绝缘衬底(21),并在负极板绝缘衬底(21)上表面覆盖一层铜箔形成覆铜膜,然后对该覆铜膜进行曝光、显影、蚀刻工艺处理得到负电极(22);

C、制备信号输入极板:采用聚酰亚胺材料制造出爆炸箔绝缘衬底(31),并在爆炸箔绝缘衬底(31)上表面覆盖两处铜箔形成两处覆铜膜,然后对两处覆铜膜分别进行曝光、显影、蚀刻工艺处理得到爆炸箔正电极(32)和爆炸箔负电极(33);

D、采用层压键合工艺将负电极板(2)、信号输入极板(3)、正电极板(1)依次上下压合在一起,并最终得到高压平面开关结构;此时,正电极板(1)的正电极(12)与负电极板(2)的负电极(22)在空间位置上存在交叉部分(4),并且正电极板(1)与负电极板(2)之间通过绝缘衬底隔开,所述爆炸箔正电极(32)与爆炸箔负电极(33)之间的连线经过该交叉部分(4)。

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