技术总结
本实用新型提供了一种高效高亮度真空紫外光源装置，包括等离子保持器、射频电场聚焦器和密封固定装置。本实用新型装置利用等离子局域场原理在局部空间形成高密度的射频电场(电场强度可以达到107V/m)，可以直接电离激发等离子，不需要传统的点火装置，简化了系统，提高了实用和稳定性；通过对射频电场聚焦器、等离子保持器尺寸参数、进气参数进行合理配置，可以实现1018photons/(Sr*S)以上级别的紫外光发光强度；本实用新型装置不受传统的工作气体限制，可以使用多种不同的工作气体，发出的紫外光能量可以覆盖6～50eV；另外本实用新型的装置可有10000小时以上的超长使用寿命。
技术研发人员：谢英英;欧宏炜
受保护的技术使用者：费勉仪器科技（上海）有限公司
文档号码：201620355423
技术研发日：2016.04.25
技术公布日：2016.11.30