一种不锈钢吸盘装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种不锈钢吸盘装置，其特征在于：由不锈钢基盘和不锈钢吸盘构成，不锈钢基盘中心制有真空排气孔，不锈钢基盘的上表面制有嵌装不锈钢吸盘的浅槽，不锈钢吸盘上均匀制有吸孔，不锈钢吸盘嵌装于所述浅槽内并与不锈钢基盘采用圆周间隔布置的定位销固定安装。本实用新型结构设计科学合理，采用不锈钢基盘与不锈钢吸盘进行结合，不锈钢基盘可便于与其他设备进行安装，不锈钢吸盘加工出微小的吸孔，具有吸力大且均匀，易于加工，耐高温，耐腐蚀，使用寿命长的优点。
【专利说明】
一种不锈钢吸盘装置
技术领域
[0001]本实用新型属于硅晶片生产设备领域，特别是一种不锈钢吸盘装置。【背景技术】
[0002]在半导体集成电路制造过程中，硅晶片需要在贴合、划片等多达几百种工艺设备之间来回传输并进行加工检测。在加工检测过程中，需要将硅晶片十分平稳、固定地安放在工艺设备上。目前市场上通用的是静电吸盘，静电吸盘以其作用力分布均匀，硅晶片不会翘曲、非直接接触、污染少及可用于高真空环境中而得到应用。然而现有的静电吸盘存在不耐高温、易于损耗、不耐酸碱和有机溶剂、不易清洗、易污染晶圆片，要经常更换的缺点。目前， 也有陶瓷吸盘，其采用陶瓷材质，制造难度大、成本高、易碎。
【发明内容】
[0003]本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种易于生产制造，且具有耐高温、耐酸碱、使用寿命长的不锈钢吸盘装置。
[0004]本实用新型解决其技术问题是通过以下技术方案实现的:
[0005]—种不锈钢吸盘，其特征在于:由不锈钢基盘和不锈钢吸盘构成，不锈钢基盘中心制有真空排气孔，不锈钢基盘的上表面制有嵌装不锈钢吸盘的浅槽，不锈钢吸盘上均匀制有吸孔，不锈钢吸盘嵌装于所述浅槽内并与不锈钢基盘采用圆周间隔布置的定位销固定安装。
[0006]而且，所述的不锈钢吸盘上所制的吸孔为激光打孔，每个吸孔由靠近不锈钢吸盘正面的粗孔段及靠近不锈钢吸盘背面的细孔段构成。
[0007]而且，所述的吸孔的粗孔段直径为1.2mm，细孔段直径为0.4mm。
[0008]而且，所述的不锈钢吸盘直径为150-160mm，吸孔数量为1390-1400个。
[0009]而且，所述的不锈钢基盘的上表面刻制有多道平行排布的凹槽，该凹槽与所述不锈钢吸盘的背面之间形成真空气体通道。
[0010]而且，所述的不锈钢基盘的四周制有安装孔。
[0011]而且，所述的不锈钢基盘的下表面制有1-3道密封环。
[0012]而且，所述的不锈钢基盘的外周间隔嵌装有磁铁。
[0013]本实用新型的优点和有益效果为:
[0014] 1、本不锈钢吸盘装置，采用不锈钢钢基盘与不锈钢吸盘进行嵌装，不锈钢材质具有易于加工的优点，在不锈钢吸盘上采用激光打孔加工出吸孔，使其具有高密度，高精度， 吸附效果可靠。
[0015]2、本不锈钢吸盘装置，不锈钢吸盘直径为150-160mm，吸孔数量为1390-1400个，直径大可适用于大面积的硅晶片加工检测，吸孔数量多，吸附力度均匀。
[0016]3、本不锈钢吸盘装置，不锈钢基盘内表面制有平行排布的凹槽，该凹槽与所述不锈钢吸盘的下表面之间形成真空气体通道，有利于气体的均匀排布，提高吸附力的均匀性。
[0017]4、本不锈钢吸盘装置，不锈钢基盘的四周制有安装孔，不锈钢基盘的下表面制有1-3道密封环，不锈钢基盘的外周间隔嵌装有磁铁，有利于不锈钢基盘与其他设备的固定安装。
[0018]5、本实用新型结构设计科学合理，采用不锈钢基盘与不锈钢吸盘进行结合，不锈钢基盘可便于与其他设备进行安装，不锈钢吸盘加工出微小的吸孔，具有吸力大且均匀，易于加工，耐高温，耐腐蚀，使用寿命长的优点。
【附图说明】
[0019]图1为本实用新型的不锈钢基盘的主视图；
[0020]图2为图1的后视图；
[0021]图3为图1的A-A向视图；
[0022]图4为本实用新型的不锈钢吸盘的主视图；
[0023]图5为图4的B-B向视图；
[0024]图6为图5的C部放大图。
[0025]附图标注说明:
[0026]1-不锈钢基盘、2-浅槽、3-凹槽、4-真空排气孔、5定位销孔、6-安装孔、7-磁铁、8-密封环、9-不锈钢吸盘、I O-吸孔、11 -粗孔段、12-细孔段。
【具体实施方式】
[0027]下面通过具体实施例对本实用新型作进一步详述，以下实施例只是描述性的，不是限定性的，不能以此限定本实用新型的保护范围。
[0028]—种不锈钢吸盘装置，其由不锈钢基盘I和不锈钢吸盘9构成，不锈钢基盘中心制有真空排气孔4，不锈钢基盘的上表面制有嵌装不锈钢吸盘的浅槽2，不锈钢吸盘上均匀制有吸孔10，不锈钢吸盘上制有定位销孔5。不锈钢吸盘嵌装于浅槽内并与不锈钢基盘采用圆周间隔布置的定位销固定安装。
[0029]不锈钢吸盘上所制的吸孔为激光打孔，每个吸孔由靠近不锈钢吸盘正面的粗孔段11及靠近不锈钢吸盘背面的细孔段12构成。吸孔的粗孔段直径为1.2mm，细孔段直径为0.4mm。不锈钢吸盘直径为150-160mm，吸孔数量为1390-1400个。
[0030]不锈钢基盘的上表面刻制有多道平行排布的凹槽3，该凹槽与所述不锈钢吸盘的背面之间形成真空气体通道。不锈钢基盘的四周制有安装孔6。不锈钢基盘的下表面制有1-3道密封环8。不锈钢基盘的外周间隔嵌装有磁铁7。有利于不锈钢基盘与其他设备的固定安装。
[0031]采用不锈钢钢基盘与不锈钢吸盘进行嵌装，不锈钢材质具有易于加工的优点，在不锈钢吸盘上采用激光打孔加工出吸孔，使其具有高密度，高精度，吸附效果可靠。
[0032]尽管为说明目的公开了本实用新型的实施例和附图，但是本领域的技术人员可以理解:在不脱离本实用新型及所附权利要求的精神和范围内，各种替换、变化和修改都是可能的，因此，本实用新型的范围不局限于实施例和附图所公开的内容。
【主权项】
1.一种不锈钢吸盘装置，其特征在于:由不锈钢基盘和不锈钢吸盘构成，不锈钢基盘中心制有真空排气孔，不锈钢基盘的上表面制有嵌装不锈钢吸盘的浅槽，不锈钢吸盘上均匀制有吸孔，不锈钢吸盘嵌装于所述浅槽内并与不锈钢基盘采用圆周间隔布置的定位销固定安装。2.根据权利要求1所述的一种不锈钢吸盘装置，其特征在于:所述的不锈钢吸盘上所制的吸孔为激光打孔，每个吸孔由靠近不锈钢吸盘正面的粗孔段及靠近不锈钢吸盘背面的细孔段构成。3.根据权利要求2所述的一种不锈钢吸盘装置，其特征在于:所述的吸孔的粗孔段直径为1.2mm，细孔段直径为0.4mm。4.根据权利要求1或2或3所述的一种不锈钢吸盘装置，其特征在于:所述的不锈钢吸盘直径为150-160mm，吸孔数量为1390-1400个。5.根据权利要求1所述的一种不锈钢吸盘装置，其特征在于:所述的不锈钢基盘的上表面刻制有多道平行排布的凹槽，该凹槽与所述不锈钢吸盘的背面之间形成真空气体通道。6.根据权利要求1所述的一种不锈钢吸盘装置，其特征在于:所述的不锈钢基盘的四周制有安装孔。7.根据权利要求1所述的一种不锈钢吸盘装置，其特征在于:所述的不锈钢基盘的下表面制有1-3道密封环。8.根据权利要求1所述的一种不锈钢吸盘装置，其特征在于:所述的不锈钢基盘的外周间隔嵌装有磁铁。
【文档编号】H01L21/683GK205692816SQ201620610580
【公开日】2016年11月16日
【申请日】2016年6月17日 公开号201620610580.0, CN 201620610580, CN 205692816 U, CN 205692816U, CN-U-205692816, CN201620610580, CN201620610580.0, CN205692816 U, CN205692816U
【发明人】周万群, 程艳, 黄维仓
【申请人】旭丰（天津）电子设备有限公司