一种圆片真空吸盘的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种圆片真空吸盘，包括盘体和若干真空吸孔；所述盘体具有若干曝光角度线，所述曝光角度线的角度范围为0~90度；所述若干曝光角度线的长度均相等；所述若干曝光角度线的中点与真空吸盘盘体圆边的距离均相等。以上所述LED圆片真空吸盘用于曝光作业时，可以快速准确对位LED圆片的曝光角度，并且角度可任意选择，避免传统真空吸盘曝光作业时产生的曝光角度误差，提升LED圆片曝光角度作业的一致性，避免切割作业差异，进而提升切割良率从而提升LED芯片良率；同时，上述LED圆片真空吸盘用于测试作业时，可以快速准确对位LED圆片芯粒的方向，减少调节芯粒对位的作业时间，进而提升测试效率。
【专利说明】
_种圆片真空吸盘
技术领域
[0001]本实用新型属于LED制造技术领域，具体涉及一种圆片真空吸盘。
【背景技术】
[0002]随着发光二极管(LED)市场竞争的日益激烈，LED芯片良率的提升已成为各大厂商的重点项目。其中，为了提升LED芯片的切割良率，主要为改善切割破片和背崩时，LED圆片在芯片曝光作业时通常采用与其晶格方向成一定角度的曝光，目前常采用45度角进行曝光作业，而目前的真空吸盘，是通过将LED圆片的平边与真空吸盘盘体中真空吸孔所处的其中一条对称轴(与X轴方向呈45度)放置为垂直而进行曝光作业，但是，这样在作业时难免会产生LED圆片的曝光角度误差，影响后续切割作业，从而影响LED圆片的切割良率进而影响LED芯片良率，并且其他角度的曝光作业也无法实现。因此，有必要设计一种新型的圆片真空吸盘来解决以上问题。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的为:解决传统LED圆片真空吸盘存在曝光角度误差，影响后续切割作业，影响LED圆片的切割良率进而影响LED芯片良率，以及无法实现不同曝光角度作业的问题，而设计了一种新型的LED晶圆片真空吸盘。
[0004]本实用新型的技术方案为:一种圆片真空吸盘，包括真空吸盘盘体和位于所述盘体上表面的若干真空吸孔，所述真空吸盘盘体的上表面还具有若干曝光角度线，所述曝光角度线的角度范围为O?90度。
[0005]优选地，所述若干曝光角度线的长度均相等。
[0006]优选地，所述若干曝光角度线的中点与真空吸盘盘体圆边的距离均相等。
[0007]优选地，所述真空吸孔分布于真空吸盘盘体的对称轴上。
[0008]优选地，所述真空吸孔所处的相间隔的对称轴相互正交。
[0009]优选地，所述圆片真空吸盘可用于圆片的曝光作业。
[0010]优选地，所述圆片真空吸盘可用于圆片的测试作业。
[0011]本实用新型所述圆片真空吸盘的有益效果为:所述圆片真空吸盘用于LED圆片的曝光作业时，可以快速准确对位LE圆片的曝光角度，并且角度可任意选择，避免传统真空吸盘曝光作业时产生的曝光角度误差，提升LED圆片曝光角度作业的一致性，避免切割作业差异，进而提升切割良率从而提升LED芯片良率；同时，所述LED圆片真空吸盘用于LED圆片的测试作业时，可以快速准确对位LED圆片芯粒的方向，减少调节芯粒对位的作业时间，进而提升测试效率。
【附图说明】
[0012]附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。此外，附图是描述概要，不是按比例绘制。
[0013]图1为根据本实施用新型实施的一种圆片真空吸盘的示意图。
[0014]图中标示:100:真空吸盘；101:真空吸盘盘体；102:真空吸孔；103:曝光角度线；104:0度曝光角度线；105:90度曝光角度线。
【具体实施方式】
[0015]下面将结合附图对本实用新型公开的一种圆片真空吸盘的优选实施例进行更详细的描述。
[0016]如图1所示，本实用新型所设计的圆片真空吸盘100，包括真空吸盘盘体101和若干真空吸孔102，所述真空吸盘盘体101具有若干曝光角度线103，所述曝光角度线103的角度范围为O?90度，图1中所示104为O度曝光角度线，图1中所示105为90度曝光角度线。所述曝光角度线103的长度均相等;所述曝光角度线103的中点与真空吸盘盘体101圆边的距离均相等;所述真空孔102分布于真空吸盘盘体101的对称轴上;所述真空吸孔102所处的相间隔的对称轴相互正交。所述圆片真空吸盘100可用于LED晶圆片的曝光作业，以及LED晶圆片的测试作业。
[0017]以上所述圆片真空吸盘100在进行LED圆片的曝光作业时，可以快速准确对位LED圆片的曝光角度，即可以快速准确地将LED圆片的平边与所述曝光角度线103相重叠的准确对位，并且曝光角度可任意选择，角度范围为O?90度，优选45度，由此可以避免传统真空吸盘曝光作业时产生的曝光角度误差，提升LED圆片曝光角度作业的一致性，避免切割作业差异，进而提升切割良率从而提升LED芯片良率；同时，所述圆片真空吸盘100在进行LED圆片的测试作业时，可以快速准确对位LED圆片中芯粒的方向，从而减少调节LED芯粒对位的作业时间，进而提升测试效率。
[0018]以上表示了本实用新型的优选实施例，应该理解的是，本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型，而仍然实现本实用新型的有益效果。因此，以上描述不作为对本实用新型的限制，凡依本实用新型所做的任何变更，皆属本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种圆片真空吸盘，包括真空吸盘盘体和位于所述盘体上表面的若干真空吸孔，其特征在于:所述真空吸盘盘体的上表面还具有若干曝光角度线，所述曝光角度线的角度范围为O?90度。2.根据权利要求1所述的圆片真空吸盘，其特征在于:所述曝光角度线的长度相等。3.根据权利要求1所述的圆片真空吸盘，其特征在于:所述曝光角度线的中点与真空吸盘盘体圆边的距离均相等。4.根据权利要求1所述的圆片真空吸盘，其特征在于:所述真空吸孔分布于真空吸盘盘体的对称轴上。5.根据权利要求4所述的圆片真空吸盘，其特征在于:所述真空吸孔所处的相间隔的对称轴相互正交。
【文档编号】H01L21/68GK205452255SQ201620237017
【公开日】2016年8月10日
【申请日】2016年3月25日
【发明人】申利莹, 张君逸, 谢创宇, 林仕尉, 潘冠甫, 吴超瑜, 王笃祥
【申请人】天津三安光电有限公司