活动式载具的制作方法

本实用新型是有关一种载具，特别是关于一种可调整及可分离的活动式载具。

背景技术：

随着半导体工业持续的进展，超大型积体电路(Ultra Large Scale Integrated Circuits；ULSI)需经过多道繁复的处理程序，例如蚀刻、研磨、扩散、沈积等步骤，才能生产出来。对同一批次的晶圆而言，由投片生产到出货，要在数个机台间反复的传递运送并进行各站的制程才能完成。如图1所示，目前大多在天花板10设置移动装置14，利用与移动装置14接合的载具16承载装置晶圆的晶圆盒18，使晶圆盒18在机台12间传送，俾使晶圆进入机台12而进行各种制程。

然而，移动装置14以及载具16的设置通常在机台12安装之前完成，因此，当机台12安装时，常因空间的需求而必需将载具16移除，待机台12安装完成后，再将载具16重新安装至移动装置14上。公知载具16的尺寸是固定的，不具有可活动的配置，且载具16藉由数个固定单元(例如螺栓)15与移动装置14接合，因此载具16的移除或安装是通过将整个载具16从移动装置14上拆下或将整个载具16安装至移动装置14上而达成。换言之，欲将载具16移除时，要先将数个固定单元15从位于天花板10的移动装置14上完全拆下，而欲将载具16安装至移动装置14上时，要将数个固定单元15穿过载具16与位于天花板10的移动装置14并均匀固定，在此过程中，需在载具16下方提供支撑以避免载具16掉落，且在拆下或固定固定单元15时，载具16易因受力不平均而变形，由于载具16的尺寸约为2公尺×0.5公尺×1.1公尺，在移除载具16或安装载具16时，为了避免载具16不慎掉落或变形，需花费大量的人力及时间，造成使用的不便，此外，若机台12安装时的高度稍有偏移或日后对机台12进行修改或调整导致机台12的高度偏移时，由于载具16的尺寸是固定的，因此无法调整载具16的高度而使载具16继续适用，限制了载具16的使用弹性。

因此，一种使用方便且具有弹性的活动式载具，乃为所冀。

技术实现要素：

本实用新型的目的之一，在于提出一种活动式载具。

本实用新型的目的之一，在于提出一种可调整及可分离的载具。

根据上述目的，本实用新型提出一种活动式载具，用以连接设置于天花板的移动装置以运送一物件，所述活动式载具包括：第一部分及第二部分，所述第二部分与所述第一部分为活动连接以调整所述活动式载具的高度或使所述第二部分与所述第一部分分离。所述第一部分包含第一柱体，其具有第一端部连接所述移动装置以及第二端部具有螺栓。所述第二部分包含具有一水平面以承载所述物件的底座以及连接单元，所述连接单元包含第二柱体，其具有凹槽用以容纳所述第一柱体，第三端部连接所述底座，以及第四端部沿与所述水平面垂直的方向延伸至所述第二端部并具有穿孔供所述螺栓穿过。其中，当所述螺栓被锁紧时，所述第一部分与所述第二部分紧密结合，当所述螺栓被松开时，所述第一部分与所述第二部分相对移动以调整所述活动式载具的高度或分离所述第一部分与所述第二部分。

如上所述的活动式载具，其中，所述穿孔具有第一区域及第二区域，所述第一区域具有供所述螺栓的螺栓头穿过的第一孔径，所述第二区域具有第二孔径，所述第二孔径介于所述螺栓的直径与所述螺栓的螺栓头的直径之间。

如上所述的活动式载具，其中，所述底座包括：

底板连接板，沿第一方向延伸并连接所述连接单元；

第一支架、第二支架、第三支架及第四支架，沿与所述第一方向垂直的第二方向延伸并沿所述第一方向彼此间隔固定于所述底板连接板上，所述第二支架及所述第三支架位于所述第一支架及所述第四支架之间；以及

第五支架，沿所述第一方向延伸，其两端分别连接所述第二支架与所述第三支架；

其中，所述第一支架、所述第二支架、所述第三支架、所述第四支架及所述第五支架构成所述水平面以放置所述物件。

如上所述的活动式载具，其中，所述第二支架及所述第三支架上具有能定位所述物件的定位单元。

如上所述的活动式载具，其中，所述第一支架、所述第二支架、所述第三支架、所述第四支架及所述第五支架为铝挤型。

如上所述的活动式载具，其中，更包括：

第一边条，位于所述连接单元的四周并形成与所述底座相距第一距离的第一护栏，所述第一护栏用以避免所述连接单元变形；

第二边条及第三边条，分别位于所述连接单元的相对两侧并分别与所述底座相距小于所述第一距离的第二距离及第三距离；以及

边框，位于所述底座的末端，所述边框的底部与所述底座连接，所述边框的顶部沿与所述水平面垂直的方向延伸远离所述底座并与所述底座相距小于所述第一距离的第四距离；

其中，所述边框、所述第二边条及所述第三边条形成能避免所述物件掉落的第二护栏。

如上所述的活动式载具，其中，所述第二距离大于所述第三距离。

如上所述的活动式载具，其中，所述第四距离介于所述第二距离与所述第三距离之间。

如上所述的活动式载具，其中，更包括反光支架，所述反光支架位于所述底座上。

本实用新型的活动式载具具有活动连接的第一部分与第二部分，藉由锁紧螺栓使所述第一部分与所述第二部分紧密结合，以及藉由松开所述螺栓而使所述第一部分与所述第二部分相对移动而调整所述活动式载具的高度，因而增加所述活动式载具在使用上的弹性。此外，本实用新型的活动式载具在所述第二部分移动之前，所述螺栓为松开状态，因此当所述第二部分移动时，所述活动式载具不会因受力不平均而变形，且在所述螺栓松开后，所述螺栓进入穿孔中孔径较小的区域，避免所述第二部分掉落损坏，因此在所述活动式载具移除或安装的过程中，无需在所述活动式载具的下方提供支撑，大幅减少在移除或安装载具的过程中，为了避免载具掉落或变形所需花费的人力及时间，增加了所述活动式载具在使用上的便利性。

附图说明

图1显示公知载具与移动装置连接的示意图；

图2a显示本实用新型的活动式载具第一部分与第二部分分离的示意图；

图2b显示图2a中虚线区域的放大图；

图3显示本实用新型的活动式载具第一部分与第二部分组合的示意图；

图4显示图2a中底座的平面图；

图5显示底座与连接单元连接的示意图；

图6显示本实用新型的活动式载具与移动装置连接的示意图；

图7显示松开螺栓的示意图；

图8显示拉出螺栓的示意图；

图9a显示将穿孔中孔径较大的区域移至螺栓位置的示意图；

图9b显示图9a中虚线区域的放大图；

图10a显示螺栓移出穿孔的示意图；

图10b显示图10a中虚线区域的放大图；

图11a显示第一部分与第二部分分离的示意图；以及

图11b显示图11a中虚线区域的放大图。

主要元件标号说明：

10 天花板

12 机台

14 移动装置

15 固定单元

16 载具

18 晶圆盒

20 活动式载具

22 第一部分

24 柱体

26 端部

28 端部

30 螺栓

32 螺栓头

34 第二部分

36 底座

37 末端

38 连接单元

40 柱体

42 凹槽

44 端部

46 端部

48 穿孔

50 边条

52 边条

54 边条

55 底部

56 边框

57 顶部

58 反光支架

60 区域

62 区域

63 区域

64 底板连接板

65 区域

66 支架

68 支架

70 支架

72 支架

74 支架

76 定位单元

具体实施方式

为了对本实用新型的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图说明本实用新型的具体实施方式:

图2a显示活动式载具20的第一部分22及第二部分34分离的示意图，图2b显示图2a中虚线区域的放大图，图3显示活动式载具20的第一部分22及第二部分34组合的示意图。参考图2a、图2b及图3，活动式载具20包括可活动的第一部分22及第二部分34，第一部分22包含柱体24，柱体24具有端部26连接如图1所示的移动装置14以及端部28具有螺栓30，例如将螺栓30锁入端部28，第二部分34包括底座36具有一水平面以承载物件，例如承载装置晶圆的晶圆盒，以及连接单元38，连接单元38包含柱体40，柱体40具有凹槽42及二端部44及46，凹槽42的内径略大于柱体24的管径，且凹槽42的形状对应于柱体24的外形以容纳柱体24，较佳者，柱体40与柱体24具有相似的外形，例如当柱体24为方形管时，柱体40为「ㄇ」形管，以将柱体24容纳于「ㄇ」形的凹槽42中使柱体24可在凹槽42中移动。柱体40的端部46连接底座36，例如端部46经由螺栓、铆钉或焊接与底座36接合，端部44沿与底座36的水平面垂直的方向延伸至柱体24的端部28并具有穿孔48供螺栓30穿过，藉由锁紧螺栓30使第一部分22与第二部分34紧密结合，以及藉由松开螺栓30使第一部分22与第二部分34相对移动以调整活动式载具20的高度，或者使第一部分22与第二部分34彼此分离。在本实施例中，连接单元38包含四个成矩形配置的柱体40，以及第一部分22包含四个柱体24分别对应柱体40。

参考图2a及图2b，柱体40的端部44的穿孔48具有区域60及区域62，区域60具有供螺栓30的螺栓头32穿过的孔径D1，区域62具有介于螺栓30的直径与螺栓30的螺栓头32的直径之间的孔径D2，藉由将螺栓头32穿过区域60使螺栓30进入区域62中，再锁紧螺栓30，使活动式载具20的第一部分22与第二部分34紧密结合，成为如图3所示的组合图。在不同的实施例中，可改变区域62的长度或形状，当图1的机台12的高度有所偏移时，可藉由改变螺栓30在区域62中的位置，调整活动式载具20的高度，而使活动式载具20能继续适用，增加活动式载具20的使用弹性。此外，当将螺栓30松开时，基于重力的作用，第二部分34将向下移动而使螺栓30进入区域62中，可避免活动式载具20的第二部分34掉落损坏。

参考图2a及图3，在本实施例中，活动式载具20除了包括包含柱体24的第一单元22、底座36及包含柱体40的连接单元38外，还包括反光支架58、边框56以及边条50、52及54。反光支架58位于底座36上，例如经由螺栓、铆钉或焊接等接合方式将反光支架58与底座36接合，边条50位于连接单元38四周，例如经由螺栓、铆钉或焊接等接合方式将边条50与连接单元38接合，形成与底座36相距距离H1的第一护栏以避免连接单元38变形，边框56位于底座36的末端37，边框56的底部55连接底座36，例如经由例如螺栓、铆钉或焊接等接合方式将边框56的底部55与底座36的末端37接合，边框56的顶部57沿与底座36的水平面垂直的方向延伸远离底座36并与底座36相距距离H4，边条52及54分别位于与末端37相邻的底座36的二侧边并分别在与底座36相距距离H2及距离H3处与连接单元38连接，例如经由螺栓、铆钉或焊接等接合方式将边条52及54与连接单元38接合，边条52及54以及边框56形成第二护栏以避免底座36上的物件掉落。其中，距离H2、H3及H4小于距离H1，较佳者，距离H2大于距离H3，以及距离H4介于距离H2与距离H3之间。

图4显示底座36的平面图，图5显示底座36与连接单元38连接的示意图。参考图4及图5，底座36包括底板连接板64沿Y方向延伸并与连接单元38连接，支架66、68、70及72沿与Y方向垂直的X方向延伸并沿Y方向彼此间隔固定于底板连接板64上，例如支架66、68、70及72经由螺栓、铆钉或焊接等接合方式固定于底板连接板64上，支架68及70位于支架66及72之间，以及支架74沿Y方向延伸，支架74的两端分别连接支架68及70，例如支架74经由螺栓、铆钉或焊接等接合方式与支架68及70接合，其中支架66、68、70、72及74构成一水平面(即X-Y平面)以放置物件，以及支架68及70上具有定位单元76以定位该物件，较佳者，支架66、68、70、72及74为铝挤型(aluminum extrusion)。在本实施例中，底座36包含二个底板连接板64以及三个支架74，底板连接板64与支架74彼此沿X方向间隔配置，每一底板连接板64的一端突出于支架72形成区域65，另一端与支架66的外侧切齐，在支架66及68之间形成区域63，柱体40的端部46与区域63及65连接而使连接单元38与底座36连接，例如柱体40的端部46经由螺栓、铆钉或焊接等接合方式与区域63及65接合而使连接单元38与底座36接合。

如图6所示，活动式载具20与设置在天花板10的移动装置14连接，例如活动式载具20经由固定单元(例如螺栓)15与移动装置14接合，以运送装置晶圆的晶圆盒18，使晶圆盒18在机台12间传送而进行各种制程。当欲移除活动式载具20时，可藉由将活动式载具20的第二部分34与第一部分22分离来达成，无需将整个活动式载具20从移动装置14上拆下。如图7及图8所示，当欲将活动式载具20的第二部分34与第一部分22分离时，先将固定第一部分22及第二部分34的螺栓30松开，再拉出螺栓30，此时，基于重力的作用，第二部分34会向下移动使螺栓30进入穿孔48中孔径较小的区域，避免活动式载具20的第二部分34掉落损坏，接着，如图9a及图9b所示，将第二部分34向上移动使穿孔48中孔径较大的区域移至螺栓30的位置，如图10a及图10b所示，将第二部分34水平移动使螺栓30从穿孔48中孔径较大的区域移出，最后，如图11a及图11b所示，将第二部分34放下使第二部分34与第一部分22分离，达成移除活动式载具20的目的。同样地，当欲安装活动式载具20时，可藉由将第二部分34举起使螺栓30穿过穿孔48并锁紧螺栓30，使活动式载具20的第一部分22与第二部分34紧密结合来达成。本实用新型的活动式载具20的螺栓30在松开后会进入穿孔48中孔径较小的区域，因此在将活动式载具20移除或安装的过程中，无需在活动式载具20的下方提供支撑以避免活动式载具20掉落，此外，在移动活动式载具20的第二部分34之前，螺栓30为松开状态，因此移动第二部分34时，活动式载具20不会因受力不平均而变形，大幅减少为了避免载具掉落或变形所需花费的人力及时间，增加了使用的便利性。

以上所述仅为本实用新型示意性的具体实施方式，并非用以限定本实用新型的范围。任何本领域的技术人员，在不脱离本实用新型的构思和原则的前提下所作出的等同变化与修改，均应属于本实用新型保护的范围。