1.一种辅助更换晶圆快速热处理设备中灯泡的装置，晶圆快速热处理设备中设有反应腔体(1)，所述反应腔体(1)中分布安装有产生热量的多个灯泡(2)，其特征在于：包括平板罩子(3)，所述平板罩子(3)与所述反应腔体(1)的形状和大小相匹配，所述平板罩子(3)上设有多个圆孔(4)，所述圆孔(4)的个数与所述灯泡(2)的个数相同，多个所述圆孔(4)在所述平板罩子(3)上分布的位置分别与多个所述灯泡(2)在所述反应腔体(1)中分布的位置一一对应，且任意相邻两个所述圆孔(4)之间的距离与相对应的两个所述灯泡(2)之间的距离相等。
2.根据权利要求1所述的一种辅助更换晶圆快速热处理设备中灯泡的装置，其特征在于：所述平板罩子(3)为圆形结构，且由透明塑料材料构成。
3.根据权利要求2所述的一种辅助更换晶圆快速热处理设备中灯泡的装置，其特征在于：所述平板罩子(3)的厚度为3mm。
4.根据权利要求2或3所述的一种辅助更换晶圆快速热处理设备中灯泡的装置，其特征在于：所述平板罩子(3)的半径范围为300～500mm。
5.根据权利要求4所述的一种辅助更换晶圆快速热处理设备中灯泡的装置，其特征在于：所述灯泡(2)的个数范围为300～500颗。
6.根据权利要求5所述的一种辅助更换晶圆快速热处理设备中灯泡的装置，其特征在于：所述圆孔(4)的个数范围为300～500个。
7.根据权利要求6所述的一种辅助更换晶圆快速热处理设备中灯泡的装置，其特征在于：所述平板罩子(3)的半径为400mm。
8.根据权利要求7所述的一种辅助更换晶圆快速热处理设备中灯泡的装置，其特征在于：所述灯泡(2)设有409颗。
9.根据权利要求8所述的一种辅助更换晶圆快速热处理设备中灯泡的装置，其特征在于：所述圆孔(4)设有409个。