技术总结
本实用新型提供一种晶圆辅助载具，包括圆环和固定栓，圆环表面设置有限制晶圆滑动的栓针，圆环外边缘开设有与固定栓匹配的栓凹槽，固定栓卡入栓凹槽中将所述圆环固定在静电吸附盘上。本实用新型将圆环水平套在静电吸附盘上，可有效水平拓宽静电吸附盘尺寸，能够满足由于与衬底粘合后尺寸变大的晶圆的使用需求，此载具制作工艺简单，成本低廉，省去购买新设备或者改造静电吸附盘的高昂成本；通过栓凹槽和固定栓连接固定，方便拆卸和清洁维护。
技术研发人员：莫中友
受保护的技术使用者：成都海威华芯科技有限公司
文档号码：201621255039
技术研发日：2016.11.23
技术公布日：2017.05.03