1.一种破片侦测装置，其特征在于，所述破片侦测装置包括：
吸附装置、转动装置及传感器；其中，所述吸附装置吸附晶圆；所述转动装置带动所述吸附装置和/或所述传感器运动，使得所述吸附装置和所述传感器之间产生相对转动；所述传感器检测所述吸附装置吸附的晶圆是否有破损。
2.根据权利要求1所述的破片侦测装置，其特征在于，所述吸附装置包括吸头及连接所述吸头的气管。
3.根据权利要求1所述的破片侦测装置，其特征在于，所述转动装置包括转动柱和马达，所述吸附装置设置在所述转动柱上，所述转动柱通过马达驱动而转动。
4.根据权利要求1所述的破片侦测装置，其特征在于，所述转动装置包括传感器座、传感器轨道和马达，所述传感器设置在所述传感器座上，所述传感器轨道环绕所述吸附装置，所述马达驱动所述传感器座在所述传感器轨道上转动。
5.根据权利要求1所述的破片侦测装置，其特征在于，所述破片侦测装置还包括支撑装置，所述支撑装置为可伸缩的支撑装置，所述吸附装置设置在所述支撑装置上。
6.根据权利要求5所述的破片侦测装置，其特征在于，所述支撑装置包括支撑板、支撑板导轨和气缸，所述气缸推动所述支撑板在所述支撑板导轨上移动。
7.根据权利要求5所述的破片侦测装置，其特征在于，所述支撑装置还包括若干位置感应器。
8.根据权利要求1所述的破片侦测装置，其特征在于，所述破片侦测装置还包括若干晶圆支撑件，所述晶圆支撑件环绕所述吸附装置。
9.根据权利要求1所述的破片侦测装置，其特征在于，所述传感器为激光传感器或红外线传感器。
10.根据权利要求1-9中任意一项所述的破片侦测装置，其特征在于，所述破片侦测装置还包括报警器，所述报警器连接所述传感器和所述吸附装置。
11.根据权利要求10所述的破片侦测装置，其特征在于，所述报警器包括声讯报警器和/或显示报警器。
12.根据权利要求11所述的破片侦测装置，其特征在于，所述声讯报警器为蜂鸣器或喇叭。
13.根据权利要求11所述的破片侦测装置，其特征在于，所述显示报警器为警报灯或显示屏。