技术总结
本实用新型提供了一种破片侦测装置，所述破片侦测装置包括：吸附装置、转动装置及传感器；其中，所述吸附装置吸附晶圆；所述转动装置带动所述吸附装置和/或所述传感器运动，使得所述吸附装置和所述传感器之间产生相对转动；所述传感器检测所述吸附装置吸附的晶圆是否有破损。在本实用新型提供的破片侦测装置中，通过吸附装置可以吸附住晶圆，当晶圆出现破片情况时，由于放置不稳(例如偏斜等)或破裂导致会出现吸附不上的问题，从而使破片晶圆被检测到；进一步的，通过转动装置使所述吸附装置吸附的晶圆相对于传感器转动时，传感器完成对晶圆一周的侦测，如有破片现象则会被检测到。通过本实用新型实现破片的检测，防止破片现象影响生产效率。
技术研发人员：王宝铮;汤敬计
受保护的技术使用者：中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
文档号码：201621430973
技术研发日：2016.12.23
技术公布日：2017.06.20