技术总结
本实用新型提供一种降低颗粒污染的离子注入机，至少包括磁分析器、法拉第杯以及产生离子束的离子源，磁分析器的离子束出口处安装有过滤污染颗粒的石墨导向装置，石墨导向装置为一喇叭状的通道，且石墨导向装置的最小端开口位于磁分析器内，石墨导向装置的最大端开口固定于磁分析器的离子束出口处；同时在法拉第杯的底部设置一凹槽，用于接收所述法拉第杯内掉落的污染颗粒。本实用新型的改进不会对制程造成任何影响，可以过滤掉磁场筛选时产生的70％以上的污染颗粒，减少对晶圆的污染和down机时间，增加机台的工作效能并且可以提高产品良率减少因污染颗粒引起的报废。
技术研发人员：刘群超
受保护的技术使用者：中芯国际集成电路制造（北京）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
文档号码：201621493048
技术研发日：2016.12.30
技术公布日：2017.09.08