技术特征：
技术总结
本发明涉及一种用于在衬底支架夹箝方向SHCD上将衬底支架(11)夹箝在所述衬底支架(11)的预定位置中且释放所述衬底支架(11)的衬底支架接纳设备(1)，其包括用于所述衬底支架(11)的机械对准及电接触的至少一个衬底支架连接装置(21)，其中所述衬底支架连接装置(21)包括用于使所述衬底支架(11)与所述衬底支架连接装置(21)在对准方向上对准的分离衬底支架对准装置(211)及用于电接触所述衬底支架(11)的分离衬底支架接触装置(212)。此外，本发明涉及一种电化学处理设备(5)，其包括所述衬底支架接纳设备(1)。
技术研发人员：R·荣恩伯斯奇;T·布塞纽斯;S·菲茨图姆
受保护的技术使用者：德国艾托特克公司
技术研发日：2016.08.04
技术公布日：2017.08.01