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一种存储器的制作方法
文档序号:15452054
发布日期:2018-09-15 00:12
阅读:
来源:国知局
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一种存储器的制作方法
技术特征:
技术总结
本发明提供一种存储器,包括:半导体衬底;位线层,位于所述半导体衬底上,所述位线层内排布有位线;屏蔽层,位于所述位线层上,所述屏蔽层内设置有导电的屏蔽结构,所述屏蔽结构接地;字线层,位于所述屏蔽层上,所述字线层内排布有字线。本发明中存储器的写干扰较小。
技术研发人员:
黄鹏;张学海;周川淼
受保护的技术使用者:
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
技术研发日:
2017.03.01
技术公布日:
2018.09.14
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