发光二极管的制作方法

文档序号:11547030阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种发光二极管,包括:Si衬底;Ge、Si叠层材料形成的叠层结构,位于所述Si衬底表面的中心位置处;正电极,设位于所述叠层结构的上表面;负电极,设位于所述Si衬底的上表面并位于叠层结构两侧的位置处,以形成所述发光二极管。本发明采用的激光再晶化工艺,具有Ge外延层晶体质量高,工艺步骤简单,工艺周期短,热预算低等优点;本发明通过连续激光辅助晶化Ge外延层,可有效降低GeSi界面的位错密度和表面粗糙度,可显著提高后续器件的质量,进而可显著提高LED发光器件的性能。

技术研发人员:刘晶晶
受保护的技术使用者:厦门科锐捷半导体科技有限公司
技术研发日:2017.05.17
技术公布日:2017.08.15
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