技术特征：
技术总结
本发明公开一种阵列基板，包括：基板；栅极，形成在基板上；栅极绝缘层，形成在基板的朝向栅极的一侧，栅极绝缘层覆盖栅极；有源层，形成在栅极绝缘层的远离栅极的一侧，有源层采用铟镓锌锡氧化物材料；欧姆接触层，形成在有源层的远离栅极绝缘层的一侧，欧姆接触层采用被导体化的铟镓锌氧化物材料且覆盖有源层的两端；以及彼此间隔的源极和漏极，形成在欧姆接触层的远离有源层的一侧，源极和漏极分别通过欧姆接触层电连接至有源层的两端。所述阵列基板器件性能良好。本发明还公开一种显示面板和一种阵列基板的制作方法。
技术研发人员：胡小波
受保护的技术使用者：深圳市华星光电技术有限公司
技术研发日：2017.05.19
技术公布日：2017.09.22