具有填充单元的半导体装置的布局方法与流程

技术特征：

1.一种布局方法，其特征在于，包含：

将多个功能单元放置于一集成电路的一布局中，其中该布局对应于至少一设计文件；以及

插入经配置为无切割图案的至少一填充单元，以填充在所述多个功能单元之间的至少一空区域，其中所述多个功能单元每一者在邻接该至少一空区域的至少一边缘上包含至少一切割图案。