基板加热干燥装置的制作方法

本实用新型涉及一种在真空氛围下对涂覆有药液的基板进行加热而使其干燥的基板加热干燥装置，具体而言，涉及一种如下的基板加热干燥装置：在对基板涂覆药液并使其干燥的过程中，从根源上去除基板上的斑点的发生，从而防止工艺不良。

背景技术：

通常，用于平板显示装置的基板经过多个步骤的加工工序和这些加工工序之间的洗涤及干燥工序。

如上所述，在经过基板的加工步骤之后进行洗涤，之后进行基板干燥工序，而这种基板加热工序在如下的基板加热干燥装置中执行，在配备有加热板的腔室内放入基板而使其干燥。

在现有的基板加热干燥装置中，如果在将涂覆有药液的基板安置在加热板的表面的状态下执行干燥工序，则存在着如下的问题：由于发生在加热板和基板之间的静电而使基板在加热板上滑动，或者由于接触面上的表面张力而使基板紧贴于加热板，从而使基板被破损。

作为用于改善上述问题的手段，最近使用着一种如下的基板加热干燥装置：在加热板上配备有多个接近销(Proximity pin)，以使基板能够从加热板相隔预定间距而被安置。

然而，如果在如上所述地利用接近销支撑基板的状态下执行基板加热干燥工序，则存在着如下的问题：由于温度差而在接近销和基板的接触部产生斑点，从而导致工艺不良。

关于现有的与基板加热干燥装置及接近销的现有技术公开于公开专利第 10-2013-0019931号、公开专利第10-2009-0072361号、授权专利第10-0592940 号等。

技术实现要素：

本实用新型为了解决上述的问题而提出，其目的在于提供一种如下的基板加热干燥装置：在对基板涂覆药液并将其干燥的过程中，从根源上去除基板上的斑点的发生，从而防止工艺不良。

用于实现如上所述的目的的本实用新型的基板加热干燥装置的特征在于，包括：腔室，在真空氛围下实现针对涂覆有药液的基板的干燥；加热板，配备于所述腔室内，而且在内部具有提供用于所述基板的干燥的热源的加热单元，所述基板的干燥在所述基板与所述加热板接触的状态下执行，在所述加热板的表面形成有用于防止在所述加热板与所述基板接触时产生静电的防静电涂层。

所述防静电涂层可以是氟涂层。

在所述加热板的表面可以形成有用于减少所述加热板与所述基板接触时的表面张力的粗糙度赋予面。

所述粗糙度赋予面的表面粗糙度可以为4μm以上。

所述加热单元与接触于所述基板的加热板表面之间可以相隔预设间距地构成，以防止所述加热板表面的局部的温度集中。

所述加热单元与接触于所述基板的加热板表面之间可以相隔15mm以上的间距。

在所述加热单元与接触于所述基板的加热板表面之间可以配备有热扩散单元，所述热扩散单元用于将从所述加热单元产生的热量均匀地传递给所述加热板表面。

所述热扩散单元可以是配备于所述加热单元与接触于所述基板的加热板表面之间的热扩散板或者空气层。

所述加热单元可以由热线构成，所述热扩散单元是包围所述热线的外侧面而配备的热扩散部件。

所述基板可以借助移送机器人而被装载及卸载于所述腔室，并配备多个升降销，所述多个升降销以贯通所述加热板而支撑所述基板并升降的方式配备，并用于在所述移送机器人与自身之间进行所述基板的接收或移交，一实施例中，所述升降销可以以与所述基板的区域中的未涂覆药液的区域接触的方式配备。

所述基板可以借助移送机器人而被装载及卸载于所述腔室，配备多个升降杆，所述多个升降杆以贯通所述加热板而支撑所述基板并升降的方式配备，用于在移送机器人与自身之间进行所述基板的接收或移交，所述升降销可以包括：第一升降销，接触于所述基板的区域中的未涂覆药液的区域；第二升降销，接触于所述基板的区域中的涂覆有药液的区域。

在所述加热板可形成有所述第一升降销所贯通的第一升降销孔和所述第二升降销所贯通的第二升降销孔，在所述第二升降销孔可安装有用于在所述第二升降销处于闲置状态时堵塞所述第二升降销孔的塞盖。

安装于所述第二升降销孔的塞盖的末端可以位于以所述加热板的表面为基准而向所述第二升降销孔的内侧凹入预定间距的位置。

在所述腔室的上部可以连接有用于向所述腔室的内部供应吹扫气体的吹扫气体供应管。

在所述吹扫气体供应管可以配备有管加热器，所述管加热器用于将所述吹扫气体加热至与所述腔室内部的干燥工序温度对应的温度。

在所述腔室可以配备有引导部件，所述引导部件将从所述吹扫气体供应管排出的吹扫气体引导，从而使其朝向所述腔室的上部被喷射。

在所述腔室的上部可额外地配备有用于为了基板的加热干燥而提供热源的上部加热器。

通过根据本实用新型的基板加热干燥装置，可以实现：在作为干燥对象的基板接触于加热板的表面的状态下执行基板的干燥，并在干燥对象基板所接触的加热板的表面形成防静电涂层，从而能够从根源上去除基板上的斑点的发生，据此可以预防斑点的产生所导致的工艺不良。

此外，通过在加热板的表面形成粗糙度赋予面，以减少加热板与基板之间的接触面积，从而使表面张力最小化，据此可以更为可靠地防止生成斑点。

此外，通过使配备于加热板的加热单元与接触于基板的加热板的表面之间以预设间距相隔地布置、同时配备使产生于加热单元的热量被均匀地传递至加热板的表面的热扩散单元，可以提高基板的温度均匀程度，从而可以防止生成斑点。

此外，可以以接触于基板上的区域中的未涂覆药液的区域的方式配备一种为了在移送机器人与自身之间进行所述基板的接收或移交而进行升降运动的升降销(lift pin)，从而可以防止在涂覆有药液的区域中发生斑点。

此外，通过以与基板的区域中的涂覆有药液的区域接触的方式额外地配备升降销，可以防止基板的接收和移交过程中的基板的下垂现象。

此外，将吹扫气体(Purge gas)供应管连接到腔室的上部，并配备一种以能够朝向腔室的上部喷射吹扫气体的方式引导吹扫气体的引导部件，从而在吹扫气体被朝向基板的表面喷射的情况下，可以防止可能由于气流的急剧的变化而引起的斑点的生成。

此外，在吹扫气体供应管配备管加热器(Line heater)，以将通过吹扫气体供应管而被供应至腔室内部的吹扫气体加热至与工艺温度对应的温度，因此能够维持腔室内部的工艺温度，从而可以防止可能由于温度的变动而引起的基板斑点的生成。

此外，在安装于下部腔室的加热板配备加热单元的同时，在上部腔室配备上部加热器，以使基板的两面被均匀地加热，据此可以提高基板的干燥效率，并能够减少基板的上面和下面的温度偏差，从而能够防止生成斑点。

附图说明

图1是示出向根据本实用新型的基板加热干燥装置装载基板的情形的示意图。

图2是示出在根据本实用新型的基板加热干燥装置中的加热板上安置有基板的情形的示意图。

图3是配备于根据本实用新型的基板加热干燥装置的加热板的剖面图。

图4是根据本实用新型的基板加热干燥装置的下部腔室和加热板的平面图。

图5是示出根据本实用新型的一实施例的升降销的布置结构的平面图。

图6是示出根据本实用新型的另一实施例的升降销的布置结构的平面图。

图7a和图7b是示出在防下垂用升降销处于闲置状态时，塞盖安装于升降销孔的情形的图。

符号说明

1：基板加热干燥装置 100：腔室

100a：上部腔室 100b：下部腔室

101：贯通口 102：真空孔

110：门 120：挡板

130：挡板升降部 140：上部加热器

200：加热板 200a：粗糙度赋予面

201：升降销孔 201a：第一升降销孔

201b：第二升降销孔 201c：塞盖插入槽

210：加热单元 220：防静电涂层

230：热扩散单元 240：外盖

300：升降销 310：升降销驱动部

400：真空管 500：移送机器人

510：主体 520：机械臂

600：吹扫气体供应管 610：管加热器

620：喷嘴 630：引导部件

700：塞盖 S：基板

具体实施方式

以下，参照附图而对本实用新型的优选实施例的构成及作用进行的详细的说明则如下。

参照图1至图3，根据本实用新型的基板加热干燥装置1包含：腔室100，在真空氛围下实现针对涂覆有药液的基板S的干燥；加热板200，配备于所述腔室100内，并且在内部具有提供用于干燥基板S的热源的加热单元210，所述基板S的干燥在基板S接触于加热板200的表面的状态下执行。

所述腔室100可以由上部腔室100a和结合于其下部的下部腔室100b来构成，而且在上部腔室100a和下部腔室100b所结合的腔室100的内部配备有用于基板S的干燥的封闭的空间。

在所述上部腔室100a的一侧配备有：门110，提供用于基板S的进出的通道；挡板(shutter)120，为了开闭所述门110而升降；挡板升降部130，用于对所述挡板120进行升降驱动。

如果挡板120借助所述挡板升降部130的单方向驱动而下降，则变成如图1所示的如下的状态：门110被开放，从而使支撑基板S的移送机器人500 能够通过门110而向腔室100的内部移动。

如果挡板120借助所述挡板升降部130的逆方向驱动而上升，则如图2 所示，门110将会被挡板120封闭，从而使腔室100的内部变成封闭状态。

在所述门110被开放的状态下，移送机器人500和被移送机器人支撑的基板S将会一同被搬入到腔室100的内部，而且如果基板S位于加热板200 的上侧，则被移送机器人500支撑的基板S将会被移交到升降销300。

所述升降销300借助升降销驱动部310而被升降驱动，所述升降销300 可以贯通形成于下部腔室100b的贯通口101和形成于加热板200的升降销孔 201而进行升降移动。

所述移送机器人500可以如图4所示地由主体510和多个机械臂520来构成，其中，多个机械臂520从主体510延伸，并用于支撑基板S。

如果对所述基板S被安置到加热板200的上面的装载过程的一实施例进行说明则如下：在被移送机器人500支撑的基板S被搬入到腔室100的内部而位于加热板200上侧的状态下，如果升降销300进一步上升到移送机器人 500的位置的上侧，则基板S将会与升降销300的上端接触并被抬升到上侧，而且如果基板S被移交到升降销300，则移送机器人500将会通过门110而移动到腔室100的外部，之后，借助升降销300的下降移动，基板S被安置到加热板200的上面。

作为装载过程的另一实施例，还可以构成为如下：在所述升降销300比加热板200的上面更向上侧突出而停止的状态下，移送机器人500下降而将基板S移交到升降销300。

另外，如果一同参照图1、图2、图4，则在所述下部腔室100b的底面形成多个真空孔202，而且所述真空孔202连接于用于向腔室100的内部空间施加真空的真空管400。

参照图3，在与所述基板S所接触的加热板200的表面形成有用于在与基板S接触时防止产生静电的防静电涂层220。作为一实施例，所述防静电涂层220可以形成为具有卓越的防静电功能的氟涂层。因此，即使基板S在接触于加热板200上的防静电涂层220的状态下被支撑，也将会抑制静电的产生，因此可以去除静电的产生所导致的在基板S生成斑点的因素。

此外，在所述加热板200的表面形成有用于在与基板S接触时减少表面张力的粗糙度赋予面200a。如上所述，在加热板200的表面形成粗糙度赋予面200a的情况下，可以通过减少基板S与粗糙度赋予面200a之间的接触面积而将表面张力最小化，从而能够更为可靠地防止斑点的生成。作为一实施例，所述粗糙度赋予面200a的表面粗糙度可以形成为4μm以上。

另外，加热板200的表面被从配备于加热板200的加热单元210产生的热量加热，并且在借助于该热量而进行基板S的干燥时，在温度集中于加热板200的局部表面的情况下，可能会由于温度差而在基板S生成斑点。

作为用于解决上述问题的构成，如图3所示，加热单元210与接触于基板S的加热板200的表面之间相隔预定间距d而形成。作为一实施例，所述加热单元210优选从加热板200的表面相隔15mm以上的间距而被布置。

此外，作为用于进一步促进热扩散的构成，在加热单元210和加热板200 的表面之间可以配备有用于使借助加热单元210而产生的热量均匀地传递至加热板200的表面的热扩散单元230。

作为一实施例，所述热扩散单元230可以由配备于加热单元210和加热板200的表面之间的热扩散板230或空气层(未示出)来构成。

作为另一实施例，所述加热单元210由热线(hot wire)构成，而热扩散单元可以构成为包围热线的外侧面而配备的热扩散部件(未示出)。

在图3中，未说明的标号240表示用于防止从加热单元210产生的热量向下方传递的绝热外盖240。

另外，参照图1和图2可知，在所述腔室100的上部连接有用于供应吹扫气体的吹扫气体供应管600，所述吹扫气体(purge gas)用于在干燥工序的前后清洗腔室100内部。所述吹扫气体可以使用作为惰性气体的氮气。

而且，在所述吹扫气体供应管600可以配备有用于将吹扫气体加热至与腔室100内部的干燥工序温度对应的温度的管加热器610。

如上所述，随着在吹扫气体供应管600配备管加热器610，可以将通过吹扫气体供应管600而被供应至向腔室100的内部的吹扫气体加热至与工序温度对应的温度，从而能够以腔室100内部的工序温度保持预设温度的方式进行管理，因此能够防止在基板生成斑点。

此外，所述腔室100可以配备引导部件630，所述引导部件630用于通过引导而使从连接于所述吹扫气体供应管600的喷嘴620排出的吹扫气体朝向腔室100的上部被喷射。

如上所述，通过将吹扫气体供应管600连接到腔室100的上部，并配备用于通过引导而使吹扫气体朝向腔室100的上部被喷射的引导部件630，以防止吹扫气体被喷射到基板S的表面，从而防止在基板S的表面发生气流的急剧的变动，因此可以去除斑点的生成因素。

另外，可以在所述上部腔室100a额外地配备上部加热器140，所述上部加热器140用于提供热源以实现基板S的加热干燥。如上所述，在将加热单元210配备于安装于下部腔室100b的加热板200的同时，将上部加热器140 配备于上部腔室100a，从而能够对基板S的两面同时进行加热，因此可以提高基板的干燥效率，并可以减少针对基板S的上面和下面的进行加热时的温度偏差，从而能够防止生成斑点。

以下，参照图5和图6，对升降销300的布置结构进行说明。所述升降销300的布置结构对应于升降销孔201的布置结构。

首先，参照图5，加热板200被划分为安置基板S的整体区域中的涂覆有药液的区域的涂覆区域200A以及安置未涂覆药液的区域的非涂覆区域 200B。在图5中，涂覆区域200A是用粗实线表示的内部区域，非涂覆区域 200B是用粗虚线表示的内部区域。所述非涂覆区域200B是在进行过基板处理工序之后被去除的区域，即使由于与升降销201接触而在该区域生成斑点，也不会引起工艺不良。

根据如上所述的以将升降销300相隔预定间距的方式布置于非涂覆区域 200B的构成，升降销300仅接触于基板S的非涂覆区域200B而进行升降移动，因此可以防止斑点生成于基板S的涂覆区域200A。

作为另一实施例，参照图6，在与所述非涂覆区域200B对应的加热板200 的区域，以相隔预定间距的方式形成有多个第一升降销孔201a，从而使第一升降销(未示出)布置于所述第一升降销孔201a。

而且，在与所述涂覆区域200A对应的加热板200的区域额外地形成有第二升降销孔201b，从而在所述第二升降销孔201b布置有第二升降销(未示出)。

如上所述，除了布置于非涂覆区域200B的第一升降销以外还将第二升降销布置在涂覆区域200A的情况下，可以防止在基板S的升降移动过程中的、在只被第一升降销支撑的情况下可能会发生的基板S的弯曲现象。

因此，如图6所示，在涂覆区域200A布置必要的最少数量的第二升降销而使用的情况下，可以最小化基板斑点的发生并防止基板的弯曲现象，而且所述第二升降销的使用或闲置可以考虑到基板的大小和工艺条件而选择。

在不使用第二升降销的情况下，如图7a和图7b所示，将塞盖(plug cap) 安装在第二升降销孔201b而将其封闭。

作为用于实现此的构成，在所述第二升降销孔201b的端部形成有塞盖插入槽201c，并且在所述塞盖插入槽201c的内周面形成有内螺纹部201d，而且在所述塞盖700形成有用于插入扳手等工具的槽710和螺纹结合于所述内螺纹部201d的外螺纹部720。

在安装所述塞盖700时，作为用于防止塞盖700和基板S之间的干扰的构成要素，安装于所述第二升降销孔201b的塞盖700的上端优选地以如下方式被放置：以加热板200的上表面为基准，向第二升降销孔201b的内侧方向凹入预定间距g。

如上所述，根据本实用新型，在将防静电涂层形成于加热板200的表面的同时赋予表面粗糙度，以减少加热板200与基板之间的接触面积及表面张力，从而即使在基板S接触于加热板200的表面的状态下执行加热干燥，也能够从根源上防止生成斑点。

如上所述，本实用新型并不局限于上述实施例，本领域的技术人员能够在不脱离权利要求书中请求的本实用新型的技术思想的范围内实现明显的变形实施，而这些变形实施属于本实用新型的范围内。