可拆卸式晶圆传送盘的制作方法

本实用新型涉及半导体技术领域，特别是涉及一种可拆卸式晶圆传送盘。

背景技术：

晶圆作为制造半导体芯片的基本材料，广泛应用于半导体行业中;晶圆在检测和加工时需要放置在晶圆传送盘中，现有晶圆传送盘的晶圆工作盘、两侧的支撑板和底板均为一体结构，更换晶圆的时候不可避免的会磨损晶圆工作盘，更换磨损的晶圆工作盘时需要同时更换两侧支撑板和底板，浪费材料且增加了制作的成本；且现有的固定环均为不可转动的一体件，不能有效的达到固定的目的，且现有固定环一端磨损就需要同时更换整个固定件，增加了制作的成本；晶圆在装载或卸载的过程时空气中存在的颗粒等物质易附着在晶圆工作盘上，由于晶圆工作盘为凹槽，附着于晶圆工作盘内的粉尘不易清洗，需要利用复杂的工艺进行处理，增加了制造成本并降低了良品率。晶圆工作盘的安装效果和固定环的固定效果直接影响了整个仪器的技术效果，故如何在更换时降低晶圆工作盘的制作成本，避免材料的浪费是目前亟需解决的技术问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种拆卸方便，易于处理，有效的节约材料、节省成本，并增加良品率和实用技术效果的可拆卸式晶圆传送盘。为了实现上述目的，本实用新型的技术方案是：

可拆卸式晶圆传送盘，包括晶圆工作盘和两个支撑板，所述晶圆工作盘包括矩形卡槽板和平行安装板, 所述矩形卡槽板呈“U”字形，矩形卡槽板下部的两端分别布设有长方形的边翼，矩形卡槽板上部的一端活动式连接有平行安装板，所述平行安装板呈“n”字形，晶圆工作盘通过边翼连接在两个支撑板之间，所述支撑板的上平面固定有第一固定板，支撑板由下至上的五分之四处套合有第二固定板，所述第一固定板呈长方体形，所述第二固定板呈“回”字形，第一固定板位于第二固定板的上部，第一固定板和第二固定板之间预留有间隙，所述边翼固定于第一固定板和第二固定板预留的间隙之间；所述第一固定板的上平面铰接有第一盖板，所述第一盖板呈“n”字形；支撑板的平面上开设有“T”字形的滑槽，所述滑槽的横截面呈“凸”字形；滑槽内布设两个固定环组件，所述固定环组件包括滑轮和卡扣，所述滑轮的竖截面呈“工”字形，滑轮的上部转动式连接卡扣，所述卡扣为一端折弯的板，第二固定板通过卡扣固定在支撑板上；支撑板的底部分别连接至底板槽，所述底板槽呈“凹”字形，两个底板槽之间通过支撑管进行连接。

进一步地，所述活动式连接为销轴连接。

进一步地 ，所述第一盖板的内宽等于第一固定板的宽度。

进一步地 ，所述第一盖板的边长不小于第一固定板的边长。

进一步地 ，所述转动式连接为滑轮的上部开设有凹槽，所述凹槽内布设弹簧，所述弹簧的两端分别连接凹槽和卡扣的底部，凹槽外端面上侧布设卡钩，所述卡钩为呈“L”字形的橡胶块,卡扣的横向面上开设有卡钩口，卡钩的纵向端面和卡钩口连接。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型一种可拆卸式晶圆传送盘，通过可拆卸式的晶圆工作盘便于及时方便的更换磨损或损坏的晶圆工作盘，且不需要同时更换两端支撑板和底座，节省了材料并减少了工作成本；采用可上下移动第二固定板，在放置晶圆工作盘时可向下移动第二固定板，便于有效的放置并夹紧固定晶圆工作盘的边翼；采用可转动固定环组件在滑槽内滑动，并可通过弹簧转动卡扣改变卡扣方向和卡钩固定，便于有效固定第二固定板，从而达到固定晶圆工作盘的有效目的。且对于在装载或卸载的过程中附着在晶圆工作盘上的颗粒等物质，可直接拆卸晶圆工作盘进行处理，改善清洗的过程，增加了良品率。

附图说明

图1是本实用新型可拆卸式晶圆传送盘的结构示意图。

图2是本实用新型可拆卸式晶圆传送盘的支撑板、第一固定板和第二固定板连接的结构示意图。

图3是本实用新型可拆卸式晶圆传送盘的晶圆工作盘的结构示意图。

图4是本实用新型可拆卸式晶圆传送盘的支撑板的结构示意图。

图5是本实用新型可拆卸式晶圆传送盘的固定环组件的结构示意图。

图6是本实用新型可拆卸式晶圆传送盘的图5中的A处局部放大的结构示意图。

图7是本实用新型可拆卸式晶圆传送盘的第一盖板的结构示意图。

附图中标号为：1为支撑管，2为平行安装板，3为矩形卡槽板，4为边翼，5为支撑板，6为第一固定板，7为第二固定板，8为滑槽，9为第一盖板，10为凹槽，11为滑轮，12为卡扣，13为弹簧，14为卡钩口，15为卡钩，16为底板槽。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进一步说明：

如图1～图7所示，可拆卸式晶圆传送盘，包括晶圆工作盘和两个支撑板5，所述晶圆工作盘包括矩形卡槽板3和平行安装板2, 所述矩形卡槽板3呈“U”字形，矩形卡槽板3下部的两端分别布设有长方形的边翼4，矩形卡槽板3上部的一端销轴连接有平行安装板2，所述平行安装板2呈“n”字形；所述晶圆工作盘通过边翼4连接在两个支撑板5之间，所述支撑板5的上平面固定有第一固定板6，支撑板5由下至上的五分之四处套合有第二固定板7，所述第一固定板6呈长方体形，所述第二固定板7呈“回”字形，第一固定板6位于第二固定板7的上部，第一固定板6和第二固定板7之间预留有间隙，所述边翼4固定于第一固定板6和第二固定板7预留的间隙之间；所述第一固定板6的上平面铰接有第一盖板9，所述第一盖板9呈“n”字形，第一盖板9的内宽等于第一固定板6的宽度，第一盖板9的边长不小于第一固定板6的边长；支撑板5的平面上开设有“T”字形的滑槽8，所述滑槽8的横截面呈“凸”字形；滑槽8内布设两个固定环组件，所述固定环组件包括滑轮11和卡扣12，所述滑轮11的竖截面呈“工”字形，滑轮11的上部转动式连接卡扣12，所述卡扣12为一端折弯的板，所述转动式连接为滑轮11的上部开设有凹槽10，所述凹槽10内布设弹簧13，所述弹簧13的两端分别连接凹槽10和卡扣12的底部，凹槽10外端面上侧布设卡钩15，所述卡钩15为呈“L”字形的橡胶块,卡扣12的横向面上开设有卡钩口14，卡钩15的纵向端面和卡钩口14连接，第二固定板7通过卡扣12固定在支撑板5上；支撑板5的底部分别连接至底板槽16，所述底板槽16呈“凹”字形，两个底板槽16之间通过支撑管1进行连接。

将边翼4固定于第一固定板6和第二固定板7预留的间隙之间，两个固定环组件穿进滑槽8内，并按滑槽8的路线向上滑动，当两个固定环组件依次滑至滑槽8的横向路线时进行左、右分向滑动，向上扳动卡钩15并转动卡扣12，卡扣12连接的弹簧13受力，弹簧13因其自身弹性在受力过程中可随受力方向进行扭转，弹簧13与卡扣12一起转动，直至卡钩口14对准卡钩15所在位置后放下卡钩15，使卡钩15卡进卡钩口14内，继而再将卡扣12扣在第二固定板7的两侧，从而固定住边翼4的上下位置，避免第二固定板7从支撑板5上脱落，第一盖板9转动下来扣合在第一固定板6上，从而固定住边翼4的左右位置，最终使晶圆工作盘固定在支撑板5上；将两侧的支撑板5底部分别固定在底板槽16内，可拆卸式晶圆传送盘完成整体的固定；转开平行安装板2将晶圆放置在矩形卡槽板3内，把平行安装板2转下扣在矩形卡槽板3上固定住晶圆，进行作业。

以上所述之实施例，只是本实用新型的较佳实施例而已，并非限制本实用新型的实施范围，故凡依本实用新型专利范围所述的构造、特征及原理所做的等效变化或修饰，均应包括于本实用新型申请专利范围内。