一种晶圆载具的制作方法

技术特征：

1.一种晶圆载具，其特征在于，包括圆环型的托板和圆环型的盖板，托板顶部靠近外边缘的位置设置有凸台，凸台与托板为同心圆环；托板的内径小于晶圆的直径，凸台的内径大于晶圆的直径；盖板的外径大于凸台的内径，盖板的内径小于晶圆的直径且大于晶圆直径的2/3。

2.根据权利要求1所述的晶圆载具，其特征在于，所述凸台上设置有至少两个竖直的定位柱，所述盖板的一个端面开设有与定位柱一一对应的定位孔。

3.根据权利要求1或2所述的晶圆载具，其特征在于，所述盖板沿圆周均匀开设有若干竖直通孔。

4.根据权利要求1或2所述的晶圆载具，其特征在于，所述盖板的外径等于所述凸台的外径。

5.根据权利要求1或2所述的晶圆载具，其特征在于，所述凸台和所述托板一体成型。

6.根据权利要求5所述的晶圆载具，其特征在于，所述凸台、托板及盖板采用石英制成。