技术总结
本实用新型公开一种蚀刻设备。蚀刻设备包括蚀刻腔体、电极板、第一支撑装置和设置在第一支撑装置之间的第二支撑装置。电极板、第一支撑装置和第二支撑装置位于蚀刻腔体内。第一支撑装置被配置成通过工件部分地放置在第一支撑装置上以使工件与电极板间隔设置。第二支撑装置被配置成支撑工件相对于电极板上升或下降。本实用新型实施方式的蚀刻设备中，第一支撑装置工件可以使得工件与电极板在蚀刻过程中间隔设置，工件下表面不容易或避免因电极板的静电吸附力影响而产生凸起印记(Emboss ink)，进而提高工件的良率。
技术研发人员：刘亚兵;杨建;刘志豪
受保护的技术使用者：深圳市柔宇科技有限公司
技术研发日：2017.11.20
技术公布日：2018.06.19