一种高电流离子注入机末端测流器的制作方法

本实用新型涉及一种半导体设备，尤其涉及一种高电流离子注入机末端测流器。

背景技术：

现有的测流器受到电子干扰而容易导致束流不稳的现象，导致需要经人工进行调整束流，因束流不稳现象重新检查和调整束流会花费大量的时间，机台生产效率因此而降低。现有的测流器的理论原理中，如图1所示，高电流离子注入机末端测流器工作原理为通过电路于地连接，当离子束作用于法拉第(faraday)上时，地给予电子补偿形成电流回路，以此测量离子束流大小。但现实的情况如图2和图3所示，腔内的电子会触碰到测流器周围同电位的部分，使电子数减少，使测量得到的离子束流大小有偏差。

技术实现要素：

本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术的缺陷，提供一种减少电子干扰的高电流离子注入机末端测流器。

本实用新型为解决上述技术问题采用以下技术方案：

一种高电流离子注入机末端测流器，包括测流器本体，所述测流器本体包括接地部、离子注入机末端连接腔和连接腔侧面的隔离部；所述隔离部包括顶面部、正面部和侧面部。

为了进一步优化上述技术方案，本实用新型所采取的技术措施为：

优选的，所述隔离部还包括导电部件和绝缘部件。

更优选的，所述绝缘部件安装于所述导电部件的内层。

更优选的，所述绝缘部件包括绝缘部件一、绝缘部件二、绝缘部件三。

更优选的，所述绝缘部件一安装于所述顶面部，所述绝缘部件二安装于所述正面部；所述绝缘部件三安装于所述侧面部。

更优选的，所述导电部包括导电部件一、导电部件二、导电部件三、导电部件四和导电部件五。

更优选的，所述正面部包括连接的斜板部和竖直部。

更优选的，所述导电部件一设置于所述绝缘部件一表面并覆盖整个绝缘部件一；导电部件二设置于所述斜板部表面；所述导电部件三设置于所述竖直部表面；所述侧面部包括横向凸起部一和横向凸起部二；所述导电部件四设置于所述横向凸起部一表面，所述导电部件五设置于所述横向凸起部二表面。

更优选的，所述绝缘部件为绝缘子。

更优选的，所述导电部件为石墨。

本实用新型采用以上技术方案，与现有技术相比，具有如下技术效果：

本实用新型的高电流离子注入机末端测流器，在测流器周围同电位的部分外面增加石墨盖子遮挡，石墨使用绝缘子安装与测流器周围同电位部分形成断路，与机台接地形成短路，保证电子不会影响到测流器回路上。

附图说明

图1为现有的测流器的结构示意图；

图2为现有的测流器的结构示意图；

图3为图2的局部放大图；

图4为本实用新型的一种优选实施例的测流器的结构示意图；

图5为本实用新型的一种优选实施例的测流器的结构示意图；

其中的附图标记为：

1测流器本体；11接地部；12连接腔；13隔离部；14顶面部；15正面部；16侧面部；17导电部件；18绝缘部件；151斜板部；152竖直部；161横向凸起部一；162横向凸起部二；171导电部件一；172导电部件二；173导电部件三；174导电部件四；175导电部件五；181绝缘部件一；182绝缘部件二；183绝缘部件三。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的技术方案做进一步的详细说明。

图1为现有的测流器的结构示意图；图2为现有的测流器的结构示意图；图3为图2的局部放大图；图4为本实用新型的一种优选实施例的测流器的结构示意图；图5为本实用新型的一种优选实施例的测流器的结构示意图。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

如图4和图5所示，一种高电流离子注入机末端测流器，包括测流器本体1，所述测流器本体1包括接地部11、离子注入机末端的连接腔12和连接腔12侧面的隔离部13；所述隔离部13还包括顶面部14、正面部15和侧面部16。

进一步的，在一种较佳的实施例中，所述隔离部13还包括导电部件17和绝缘部件18。

再进一步的，在一种较佳的实施例中，所述绝缘部件18安装于所述导电部件17的内层。

更进一步的，在一种较佳的实施例中，所述绝缘部件18包括绝缘部件一181、绝缘部件二182、绝缘部件三183。

更进一步的，在一种较佳的实施例中，所述绝缘部件一181安装于所述顶面部14，所述绝缘部件二182安装于所述正面部15；所述绝缘部件三183安装于所述侧面部16。

更进一步的，在一种较佳的实施例中，所述导电部件包括导电部件一171、导电部件二172、导电部件三173、导电部件四174和导电部件五175。

更进一步的，在一种较佳的实施例中，所述正面部15包括连接的斜板部151和竖直部152。

更进一步的，在一种较佳的实施例中，所述导电部件一171设置于所述绝缘部件一181表面并覆盖整个绝缘部件一181；导电部件二172设置于所述斜板部151表面；所述导电部件三173设置于所述竖直部152表面；所述侧面部16包括横向凸起部一161和横向凸起部二162；所述导电部件四174设置于所述横向凸起部一161表面，所述导电部件五175设置于所述横向凸起部二162表面。

更进一步的，在一种较佳的实施例中，所述绝缘部件18为绝缘子。

更进一步的，在一种较佳的实施例中，所述导电部件17为石墨。

本实用新型的高电流离子注入机末端测流器使用时，由于有绝缘子和石墨的阻挡，使束流不会触碰到测流器周围的同电位的部分。在测流器周围同电位的部分外面增加石墨盖子遮挡，石墨使用绝缘子安装与测流器周围同电位部分形成断路，与机台接地形成短路，保证电子不会影响到测流器回路上。测量束流电流大小时更为精准。

综上所述，本实用新型的高电流离子注入机末端测流器，在测流器周围同电位的部分外面增加石墨盖子遮挡，石墨使用绝缘子安装与测流器周围同电位部分形成断路，与机台接地形成短路，保证电子不会影响到测流器回路上。

以上对本实用新型的具体实施例进行了详细描述，但其只作为范例，本实用新型并不限制于以上描述的具体实施例。对于本领域技术人员而言，任何对该实用进行的等同修改和替代也都在本实用新型的范畴之中。因此，在不脱离本实用新型的精神和范围下所作的均等变换和修改，都应涵盖在本实用新型的范围内。