信息显示用柔性多层透明导电薄膜的制作方法

文档序号:14989106发布日期:2018-07-20 21:51阅读:431来源:国知局

本实用新型涉及导电薄膜技术领域,具体是一种信息显示用柔性多层透明导电薄膜。



背景技术:

透明导电氧化物(TCO)薄膜广泛用于光电器件,如薄膜太阳能电池、平板显示器、气体传感器和有机发光二极管。在TCO薄膜中,由于ZnO、In2O3、SnO2及其掺杂体系具有优异的光学和电学性能,因此广泛应用于液晶显示、触摸屏上作为透明导电电极使用。

但目前的透明导电氧化物薄膜也存在一些明显的缺点,例如力学柔韧性较差,膜层不耐弯折,高质量的薄膜需要在250℃以上的衬底温度下制备;而且随着柔性信息显示产品的发展,急需开发新型透明导电膜以适应柔性产品的性能需求。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种信息显示用柔性多层透明导电薄膜,该薄膜具有优良的导电性和光学透过率,且耐弯折,提高整个膜层的寿命。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:

信息显示用柔性多层透明导电薄膜,包括柔性基底,柔性基底顶面由下至上依次设有下SiO2层、下Si3N4层、下TiO2层、AgPt合金层、上TiO2层、上Si3N4层以及上SiO2层。

进一步的,所述AgPt合金层采用经过等离子体辐照处理的AgPt合金。

进一步的,所述柔性基底为聚乙烯醇薄膜、聚酰亚胺薄膜或聚酯薄膜。

本实用新型的有益效果是:

一、由SiO2、Si3N4与TiO2构成的复合介质层结构,具有梯度化匹配的折射率,使整个膜系具有更加优良的光学透过率;

二、AgPt合金层作为导电层,一方面能有效的提高整个膜系的力学柔韧性和抗弯折能力,另一方面能更好的提高导电层抗侵蚀的能力,使环境对导电层的影响大为减小,使用寿命增加;

三、AgPt合金层采用经过等离子体辐照处理的AgPt合金,使整个复合膜系具有更好的透过率和导电性。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明:

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

如图1所示,本实用新型提供信息显示用柔性多层透明导电薄膜,包括柔性基底1,柔性基底1顶面由下至上依次设有下SiO2层2、下Si3N4层3、下TiO2层4、AgPt合金层5、上TiO2层6、上Si3N4层7以及上SiO2层8。作为优选的,柔性基底1采用聚乙烯醇薄膜、聚酰亚胺薄膜或聚酯薄膜。AgPt合金层5采用经过等离子体辐照处理的AgPt合金。

以上所述,仅是本实用新型的较佳实施例而已,并非对本实用新型作任何形式上的限制;任何熟悉本领域的技术人员,在不脱离本实用新型技术方案范围情况下,都可利用上述揭示的方法和技术内容对本实用新型技术方案做出许多可能的变动和修饰,或修改为等同变化的等效实施例。因此,凡是未脱离本实用新型技术方案的内容,依据本实用新型的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同替换、等效变化及修饰,均仍属于本实用新型技术方案保护的范围内。

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