1.一种用于形成电化学能储存装置的元件的陶瓷层(52)的方法，包括：
蒸发材料于柔性基板(111)上；
提供第一处理气体；以及
提供第二处理气体，所述第二处理气体包括氢，
所述陶瓷层(52)至少由蒸发的所述材料、所述第一处理气体及所述第二处理气体形成。
2.如权利要求1所述的方法，其中所述陶瓷层(52)具有包括氧及氢的化学成分。
3.如权利要求1或2所述的方法，其中所述陶瓷层(52)是氢氧化铝层。
4.如权利要求1至3的任一项所述的方法，其中所述电化学能储存装置是锂电池。
5.如权利要求1至4的任一项所述的方法，其中所述元件是隔离膜。
6.如权利要求1至4的任一项所述的方法，其中所述元件是电极。
7.如权利要求1至5的任一项所述的方法，其中所述第二处理气体是水蒸汽。
8.如权利要求1至5的任一项所述的方法，其中以所述第一处理气体与所述第二处理气体的一定比例提供所述第一处理气体及所述第二处理气体，所述比例是可调整的，使得能设置所述陶瓷层的化学计量。
9.如权利要求1至8的任一项所述的方法，进一步包括：
从第一滚轴(22)传送所述柔性基板(111)至第二滚轴(24)，在从所述第一滚轴(22)向所述第二滚轴(24)传送所述柔性基板(111)时形成所述陶瓷层(52)。
10.一种蒸发源(102)，用于形成电化学能储存装置的元件的陶瓷层，所述蒸发源包括：
材料源(140)，被配置为蒸发材料；以及
气体源，具有第一气体出口(107a)及第二气体出口(107b)，所述第一气体出口被配置为提供第一处理气体，所述第二气体出口被配置为提供第二处理气体，所述第二处理气体包括氢，
所述陶瓷层(52)至少由蒸发的所述材料、所述第一处理气体及所述第二处理气体形成。
11.如权利要求10所述的蒸发源(102)，进一步包括：
气流控制器(220)，被配置为独立地设置所述第一处理气体的第一气体流速及所述第二处理气体的第二气体流速。
12.如权利要求10或11所述的蒸发源(102)，其中所述气流控制器(220)被配置为以所述第一处理气体与所述第二处理气体的一定比例提供所述第一处理气体及所述第二处理气体，所述比例是可调整的，使得能设置所述陶瓷层的化学计量。
13.一种处理腔室(100)，包括：
如权利要求10至12的任一项所述的蒸发源(102)；以及
基板传送机构，被配置为将柔性基板(111)传送通过所述处理腔室，
其中所述蒸发源(102)相对于所述基板传送机构布置，使得所述陶瓷层(52)形成于所述柔性基板(111)上。
14.如权利要求13所述的处理腔室(100)，其中所述基板传送机构包括第一滚轴(22)及第二滚轴(24)，所述第一滚轴(22)及所述第二滚轴(24)被配置为从所述第一滚轴(22)沿着传送路径(p)传送所述柔性基板(111)至所述第二滚轴(24)，所述蒸发源(102)沿着所述传送路径(102)布置。
15.如权利要求13或14所述的处理腔室(100)，其中所述处理腔室(100)是真空处理腔室。