半导体装置的制作方法

文档序号:16993507发布日期:2019-03-02 01:09阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
一种半导体装置包含主动层、源极电极、漏极电极、栅极电极、源极垫、漏极垫与至少一源极外部连接元件。源极电极、漏极电极与栅极电极置于主动层的主动区上。源极垫电性连接至源极电极,并包含本体部、多个分支部与至少一电流分散部。本体部至少部分置于主动区并沿着第一方向延伸。分支部沿着第二方向延伸,第二方向不同于第一方向。电流分散部连接本体部与分支部,并沿着第一方向延伸。电流分散部的宽度大于任一分支部的宽度且小于本体部的一半宽度。漏极垫电性连接至漏极电极。源极外部连接元件置于本体部上且与电流分散部分开。

技术研发人员:廖文甲;刘滢溱;江承庭
受保护的技术使用者:台达电子工业股份有限公司
技术研发日:2018.01.05
技术公布日:2019.03.01
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